一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统、扫描方法与流程

技术特征：
1.一种用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，包括喷嘴体(11)和液管(12)；所述喷嘴体(11)具有中部容腔，所述液管(12)插装在所述喷嘴体(11)中，并穿过所述中部容腔，以在所述喷嘴体(11)的一侧端部抽吸、送出扫描液；所述喷嘴体(11)上开设有与所述中部容腔连通的进气口(1111)，所述喷嘴体(11)的一侧端部开设有与所述中部空腔连通的多个出气通道(1121)，且周向均布在所述液管(12)的外周，每个所述出气通道(1121)配置为：沿所述液管(12)的延伸方向，由内向外呈渐扩状倾斜设置。2.根据权利要求1所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴体(11)包括喷嘴本体(111)和喷嘴头(112)，两者固定连接围合形成所述中部容腔；所述进气口(1111)开设在所述喷嘴本体(111)的侧壁，多个所述出气通道(1121)开设在所述喷嘴头(112)的端部。3.根据权利要求2所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴头(112)的端面具有内凹部(1122)，且所述内凹部(1122)与所述液管(12)同心设置。4.根据权利要求3所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述液管(12)的液口位于所述内凹部(1122)中。5.根据权利要求2所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体(111)和所述喷嘴头(112)的固定连接端之间，一者上设置有外凸连接部(1112)、另一者上设置有内凹连接部(1123)，所述外凸连接部(1112)与所述内凹连接部(1123)嵌套固定连接。6.根据权利要求1至5中任一项所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述出气通道(1121)为直径为0.1mm～2.00mm的斜孔，所述斜孔设置为周向均布的10～50个，每个所述斜孔的中心线与所述液管(12)的中心线夹角α不大于60
°
。7.根据权利要求2所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体(111)、所述喷嘴头(112)和所述液管(12)采用全氟烷氧基树脂、聚四氟乙烯、乙烯四氟乙烯、聚三氟氯乙烯、聚偏氟乙稀、聚氯乙烯、聚丙烯、聚醚醚酮、聚苯硫醚或聚甲基丙烯酸甲酯制成。8.根据权利要求7所述的用于晶圆扫描的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴本体(111)、所述喷嘴头(112)和所述液管(12)可以采用相同材料制成，或者采用不同材料制成。9.一种扫描系统，其特征在于，包括喷嘴单元(10)、气体控制单元(20)和喷嘴移动单元(30)；所述喷嘴单元(10)设置在所述喷嘴移动单元(30)上，以在所述喷嘴移动单元(30)的带动下相对于待处理晶圆(40)位移；其中，所述喷嘴单元(10)包括喷嘴(1)和注射泵(2)，所述喷嘴(1)采用权利要求1至8中任一项所述的用于晶圆扫描的喷嘴；所述注射泵(2)通过管路(3)连通所述喷嘴(1)的液管(12)，所述气体控制单元(20)的辅助气体输出口与所述喷嘴(1)的进气口(1111)相连，以用于在所述喷嘴(1)的端面与待处理晶圆(40)之间形成负压区域。10.根据权利要求9所述的扫描系统，其特征在于，所述喷嘴移动单元(30)包括依次滑动适配的第一轴滑台(4)、第二轴滑台(5)和第三轴滑台(6)，三者所构建的滑动位移方向分别相垂直；所述喷嘴(1)通过连接块(7)与所述第一轴滑台(4)滑动适配，所述注射泵(2)设置在所述第二轴滑台(5)上。11.根据权利要求10所述的扫描系统，其特征在于，所述注射泵(2)通过铝合金盒固定在所述第二轴滑台(5)上，且所述铝合金盒表面覆有特氟龙镀层。12.根据权利要求9所述的扫描系统，其特征在于，所述气体控制单元(20)输出的所述
辅助气体可以为氮气、氧气、氦气、氖气、氩气、氪气或氙气。13.一种扫描方法，采用权利要求9至12中任一项所述的扫描系统，其特征在于，包括下述步骤：所述喷嘴(1)抽吸用于待处理晶圆(40)的扫描液体；通过所述喷嘴移动单元(30)带动所述喷嘴(1)位移至工作位置，所述喷嘴(1)与待处理晶圆(40)表面具有预定间距；所述气体控制单元(20)输送辅助气体至所述进气口(1111)，并在所述喷嘴(1)的端面与待处理晶圆(40)之间形成负压区域；所述喷嘴(1)送出扫描液体，并在所述负压区域内形成扫描液珠；通过所述喷嘴移动单元(30)带动附着于所述喷嘴(1)端面的扫描液珠进行待处理晶圆(40)表面扫描，完成后将所述扫描液珠抽吸入所述喷嘴(1)，并停止输送辅助气体的输送；通过所述喷嘴移动单元(30)带动所述喷嘴(1)位移至样品收集装置，并将扫描液送出。14.根据权利要求13所述的扫描方法，其特征在于，所述负压区域的压力范围为-10pa～-100pa。15.根据权利要求13或14所述的扫描方法，其特征在于，所述喷嘴(1)抽吸用于待处理晶圆(40)的扫描液体之前，通过所述喷嘴移动单元(30)带动所述喷嘴(1)位移至液槽进行清洗。

技术总结
本发明公开一种用于晶圆扫描的喷嘴及扫描系统、扫描方法，该喷嘴(1)包括喷嘴体(11)和液管(12)；喷嘴体(11)具有中部容腔，液管(12)插装在喷嘴体(11)中，并穿过中部容腔，以在喷嘴体(11)的一侧端部抽吸、送出扫描液；喷嘴体(11)上开设有与中部容腔连通的进气口(1111)，喷嘴体(11)的一侧端部开设有与中部空腔连通的多个出气通道(1121)，且周向均布在液管(12)的外周，每个出气通道(1121)配置为：沿液管(12)的延伸方向，由内向外呈渐扩状倾斜设置。本发明通过对喷嘴结构的改进优化，得以兼顾扫描液回收率、扫描效率及可靠应用于亲水晶圆的技术需求，为确保检测精度提供了良好的技术保障。障。障。


技术研发人员：张怀东 程实然 于翔 张瑶瑶 邹志文 崔虎山 胡冬冬 许开东
受保护的技术使用者：江苏鲁汶仪器股份有限公司
技术研发日：2021.07.16
技术公布日：2023/2/6