技术特征：
1.一种检查装置，其特征在于，包括：压接单元，包括加压部；感测焊盘，包括n个节点，并且当利用所述加压部在彼此不同的温度下加压两次以上的情况下，感测施加到所述n个节点中的第一节点的第一压力值以及施加到所述n个节点中的第二节点的第二压力值，其中，n为2以上的自然数；以及信号分析单元，求出所述温度与所述第一压力值之间的第一相关关系以及所述温度与所述第二压力值之间的第二相关关系，求出基于所述加压部的热膨胀系数补正了所述第一相关关系的第一修正相关关系以及基于所述加压部的所述热膨胀系数补正了所述第二相关关系的第二修正相关关系，基于所述第一修正相关关系求出与目标温度对应的第一目标压力值，并且基于所述第二修正相关关系求出与所述目标温度对应的第二目标压力值。2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述加压部的第一材料为硬质合金。3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述温度在60℃以下。4.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，所述目标温度在250℃以下。
技术总结
检查装置包括：压接单元，包括加压部；感测焊盘，包括n个节点，并且当利用加压部在彼此不同的温度下加压两次以上的情况下，感测施加到n个节点中的第一节点的第一压力值以及施加到n个节点中的第二节点的第二压力值，其中，n为2以上的自然数；以及信号分析单元，求出温度与第一压力值之间的第一相关关系以及温度与第二压力值之间的第二相关关系，求出基于加压部的热膨胀系数补正了第一相关关系的第一修正相关关系以及基于加压部的热膨胀系数补正了第二相关关系的第二修正相关关系，基于第一修正相关关系求出与目标温度对应的第一目标压力值，并且基于第二修正相关关系求出与目标温度对应的第二目标压力值。度对应的第二目标压力值。度对应的第二目标压力值。
技术研发人员：金德兴
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：2021.12.21
技术公布日：2022/12/8
再多了解一些
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