一种发射太赫兹信号的混合集成系统及其芯片

技术特征：
1.一种发射太赫兹信号的混合集成系统，其特征在于，采用两个激光器模块(1)拍频打到高速大带宽pd模块(2)，输出可调的太赫兹信号。2.根据权利要求1所述的一种发射太赫兹信号的混合集成系统，其特征在于，用于拍频的所述激光器模块(1)之间拥有固定的频率差，混频后产生和频和差频信号。3.根据权利要求1所述的一种发射太赫兹信号的混合集成系统，其特征在于，所述高速大带宽pd模块(2)采用宽带宽高响应的pd模块。4.根据权利要求1所述的一种发射太赫兹信号的混合集成系统，其特征在于，输出信号频率的调节通过改变拍频的所述激光器模块(1)的频率实现。5.根据权利要求1所述的一种发射太赫兹信号的混合集成系统，其特征在于，所述激光器模块(1)为分布反馈激光器。6.一种采用权利要求1-5中任一项所述的发射太赫兹信号的混合集成系统的芯片，其特征在于，包括芯片本体(4)，以及集成在所述芯片本体(4)上的激光器模块(1)、y波导合波模块(3)和高速大带宽pd模块(2)；所述激光器模块(1)的数量为两个，两个所述激光器模块(1)通过所述y波导合波模块(3)与所述高速大带宽pd模块(2)连接，两个所述激光器模块(1)输出信号到所述y波导合波模块(3)中实现混频，并通过所述高速大带宽pd模块(2)对混频后的信号进行处理，输出太赫兹信号。7.根据权利要求6所述的一种发射太赫兹信号的混合集成芯片，其特征在于，所述激光器模块(1)、所述y波导合波模块(3)和所述高速大带宽pd模块(2)之间的键合使用pwb技术打线。8.根据权利要求6所述的一种发射太赫兹信号的混合集成芯片，其特征在于，通过调节外加电压实现所述激光器模块(1)的波长频率的可调，结合所述激光器模块(1)阵列实现输出信号的连续变化。9.根据权利要求6所述的一种发射太赫兹信号的混合集成芯片，其特征在于，所述y波导合波模块(3)由三根单模波导组成；三根所述单模波导的汇合处，以及所述激光器模块(1)出光口与所述单模波导的连接处均采用光子引线键合进行连接。10.根据权利要求6所述的一种发射太赫兹信号的混合集成芯片，其特征在于，所述高速大带宽pd模块(2)上沉积微带线输出信号。

技术总结
本发明公开了一种发射太赫兹信号的混合集成系统及其芯片，包括芯片本体，以及集成在芯片本体上的激光器模块、y波导合波模块和高速大带宽探测器模块，即高速大带宽PD模块；激光器模块的数量为两个，两个激光器模块通过y波导合波模块与高速大带宽PD模块连接，两个激光器模块输出信号到y波导合波模块中实现混频，并通过高速大带宽PD模块对混频后的信号进行处理，输出太赫兹信号。本发明产生信号频率范围广、可稳定发射且可实现信号的连续调制，其特性在于使用两个激光器拍频打到高速大带宽PD器件中，以产生稳定且可调的太赫兹信号，使用光子引线键合，即PWB技术精准集成，光耦合效率高。效率高。效率高。


技术研发人员：施跃春 姚璐 陈向飞 李密 张益昕
受保护的技术使用者：南京大学
技术研发日：2022.10.20
技术公布日：2023/1/31