用于外延预清洗设备的热氮吹干槽的制作方法

技术特征：
1.用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体(6)，其特征在于：所述槽体(6)的顶部通过合页活动安装有槽盖(2)，所述槽盖(2)的底部设置有红外发射器(19)，所述槽体(6)的两侧内壁皆设置有放置板(15)，所述放置板(15)的下方设置有槽板(16)，所述槽板(16)的表面开设有槽孔(12)，所述槽体(6)的底部和内壁皆环绕设置有管路(14)，所述槽体(6)内部的底端设置有管体(13)，所述管体(13)和管路(14)之间相互贯通连接，所述管路(14)的一端贯穿槽体(6)设置有连接头(7)，所述槽体(6)的一侧表面设置有翅片加热器(5)。2.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的底部靠近四个边角处皆设置有支撑腿(10)，且支撑腿(10)的底端皆设置有吸盘(11)。3.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)底部一侧设置有排放口(8)，且排放口(8)上设置有控制阀(9)。4.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的顶部设置有把手(1)，所述槽盖(2)的一侧靠近两端处皆设置有锁扣(3)，且锁扣(3)对应的槽体(6)顶部两侧皆设置有锁座(4)。5.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽盖(2)的底部外沿环绕设置有密封垫(20)，所述密封垫(20)的材质为橡胶，且槽体(6)内口有效尺寸为长
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宽
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高＝470mm
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370mm
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400mm。6.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有控制按钮(18)，且控制按钮(18)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。7.根据权利要求1所述的用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，其特征在于：所述槽体(6)的一侧表面固定安装有蓄电池(17)，且蓄电池(17)的输出端通过导线与红外发射器(19)和翅片加热器(5)的输入端电性连接。

技术总结
本实用新型公开了用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，包括槽体，所述槽体的顶部通过合页活动安装有槽盖，所述槽盖的底部设置有红外发射器，所述槽体的两侧内壁皆设置有放置板，所述放置板的下方设置有槽板，所述槽板的表面开设有槽孔，所述槽体的底部和内壁皆环绕设置有管路，所述槽体内部的底端设置有管体，所述管体和管路之间相互贯通连接，所述管路的一端贯穿槽体设置有连接头。该用于外延预清洗设备的热氮吹干槽，在进行日常使用的过程中，增加更改槽底部开孔数量，增加氮气吹扫管路，硅片吹扫时间从450秒到600秒,变为300秒，清洗结束硅片上无水渍，清洗效果良好，装载硅片夹具无残留水渍，预防触碰残留化学品的危险操作。预防触碰残留化学品的危险操作。预防触碰残留化学品的危险操作。


技术研发人员：王瀚 杨振域 龚塞 郑岳亮 王超
受保护的技术使用者：中环领先半导体材料有限公司
技术研发日：2022.08.09
技术公布日：2023/1/3