一种真空传送装置的制作方法

技术特征：
1.一种真空传送装置，其特征在于，包括支架(200)以及设置于所述支架(200)上的旋转部(300)，所述旋转部(300)上端设有水平移动部(400)；所述旋转部(300)包括与支架(200)转动连接的旋转轴(330)，所述支架(200)上设有用于带动所述旋转轴(330)转动的动力组件(310)；水平移动部(400)包括真空气缸(420)，所述真空气缸(420)下端与所述旋转轴(330)顶部固定连接，所述真空气缸(420)连接有气源，所述真空气缸(420)的活塞端连接有机械手臂(430)。2.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述支架(200)包括安装板(230)，所述安装板(230)上端固定连接有安装支柱(220)，所述安装支柱(220)顶端固定连接有安装法兰(210)。3.根据权利要求2所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述动力组件(310)包括与所述旋转轴(330)同轴布置的电机(311)，所述电机(311)的输出端连接有减速器(312)，所述减速器(312)与所述安装板(230)固定连接，所述减速器(312)的输出端通过连轴器(320)与所述旋转轴(330)的底端固定连接。4.根据权利要求2所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述安装法兰(210)下端固定连接有磁流体(340)，所述磁流体(340)上端设有支撑套(350)，所述旋转轴(330)穿过所述磁流体(340)、安装法兰(210)、支撑套(350)并与所述磁流体(340)、安装法兰(210)、支撑套(350)转动连接。5.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述旋转轴(330)的顶端固定连接有连接法兰(360)，所述连接法兰(360)上端固定连接有气缸固定板(410)，所述真空气缸(420)固定连接于所述气缸固定板(410)上端。6.根据权利要求5所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述旋转轴(330)内设有沿所述旋转轴(330)长度方向布置的第一气路通道(331)，所述旋转轴(330)的下端设有与所述第一气路通道(331)连通的第一气管接头(332)，所述连接法兰(360)内设有与所述第一气路通道(331)连通的第二气路通道(361)，所述连接法兰(360)上设有与所述第二气路通道(361)连通的第二气管接头(362)，所述第二气管接头(362)通过气缸接管(440)与所述真空气缸(420)连通。7.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述机械手臂(430)上设有用于放置物料的晶圆放置架(431)。8.根据权利要求1所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述支架(200)上安装有用于监测所述旋转轴(330)转动角度的传感器部(500)。9.根据权利要求8所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述传感器部(500)包括与所述旋转轴(330)固定连接的传感器指针(530)，所述支架(200)上设有凹槽光电传感器(510)，所述凹槽光电传感器(510)靠近所述传感器指针(530)的一端设有用于传感器指针(530)扫过的凹槽。10.根据权利要求9所述的一种真空传送装置，其特征在于，所述传感器指针(530)通过指针固定环(540)与所述旋转轴(330)固定连接，所述凹槽光电传感器(510)设有两个且对称布置在所述旋转轴(330)的两侧，所述凹槽光电传感器(510)通过传感器安装板(520)与所述支架(200)固定连接。

技术总结
本实用新型公开了一种真空传送装置，包括支架以及设置于所述支架上的旋转部，所述旋转部上端设有水平移动部；所述旋转部包括与支架转动连接的旋转轴，所述支架上设有用于带动所述旋转轴转动的动力组件；水平移动部包括真空气缸，所述真空气缸下端与所述旋转轴顶部固定连接，所述真空气缸连接有气源，所述真空气缸的活塞端连接有机械手臂，本实用新型通过支架组件、旋转组件、移动组件与传感器组件的组合使用，特别是在移动组件上使用了真空气缸，可以将晶圆从蒸镀工艺单元平移到下个工艺单元，并将晶圆旋转180度，达到降低成本、传动结构简单、易于维护与低发尘的目的。易于维护与低发尘的目的。易于维护与低发尘的目的。


技术研发人员：李文浩
受保护的技术使用者：合肥欣奕华智能机器股份有限公司
技术研发日：2022.08.04
技术公布日：2022/12/27