一种静电卡盘的制作方法

1.本实用新型涉及半导体技术领域，特别涉及一种静电卡盘。


背景技术：

2.静电卡盘陶瓷板中设有电极层，通过给陶瓷板中的电极层通电来让静电卡盘产生吸附的功能，接通电极层的顶针直接与电极层接触接通电源，电极层的厚度较小，长时间使用容易损坏电极层。


技术实现要素：

3.本实用新型要解决的技术问题是提供一种静电卡盘，能够提高静电卡盘陶瓷板中的电极层的使用寿命。
4.为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案为：
5.一种静电卡盘，包括金属基座和陶瓷板，所述陶瓷板设置在所述金属基座上，所述陶瓷板中设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件连接，所述电极层的负极与第二电极组件连接，所述金属基座上设有位于所述第一电极组件下方的第一通孔、位于所述第二电极组件下方的第二通孔。
6.优选的，所述第一电极组件包括与所述电极层正极电连接的第一电极件，所述第二电极组件包括与所述电极层负极电连接的第二电极件。
7.优选的，所述第一电极件和所述第二电极件均为导电金属材料制造而成。
8.优选的，所述第一电极件上设有第一凹槽，所述第二电极件上设有第二凹槽。
9.优选的，所述第一凹槽位于所述第一电极件朝向所述第一通孔的一端，所述第二凹槽位于所述第二电极件朝向所述第二通孔的一端。
10.优选的，所述陶瓷板与所述金属基座粘接而成。
11.采用上述技术方案，通过设置第一电极组件和第二电极组件，避免接通电极层的顶针直接与电极层接触，由于一般电极层的厚度较小，长期接触容易磨损，通过第一电极件和第二电极件，且第一电极件、第二电极件均与电极层电连接，使得顶针接触到第一电极件、第二电极件，通过第一电极件和第二电极件接通电极层，提高电极层的使用寿命。
附图说明
12.图1为本实用新型一种静电卡盘的剖视结构示意图。
具体实施方式
13.下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。此外，下面所描述的本实用新型各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。
14.如图1所示，为一种静电卡盘的结构示意图，包括金属基座1和陶瓷板2，陶瓷板2设置在金属基座1上，陶瓷板2中设有电极层3，电极层3的正极与第一电极组件连接，电极层3的负极与第二电极组件连接，金属基座1上设有位于第一电极组件下方的第一通孔6、位于第二电极组件下方的第二通孔7，第一通孔6和第二通孔7用于顶针穿入金属基座1上，进而使得顶针直接与第一电极组件和第二电极组件接触，进而接通电源，静电卡盘可以正常工作，产生吸附力；
15.第一电极组件包括与电极层3正极电连接的第一电极件4，第二电极组件包括与电极层3负极电连接的第二电极件5，通过设置第一电极件4和第二电极件5连通顶针和静电卡盘电极层3，相对应的顶针分别直接与第一电极件4和第二电极件5直接接触，由于电极层3比较薄，若连通电源的顶针直接与电极层接触通电，容易损坏电极层3，而第一电极件4和第二电极件5能够做得比较厚，因此，顶针对第一电极件4和第二电极件5的磨损比较慢，有效的保护了静电卡盘陶瓷板2中的电极层3；
16.第一电极件4和第二电极件5均为导电金属材料制造而成，第一电极件4、第二电极件5均可以是铜制造而成，能够导电，连通顶针与电极层3；
17.第一电极件4上设有第一凹槽8，第二电极件5上设有第二凹槽9，第一凹槽8和第二凹槽9均可以是圆柱形凹槽，使用时，与电源正极连通的顶针可以插入到第一凹槽8中，与第一凹槽8的内侧壁或者底内侧壁接触连通，与电源负极连通的顶针可以插入到第二凹槽9中，与第二凹槽9的内侧壁或者底内侧壁接触连通；
18.第一凹槽8位于第一电极件4朝向第一通孔6的一端，第二凹槽9位于第二电极件5朝向第二通孔7的一端，与电源正极连通的顶针通过第一通孔6插入到第一凹槽中，与电源负极连通的顶针通过第二通孔7插入到第二凹槽中；
19.陶瓷板2与金属基座1粘接而成，陶瓷板2与金属基座1可以通过胶水粘接；
20.采用上述技术方案，通过设置第一电极组件和第二电极组件，避免接通电极层3的顶针直接与电极层3接触，由于一般电极层3的厚度较小，长期接触容易磨损，通过第一电极件4和第二电极件5，且第一电极件4、第二电极件5均与电极层3电连接，使得顶针接触到第一电极件4、第二电极件5，通过第一电极件4和第二电极件5接通电极层3，提高电极层3的使用寿命。
21.以上结合附图对本实用新型的实施方式作了详细说明，但本实用新型不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本实用新型原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本实用新型的保护范围内。


技术特征：
1.一种静电卡盘，其特征在于：包括金属基座和陶瓷板，所述陶瓷板设置在所述金属基座上，所述陶瓷板中设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件连接，所述电极层的负极与第二电极组件连接，所述金属基座上设有位于所述第一电极组件下方的第一通孔、位于所述第二电极组件下方的第二通孔。2.根据权利要求1所述的一种静电卡盘，其特征在于：所述第一电极组件包括与所述电极层正极电连接的第一电极件，所述第二电极组件包括与所述电极层负极电连接的第二电极件。3.根据权利要求2所述的一种静电卡盘，其特征在于：所述第一电极件和所述第二电极件均为导电金属材料制造而成。4.根据权利要求3所述的一种静电卡盘，其特征在于：所述第一电极件上设有第一凹槽，所述第二电极件上设有第二凹槽。5.根据权利要求4所述的一种静电卡盘，其特征在于：所述第一凹槽位于所述第一电极件朝向所述第一通孔的一端，所述第二凹槽位于所述第二电极件朝向所述第二通孔的一端。6.根据权利要求1所述的一种静电卡盘，其特征在于：所述陶瓷板与所述金属基座粘接而成。

技术总结
本实用新型公开了一种静电卡盘，属于半导体技术领域，包括金属基座和陶瓷板，所述陶瓷板设置在所述金属基座上，所述陶瓷板中设有电极层，所述电极层的正极与第一电极组件连接，所述电极层的负极与第二电极组件连接，所述金属基座上设有位于所述第一电极组件下方的第一通孔、位于所述第二电极组件下方的第二通孔。孔。孔。


技术研发人员：陈茂雄 李君 石锗元 肖伟
受保护的技术使用者：君原电子科技（海宁）有限公司
技术研发日：2022.06.11
技术公布日：2023/1/3