1.本实用新型涉及多晶硅片加工技术领域，具体为一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置。
背景技术：
2.多晶硅片，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。多晶硅片分为电子级和太阳能级。在多晶硅片加工的过程中，为了获得洁净度高的多晶硅片，往往多晶硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗。但现有的多晶硅片脱胶清洗的方式多采用人工手动进行喷淋清洗，不仅费时费力，且难以对多晶硅片进行批量清洗，降低了脱胶的效率，为此，我们提出一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置。
技术实现要素：
3.本实用新型的目的在于提供一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，包括喷淋箱，所述喷淋箱的一侧底部分别固定安装有进水管和出水管，所述喷淋箱的内部开设有开口向上的喷淋槽，所述喷淋槽的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔，所述喷淋孔与所述进水管相连通，所述喷淋槽的底部槽壁固定安装有超声波震板，所述喷淋槽的槽内可拆卸安装有放置组件，所述喷淋箱的顶部一侧活动安装有盖板。
5.作为优选，所述放置组件包括放置框、插槽以及挂耳，所述插槽分别等距安装在所述放置框的前后两侧内框壁，所述挂耳的数量设置有四组，四组所述挂耳分别对称固定安装在所述放置框的前后两侧外框壁。
6.作为优选，所述喷淋槽的前后两侧槽壁均对称固定安装有两组挂钩，所述挂钩与所述挂耳相适配。
7.作为优选，所述喷淋箱的前侧固定安装有控制器，所述控制器与所述超声波震板设置为电性连接。
8.作为优选，所述进水管和所述出水管上均固定安装有阀门。
9.作为优选，所述盖板与所述喷淋箱之间安装有对称平行的两组铰链。
10.作为优选，述喷淋箱的底部四角处均固定安装有支撑腿。
11.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
12.1、本实用新型中，通过进水管将外界的温水导入到喷淋箱中，并通过喷淋槽左右两侧的喷淋孔喷出，对多晶硅片进行初步的脱胶清洗，同时通过控制器启动超声波震板，通过超声波震板发射超声波对多晶硅片进行进一步的脱胶清洗，无需人工手动进行喷淋清洗，省时省力。
13.2、本实用新型中设置有放置组件，通过在放置框的前后两侧内框壁分别等距安装
有插槽，方便批量插入多晶硅片，实现多晶硅片的批量清洗，提高了脱胶的效率，通过挂耳和挂钩的配合，方便放置框的拆装。
附图说明
14.图1为本实用新型结构示意图；
15.图2为本实用新型喷淋箱内部结构部分示意图；
16.图3为本实用新型放置组件结构示意图。
17.图中：1、喷淋箱；2、进水管；3、出水管；4、喷淋槽；5、喷淋孔；6、超声波震板；7、放置组件；71、放置框；72、插槽；73、挂耳；8、挂钩；9、控制器；10、铰链；11、盖板；12、支撑腿。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.实施例1：
20.请参阅图1和图2，本实用新型提供一种技术方案：一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，包括喷淋箱1，喷淋箱1的一侧底部分别固定安装有进水管2和出水管3，喷淋箱1的内部开设有开口向上的喷淋槽4，喷淋槽4的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔5，喷淋孔5与进水管2相连通，喷淋槽4的底部槽壁固定安装有超声波震板6，喷淋箱1的前侧固定安装有控制器9，控制器9与超声波震板6设置为电性连接，通过进水管2将外界的温水导入到喷淋箱1中，并通过喷淋槽4左右两侧的喷淋孔5喷出，对多晶硅片进行初步的脱胶清洗，同时通过控制器9启动超声波震板6，通过超声波震板6发射超声波对多晶硅片进行进一步的脱胶清洗，无需人工手动进行喷淋清洗，省时省力。
21.本实施例中，请参阅图1、图2和图3，喷淋槽4的槽内可拆卸安装有放置组件7，放置组件7包括放置框71、插槽72以及挂耳73，插槽72分别等距安装在放置框71的前后两侧内框壁，挂耳73的数量设置有四组，四组挂耳73分别对称固定安装在放置框71的前后两侧外框壁，喷淋槽4的前后两侧槽壁均对称固定安装有两组挂钩8，挂钩8与挂耳73相适配，通过在放置框71的前后两侧内框壁分别等距安装有插槽72，方便批量插入多晶硅片，实现多晶硅片的批量清洗，提高了脱胶的效率，通过挂耳73和挂钩8的配合，方便放置框71的拆装。
22.本实施例中，请参阅图1，进水管2和出水管3上均固定安装有阀门。
23.本实施例中，请参阅图1，喷淋箱1的底部四角处均固定安装有支撑腿12。
24.实施例2：
25.请参阅图1，该实施例不同于第一个实施例的是：喷淋箱1的顶部一侧活动安装有盖板11，盖板11与喷淋箱1之间安装有对称平行的两组铰链10，通过设置的盖板11避免多晶硅片脱胶清洗时，喷淋槽中的水溢出。
26.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
技术特征：
1.一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，包括喷淋箱(1)，其特征在于：所述喷淋箱(1)的一侧底部分别固定安装有进水管(2)和出水管(3)，所述喷淋箱(1)的内部开设有开口向上的喷淋槽(4)，所述喷淋槽(4)的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔(5)，所述喷淋孔(5)与所述进水管(2)相连通，所述喷淋槽(4)的底部槽壁固定安装有超声波震板(6)，所述喷淋槽(4)的槽内可拆卸安装有放置组件(7)，所述喷淋箱(1)的顶部一侧活动安装有盖板(11)。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述放置组件(7)包括放置框(71)、插槽(72)以及挂耳(73)，所述插槽(72)分别等距安装在所述放置框(71)的前后两侧内框壁，所述挂耳(73)的数量设置有四组，四组所述挂耳(73)分别对称固定安装在所述放置框(71)的前后两侧外框壁。3.根据权利要求2所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述喷淋槽(4)的前后两侧槽壁均对称固定安装有两组挂钩(8)，所述挂钩(8)与所述挂耳(73)相适配。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述喷淋箱(1)的前侧固定安装有控制器(9)，所述控制器(9)与所述超声波震板(6)设置为电性连接。5.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述进水管(2)和所述出水管(3)上均固定安装有阀门。6.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述盖板(11)与所述喷淋箱(1)之间安装有对称平行的两组铰链(10)。7.根据权利要求1所述的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，其特征在于：所述喷淋箱(1)的底部四角处均固定安装有支撑腿(12)。
技术总结
本实用新型公开了多晶硅片加工技术领域的一种多晶硅片温水脱胶喷淋装置，包括喷淋箱，喷淋箱的一侧底部分别固定安装有进水管和出水管，喷淋箱的内部开设有开口向上的喷淋槽，喷淋槽的左右两侧槽壁均固定安装有喷淋孔，喷淋孔与进水管相连通，喷淋槽的底部槽壁固定安装有超声波震板，喷淋槽的槽内可拆卸安装有放置组件，喷淋箱的顶部一侧活动安装有盖板，本实用新型无需人工手动对多晶硅片进行喷淋清洗，省时省力，同时可以对多晶硅片进行批量清洗，提高了脱胶的效率。提高了脱胶的效率。提高了脱胶的效率。
技术研发人员：何飞 方艺霖 张靖
受保护的技术使用者：江苏德润光电科技有限公司
技术研发日：2022.08.03
技术公布日：2022/12/23
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