清扫装置、连接管组件和晶体生长设备的制作方法

技术特征：
1.一种清扫装置(100)，其特征在于，所述清扫装置(100)用于清扫管路的内壁面，所述管路包括第一支路(101)、第二支路(102)和第三支路(103)，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)同轴设置，所述第三支路(103)与所述第一支路(101)和所述第二支路(102)均连通，所述清扫装置(100)包括：固定件(1)，所述固定件(1)适于固设于所述第二支路(102)的远离所述第一支路(101)的一端；清扫部件(2)，所述清扫部件(2)包括连杆(21)、承载台(22)和铲除器(23)，所述连杆(21)穿设于所述固定件(1)，所述承载台(22)和所述铲除器(23)沿所述连杆(21)的轴向间隔设置，所述铲除器(23)具有镂空部(231)，所述铲除器(23)位于所述承载台(22)的背离所述固定件(1)的一侧且用于至少清扫所述第一支路(101)的内壁面，所述承载台(22)用于承载所述铲除器(23)去除的附着物的至少部分；第一驱动部件(3)，所述第一驱动部件(3)设于所述固定件(1)且用于驱动所述连杆(21)沿所述连杆(21)的轴向移动。2.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述承载台(22)设于所述连杆(21)的邻近所述铲除器(23)的一端，所述承载台(22)和所述铲除器(23)之间设有多个连接件(4)，多个所述连接件(4)沿所述连杆(21)的周向间隔设置。3.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述连接件(4)的横截面积小于所述连杆(21)的横截面积。4.根据权利要求2所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述铲除器(23)形成为环形。5.根据权利要求1所述的清扫装置(100)，其特征在于，所述第一驱动部件(3)包括：第一驱动器(31)；伸缩机构(32)，所述伸缩机构(32)连接所述第一驱动器(31)和所述清扫部件(2)，且所述伸缩机构(32)在所述第二支路(102)的轴向上可伸缩变形。6.根据权利要求1-5中任一项所述的清扫装置(100)，其特征在于，还包括转接件(5)和第二驱动部件(6)，所述第二驱动部件(6)用于驱动所述清扫部件(2)绕所述连杆(21)的轴向转动，其中，所述转接件(5)与所述连杆(21)枢转配合，所述第二驱动部件(6)通过密封磁流体与所述转接件(5)相连，所述密封磁流体用于密封所述转接件和所述第二驱动部件(6)之间的间隙，所述第二驱动部件(6)直接驱动所述清扫部件(2)转动，所述第一驱动部件(3)通过所述转接件(5)间接驱动所述清扫部件(2)移动。7.根据权利要求1-5中任一项所述的清扫装置(100)，其特征在于，还包括：伸缩密封件(7)，所述伸缩密封件(7)套设于所述连杆(21)的位于所述固定件(1)的背离所述承载台(22)的一侧的部分，且所述伸缩密封件(7)的两端分别密封连接于所述连杆(21)的远离所述承载台(22)的一端和所述固定件(1)。8.一种连接管组件(200)，其特征在于，包括：管路，所述管路包括第一支路(101)、第二支路(102)和第三支路(103)，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)同轴设置，所述第三支路(103)与所述第一支路(101)和所述第二支路(102)均连通；
清扫装置(100)，所述清扫装置(100)为根据权利要求1-7中任一项所述的清扫装置(100)，所述清扫装置(100)固设于所述第二支路(102)且用于至少清扫所述第一支路(101)的内壁面。9.根据权利要求8所述的连接管组件(200)，其特征在于，所述第一支路(101)和所述第二支路(102)竖直设置，且所述第一支路(101)设于所述第二支路(102)的上侧，所述管路还包括第四支路(104)，所述第四支路(104)连通于所述第二支路(102)且向下延伸，所述承载台(22)承载的附着物适于通过所述第四支路(104)排出。10.一种晶体生长设备，其特征在于，包括：炉体，所述炉体形成有排气口；连接管组件(200)，所述连接管组件(200)为根据权利要求8或9所述的连接管组件(200)，所述第一支路(101)的远离所述第二支路(102)的一端连通于所述排气口，所述第三支路(103)与所述晶体生长设备的抽真空装置相连。

技术总结
本实用新型公开了一种清扫装置、连接管组件和晶体生长设备，清扫装置包括固定件、清扫部件和第一驱动部件，固定件适于固设于第二支路的远离第一支路的一端；清扫部件包括连杆、承载台和铲除器，连杆穿设于固定件，承载台和铲除器沿连杆的轴向间隔设置，铲除器具有镂空部，铲除器位于承载台的背离固定件的一侧且用于至少清扫第一支路的内壁面，承载台用于承载铲除器去除的附着物的至少部分；第一驱动部件设于固定件且用于驱动连杆沿连杆的轴向移动。根据本实用新型的清扫装置，可以提高对管路的清理能力，节约清扫时间，延长对管路清扫周期，同时避免了管路堵塞造成的生产损失。同时避免了管路堵塞造成的生产损失。同时避免了管路堵塞造成的生产损失。


技术研发人员：颜子棋 李向阳
受保护的技术使用者：徐州鑫晶半导体科技有限公司
技术研发日：2022.09.30
技术公布日：2022/12/20