负压控制方法、半导体废气处理设备及存储介质与流程

技术特征：
1.一种负压控制方法，其特征在于：包括：设定风机频率负压关系映射和控制逻辑关系，所述风机频率负压关系映射包括至少6个频率负压对应关系；获取半导体废气处理设备的实际负压值及目标负压值；根据所述目标负压值和所述风机频率负压关系映射，确定所述目标负压值对应的所述频率与负压对应关系；根据所述目标负压值对应的所述频率与负压对应关系、所述实际负压值以及所述控制逻辑关系，获得变频器的目标频率。2.根据权利要求1所述的负压控制方法，其特征在于：所述控制逻辑关系包括与各个所述频率负压对应关系一一对应的运算关系。3.根据权利要求1所述的负压控制方法，其特征在于：所述频率负压对应关系为风机的频率范围与半导体废气处理设备的负压范围的对应关系。4.根据权利要求2所述的负压控制方法，其特征在于：所述运算关系为所述变频器的目标频率等于频率差值与负压差值的商与所述实际负压值之积，所述频率差值为风机的频率范围的上限值与下限值的差值，所述负压差值为半导体废气处理设备的负压范围的上限制与下限值的差值。5.根据权利要求4所述的负压控制方法，其特征在于：所述频率负压对应关系包括主运行对应关系、第一运行对应关系和第二运行对应关系，所述主运行对应关系、所述第一运行对应关系和所述第二运行对应关系的个数均大于或等于1，且个数之和大于6，所述主运行关系的所述风机的频率范围位于所述第一运行对应关系的风机的频率范围和所述第二运行对应关系的风机的频率范围之间。6.根据权利要求5所述的负压控制方法，其特征在于：所述第一运行对应关系的频率差值和所述第二运行对应关系的频率差值均小于或等于所述主运行对应关系的频率差值。7.根据权利要求1至6任意一项所述的负压控制方法，其特征在于：所述实际负压值包括进气口负压值或排气口负压值。8.一种半导体废气处理设备，其特征在于：包括反应装置、风机、变频器和控制器，所述反应装置包括排气口和进气口，所述排气口或所述进气口设有负压传感器，所述风机设置于所述排气口，所述变频器与所述风机连接，所述控制器与所述负压传感器和所述变频器均连接，用于执行如权利要求1至7任意一项所述的负压控制方法。9.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至7任意一项所述负压控制方法。10.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述负压控制方法。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种负压控制方法、半导体废气处理设备、电子设备和非暂态计算机可读存储介质，负压控制方法包括：设定风机频率负压关系映射和控制逻辑关系，风机频率负压关系映射包括至少6个频率负压对应关系；获取半导体废气处理设备的实际负压值及目标负压值；根据目标负压值和风机频率负压关系映射，确定目标负压值对应的频率与负压对应关系；根据目标负压值对应的频率与负压对应关系、实际负压值以及控制逻辑关系，获得变频器的目标频率。通过对风机的转速进行控制，可以有效提升负压，同时保证负压稳定，降低厂务消耗。厂务消耗。厂务消耗。


技术研发人员：张坤
受保护的技术使用者：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
技术研发日：2022.07.29
技术公布日：2022/12/12