弹性波装置的制作方法

技术特征：
1.一种弹性波装置，具备：压电性基板；idt电极，设置在所述压电性基板上；以及反射器电极，配置在所述idt电极的弹性波传播方向两侧，具有隔开间隔配置的多根电极指，所述弹性波装置还具备：第1电介质膜，在设置有所述反射器电极的所述多根电极指以及所述间隔的区域中配置在所述反射器电极与所述压电性基板之间。2.一种弹性波装置，具备：压电性基板；idt电极，设置在所述压电性基板上；以及反射器电极，配置在所述idt电极的弹性波传播方向两侧，具有隔开间隔配置的多根电极指，所述弹性波装置还具备：第1电介质膜，配置在所述反射器电极的所述多根电极指与所述压电性基板之间，在配置有所述反射器电极的所述间隔的区域与所述压电性基板之间的整个区域，均未配置所述第1电介质膜。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述idt电极具有彼此交错对插的多根第1电极指以及多根第2电极指，所述第1电极指和所述第2电极指在弹性波传播方向上彼此重叠的区域为交叉区域，所述交叉区域具有中央区域和在所述第1电极指以及第2电极指延伸的方向上配置在中央区域的两侧的第1边缘区域以及第2边缘区域，所述弹性波装置还具备：第2电介质膜，在所述第1边缘区域以及第2边缘区域中配置在所述idt电极与所述压电性基板之间。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述第1电介质膜包含从包含氧化钽、氧化铌、氧化钨、氧化铪以及氧化硒的组中选择的一种氧化物。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板包含压电体，所述压电体为linbo3或者litao3。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板具有支承基板和直接或者间接地层叠于所述支承基板的压电膜，所述压电膜为linbo3或者litao3。7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板还具备：高声速材料层，配置在所述压电膜与所述支承基板之间，且包含传播的体波的声速比在所述压电膜传播的弹性波的声速高的高声速材料。8.根据权利要求7所述的弹性波装置，其中，还具备：低声速膜，配置在所述高声速材料层与所述压电膜之间，且包含传播的体波的声速比在所述压电膜传播的体波的声速低的低声速材料。9.根据权利要求7或8所述的弹性波装置，其中，
所述高声速材料层与所述支承基板一体化。10.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，所述压电性基板还具备：声反射膜，层叠在所述压电膜与所述支承基板之间。11.根据权利要求10所述的弹性波装置，其中，所述声反射膜具有声阻抗相对低的低声阻抗层和声阻抗相对高的高声阻抗层。

技术总结
本发明提供一种抑制了由瑞利波造成的响应的弹性波装置。一种弹性波装置(1)，具备：IDT电极(5)，设置在压电性基板上；以及反射器电极(6、7)，配置在IDT电极(5)的弹性波传播方向两侧，具有隔开间隔配置的多根电极指(6a或者7a)，还具备：电介质膜(10、11)，在设置有反射器电极(6、7)的多根电极指(6a、7a)以及间隔的区域中配置在反射器电极(6、7)与压电性基板之间。间。间。


技术研发人员：大门克也
受保护的技术使用者：株式会社村田制作所
技术研发日：2021.04.20
技术公布日：2022/12/2