一种长料座冷却风干工艺箱的制作方法

1.本实用新型属于硅片设备脱胶清洗技术领域，具体涉及一种长料座冷却风干工艺箱。


背景技术：

2.在硅片制备工序中，需要有对长料座进行清洗并冷却风干的工序。但在目前的工序中，存在冷却时间过长，且冷却后带有水滴，冷却效果不好，效率较低的问题，且在冷却风干过程中存在水滴外溅问题，影响设备使用，对冷却风干过程产生影响。
3.因此，基于以上需求，本实用新型提供一种长料座冷却风干工艺箱，能够对长料座进行冷却风干，且缩短冷却时间，可以快速冷却，提高效率；且解决了水滴外溅问题，相比传统的冷却风干系统有更好的改进。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为解决上述背景技术中提出的目前冷却风干工序中存在冷却时间过长，且冷却后带有水滴，冷却效果不好，效率较低且水滴外溅影响设备使用的问题，提供了一种长料座冷却风干工艺箱，能够对长料座进行冷却风干，且缩短冷却时间，可以快速冷却，提高效率；且解决了水滴外溅问题，相比传统的冷却风干系统有更好的改进。
5.为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：
6.一种长料座冷却风干工艺箱，包括：
7.冷却箱与风干箱，所述冷却箱与所述风干箱为并排设置的上端开口的箱体，所述冷却箱中设置有冷却机构，用于对长料座进行冷却，所述风干箱中设置有风干机构，用于对冷却后的所述长料座进行风干；
8.门盖，所述门盖设置于所述冷却箱或所述风干箱上端，可以在所述冷却箱或所述风干箱上端来回移动以对所述冷却箱或所述风干箱的上端进行封堵；
9.调节机构，所述调节机构用于调节所述门盖在所述冷却箱或所述风干箱之间移动。
10.进一步地，所述冷却机构包括：
11.液位计，所述液位计设置于所述冷却箱中，用于对向所述冷却箱中注入的水量进行监控；
12.温度传感器，所述温度传感器设置于所述冷却箱中，用于对所述冷却箱中的水温进行监控。
13.进一步地，所述风干机构包括：
14.歧块链，所述歧块链设置于所述风干箱中，由若干歧块之间通过通气管连接而成，所述歧块链用于向所述长料座进行风干；
15.气管接头，所述气管接头设置于所述通气管端部，贯穿所述风干箱的箱壁，所述气管接头一端连接所述通气管，另一端连接气体进行风干操作。
16.进一步地，所述调节机构包括：
17.调整螺杆，所述调整螺杆上设置有气缸，所述气缸可以在所述调整螺杆上左右移动；
18.连接件，所述连接件一端设置于所述气缸上，另一端设置于所述门盖边缘，用于连接所述气缸和所述门盖，所述气缸移动时可以带动所述门盖移动；
19.导轨，所述导轨设置于所述调整螺杆上方，所述导轨用于所述连接件在所述导轨上滑动。
20.进一步地，还包括缓冲件，所述缓冲件设置于所述调整螺杆上，位于所述调整螺杆边缘，所述缓冲件用于在所述气缸移动时起到缓冲作用。
21.进一步地，所述冷却箱和所述风干箱为相互连接设置或可拆分设置。
22.与现有技术相比，本实用新型具有的优点和积极效果是：本实用新型设计的一种长料座冷却风干工艺箱，使用循环冷却系统进行冷却，能够对长料座进行冷却风干，且缩短冷却时间，可以快速冷却，提高效率；且通过门盖的封锁，解决了水滴外溅问题，相比传统的冷却风干系统有更好的改进。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.图1是本实用新型一实施例的长料座冷却风干工艺箱的结构示意图。
25.图中：
26.1-冷却箱2-风干箱3-门盖4-温度传感器5-歧块链51-歧块52-通气管6-气管接头7-调整螺杆71-气缸8-连接件9-导轨10-缓冲件
具体实施方式
27.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
28.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，均为相对位置，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
29.请参见附图1，在本实用新型实施例中，本实用新型提供了一种长料座冷却风干工艺箱，包括：
30.冷却箱1与风干箱2，冷却箱1与风干箱2为并排设置的上端开口的箱体，冷却箱1中设置有冷却机构，用于对长料座进行冷却，风干箱2中设置有风干机构，用于对冷却后的长
料座进行风干；
31.门盖3，门盖3设置于冷却箱1或风干箱2上端，可以在冷却箱1或风干箱2上端来回移动以对冷却箱1或风干箱2的上端进行封堵；优选地，门盖3可以为钣金门盖，重量轻，强度高，且成本较低。
32.调节机构，调节机构用于调节门盖3在冷却箱1或风干箱2之间移动。
33.具体地，冷却机构包括：
34.液位计(图中未示出)，液位计设置于冷却箱1中，用于对向冷却箱1中注入的水量进行监控；
35.温度传感器4，温度传感器4设置于冷却箱1中，用于对冷却箱1中的水温进行监控。
36.具体地，液位计和温度传感器4用于向冷却箱1中注入冷却水时，对注入的水位和水温进行监控，当注入的水位达到冷却需求时，液位计发出提示，控制系统停止注水，当水温达到冷却标准，温度传感器4发出提示，控制系统将长料座放入冷却箱1中，进行冷却。
37.具体地，风干机构包括：
38.歧块链5，歧块链5设置于风干箱2中，由若干歧块51之间通过通气管52连接而成，歧块链5用于向长料座进行风干；
39.气管接头6，气管接头6设置于通气管52端部，贯穿风干箱2的箱壁，气管接头6一端连接通气管52，另一端连接气体进行风干操作。
40.优选地，歧块51可选择铝合金材质的歧块，在进行风干操作时，气体自歧块51的空隙中流出，对冷却过后的长料座进行风干操作。
41.具体地，调节机构包括：
42.调整螺杆7，调整螺杆7上设置有气缸71，气缸71可以在调整螺杆7上左右移动；
43.连接件8，连接件8一端设置于气缸71上，另一端设置于门盖3边缘，用于连接气缸71和门盖3，气缸71移动时可以带动门盖3移动；
44.导轨9，导轨9设置于调整螺杆7上方，导轨9用于连接件8在导轨9上滑动。
45.具体地，调节机构可以设置于冷却箱1与风干箱2的端部外壁上，导轨9设置于调整螺杆7与门盖3之间，当气缸71在调整螺杆7上滑动时，带动连接件8在导轨9上滑动，进而带动门盖3滑动，使门盖3在冷却箱1或风干箱2的上端滑动，封闭冷却箱1或风干箱2。
46.优选地，还包括缓冲件10，缓冲件10设置于调整螺杆7上，位于调整螺杆7边缘，缓冲件10用于在气缸71移动时起到缓冲作用。
47.具体地，由于缓冲件10的设置，能够防止气缸71移动时速度过快产生脱轨现象，对门盖3造成损坏。
48.具体地，冷却箱1和风干箱2为相互连接设置或可拆分设置。冷却箱1和风干箱2可以为一体化相互连接设置，也可以为可拆分设置。冷却箱1和风干箱2为同等大小且型号一致，能够共用门盖3的箱体。
49.在使用此长料座风干工艺箱时，预先向冷却箱1中注入水，液位计用于监控注入水的水量，温度传感器4用于监控水温，当冷却箱1中的水温达到冷却标准，控制系统控制机械手抓取料座，将长料座放入冷却箱1中进行冷却，冷却过程为循环冷却，可以缩短冷却时间。在冷却过程中，可以移动气缸71，使气缸71在调整螺杆7上滑动，连接件8在导轨9上滑动，带动门盖3移动到冷却箱1的上端位置，封闭冷却箱1，进行冷却工序。冷却后，打开门盖3，机械
手抓取长料座放入风干箱2中，同样移动气缸71使门盖3位于风干箱2上端，封闭风干箱2以防止水滴外溅，向气管接头6中通入风干气体，气体通过通气管52与歧块51的作用下，对长料座进行吹风风干操作。吹风结束后，长料座无可见水滴，控制系统控制机械手抓取长料座，进行下一工序。
50.本实用新型产生的优点和积极效果是：
51.本实用新型设计的一种长料座冷却风干工艺箱，使用循环冷却系统进行冷却，能够对长料座进行冷却风干，且缩短冷却时间，可以快速冷却，提高效率；且通过门盖的封锁，解决了水滴外溅问题，相比传统的冷却风干系统有更好的改进。
52.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。