组合物的供给方法、组合物以及干蚀刻方法与流程

技术特征：
1.一种组合物的供给方法，其特征在于，将封入有组合物的保存容器在10℃以上的固定温度下进行保温，然后将所述组合物的气体供给至规定装置，所述组合物的气相中包含：三甲胺；二甲基乙基胺；以及二甲胺和单甲胺中的至少1种。2.根据权利要求1所述的组合物的供给方法，其特征在于，在所述气相中包含95体积％以上的三甲胺、1～100体积ppm的二甲基乙基胺、0～1000体积ppm的二甲胺和0～100体积的ppm单甲胺。3.根据权利要求1或2所述的组合物的供给方法，其特征在于，在所述气相中包含95体积％以上的三甲胺、1～50体积ppm的二甲基乙基胺、0～400体积ppm的二甲胺和0～50体积ppm的单甲胺。4.根据权利要求1～3中任一项所述的组合物的供给方法，其中，将所述保存容器在10～50℃的固定温度下进行保温。5.根据权利要求1～4中任一项所述的组合物的供给方法，其中，将所述保存容器在15～40℃的固定温度下进行保温。6.根据权利要求1～5中任一项所述的组合物的供给方法，其中，以组合物的总量为基准供给90重量％的所述组合物的气体后的、气相中的三甲胺、二甲基乙基胺、二甲胺和单甲胺的各含量的增减与供给开始前相比为10％以内。7.根据权利要求1～6中任一项所述的组合物的供给方法，其特征在于，在所述气相中还包含1～1000体积ppm的水分。8.根据权利要求1～7中任一项所述的组合物的供给方法，其特征在于，在所述气相中还包含非活性气体。9.一种组合物，其用于权利要求1～8中任一项所述的组合物的供给方法，所述组合物在气相中包含：三甲胺；二甲基乙基胺；以及、二甲胺和单甲胺中的至少1种。10.一种干蚀刻方法，其特征在于，在不伴有等离子体状态的情况下，使利用权利要求1～8中任一项所述的组合物的供给方法供给的气体组合物和气体氟化氢与硅氧化物反应。

技术总结
提供一种以固定组成稳定供给包含单甲胺或二甲胺作为微量杂质的三甲胺的方法。本发明为一种组合物的供给方法，其特征在于，将封入有组合物的保存容器在10℃以上的固定温度下进行保温，然后将上述组合物的气体供给至规定装置，上述组合物的气相中包含：三甲胺；二甲基乙基胺；以及、二甲胺和单甲胺中的至少1种。二甲胺和单甲胺中的至少1种。


技术研发人员：谷口敬寿 大森启之 八尾章史
受保护的技术使用者：中央硝子株式会社
技术研发日：2021.04.27
技术公布日：2022/12/8