一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统的制作方法

技术特征：
1.一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，包括清洗容器（100）、桁架机器人（200）、清洗上料平台（300）和清洗下料平台（400），所述清洗容器（100）内设置有多个隔挡板（500），将所述清洗容器（100）内依次分隔为多个上端开口的容纳腔，所述桁架机器人（200）设置于所述清洗容器（100）上方，用于夹抓待清洗件从一个所述容纳腔搬移至另一所述容纳腔，多个所述容纳腔中包括依次排列的第一容纳腔（110）、第二容纳腔（120）和第三容纳腔（130），所述第一容纳腔（110）容纳有碱液或酸液，且安装有第一转动平台（111）、第一加热模组（112）、第一鼓泡模组（113）和第一温控模组（114），且与所述清洗上料平台（300）的一侧相连，所述第二容纳腔（120）容纳有清水，且安装有第一搅转机构（121）和超声换能器（122），所述第三容纳腔（130）的内壁安装有多个加热条（131），所述加热条（131）用于加热烘干所述待清洗件，所述第三容纳腔（130）的一侧与所述清洗下料平台（400）相连。2.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，多个所述加热条（131）等间隔设置，且任意相邻的两个所述加热条（131）之间设置有多个第一气吹头（132），多个所述第一气吹头（132）可吹出高压干燥冷却洁净气体，用于冷却所述待清洗件。3.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第三容纳腔（130）的底部安装有第二转动平台（133），所述待清洗件可放置于所述第二转动平台（133），所述第二转动平台（133）可带动所述待清洗件旋转。4.根据权利要求1所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第一容纳腔（110）与所述第二容纳腔（120）之间还具有第四容纳腔（140），所述第二容纳腔（120）与所述第三容纳腔（130）之间还具有第五容纳腔（150），所述第四容纳腔（140）和所述第五容纳腔（150）的内壁均设置有多个冲洗喷头（141），多个所述冲洗喷头（141）可喷出高压清水，用于冲洗所述待清洗件，所述第四容纳腔（140）和所述第五容纳腔（150）的底部开设有快排水口（142）。5.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第一容纳腔（110）与所述第四容纳腔（140）之间还具有第六容纳腔（160）和第七容纳腔（170），所述第六容纳腔（160）容纳有清水，且安装有第二搅转机构（161）和第二鼓泡模组（162），所述第七容纳腔（170）容纳有碱液或氢氟酸溶液，且安装有第三搅转机构（171）和第三鼓泡模组（172），所述第一容纳腔（110）、所述第六容纳腔（160）、所述第七容纳腔（170）和所述第四容纳腔（140）依次连接。6.根据权利要求5所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第一容纳腔（110）与所述第七容纳腔（170）内均设置有ph检测器（173）。7.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第二容纳腔（120）与所述第五容纳腔（150）之间还具有第八容纳腔（180），所述第八容纳腔（180）容纳有脱盐水，且安装有第四搅转机构（181）、第四鼓泡模组（182）、第二加热模组（183）和第二温控模组（184）。8.根据权利要求4所述的一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，其特征在于，所述第五容纳腔（150）与所述第三容纳腔（130）之间还具有第九容纳腔（190），所述第九容纳腔（190）的内壁设置有多个第二气吹头（191），多个所述第二气吹头（191）可吹出高压干燥洁净气体，用于吹去所述待清洗件上的至少部分液体。

技术总结
本申请涉及一种多晶硅还原炉用多功能清洗系统，清洗容器内设置的多个隔挡板将清洗容器内分隔为多个容纳腔，桁架机器人用于夹抓待清洗件从一个容纳腔搬移至另一容纳腔，多个容纳腔中包括依次排列的第一容纳腔、第二容纳腔和第三容纳腔，第一容纳腔容纳有碱液或酸液，且安装有第一转动平台、第一加热模组、第一鼓泡模组和第一温控模组，第二容纳腔容纳有清水，且安装有第一搅转机构和超声换能器，第三容纳腔的内壁安装有多个加热条，加热条用于加热烘干待清洗件。上述方案能够自动完成氮化硅瓷环以及硅芯的清洗，清洗效率高，且清洗过程无需人工参与，减轻工作人员的劳动强度，同时也避免了人工操作的过程中腐蚀性液体溅出伤人事故的发生。人事故的发生。人事故的发生。


技术研发人员：徐志国 吴瑾东 王奕凯 梁学勤 段波 赵明
受保护的技术使用者：宁夏润阳硅材料科技有限公司
技术研发日：2022.06.28
技术公布日：2022/12/6