一种加热器及等离子刻蚀设备的制作方法

技术特征：
1.一种加热器，用于等离子刻蚀设备，其特征在于，包括：若干连接部和若干长度不同的指状凸出部，所述若干连接部和若干指状凸出部均匀布满所述加热器；所述连接部设置在所述加热器的边缘，与所述指状凸出部交替设置，一体化连接；若干长度不同的所述指状凸出部交错排布，且分别从与所述连接部的连接端指向所述加热器的中心。2.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述若干连接部和若干长度不同的指状凸出部规则排布，形成至少两个相同排布的加热单元。3.如权利要求2所述的加热器，其特征在于，所述指状凸出部包括第一凸出部、第二凸出部和第三凸出部，每个加热单元包括一个第二凸出部以及位于所述第二凸出部两侧的两个第三凸出部和位于所述两个第三凸出部两侧的两个第一凸出部，所述加热单元为以所述第二凸出部为对称轴的对称结构，所述第一凸出部将所述加热器均分为不同的加热单元，相邻的加热单元共用一个第一凸出部。4.如权利要求3所述的加热器，其特征在于，所述第一凸出部的长度大于所述第二凸出部的长度大于所述第三凸出部的长度。5.如权利要求4所述的加热器，其特征在于，所述加热器的轮廓呈圆形。6.如权利要求5所述的加热器，其特征在于，所述第一凸出部的长度为所述加热器的直径的40％至50％；所述第二凸出部的长度为所述加热器的直径的20％至33％；所述第三凸出部的长度为所述加热器的直径的15％至19％。7.如权利要求1所述的加热器，其特征在于，所述加热器由至少一根金属线弯折形成，所述加热器通过所述金属线连接至电源。8.如权利要求7所述的加热器，其特征在于，所述指状凸出部为由金属线弯折而成的双层“u”字形，所述连接部为由金属线弯折而成的单层“工”字形。9.如权利要求7所述的加热器，其特征在于，在所述加热器的轮廓图形中，所述金属线的轮廓的面积为所述加热器的轮廓面积的85％至95％。10.一种等离子刻蚀设备，其特征在于，包括：反应腔；承载台，设置于所述反应腔底部，用于承载晶圆；如权利要求1至9任一项所述的加热器，设置于所述反应腔上部，位于所述承载台正上方，所述加热器的尺寸与所述反应腔的尺寸匹配。

技术总结
本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，所述加热器包括：若干连接部和若干长度不同的指状凸出部，所述若干连接部和若干指状凸出部均匀布满所述加热器；所述连接部设置在所述加热器的边缘，与所述指状凸出部交替设置，一体化连接；若干长度不同的所述指状凸出部交错排布，且分别从与所述连接部的连接端指向所述加热器的中心。本申请提供一种加热器及等离子刻蚀设备，对加热器的结构进行改进，可以提高加热器的加热效率以及温度均匀性。热器的加热效率以及温度均匀性。热器的加热效率以及温度均匀性。


技术研发人员：张二辉 王俊
受保护的技术使用者：上海微芸半导体科技有限公司
技术研发日：2022.10.17
技术公布日：2022/12/6