在受限空间内移动真空系统部件的运输装置和方法与流程

技术特征：
1.一种在辅助生产层内移动真空系统部件的方法，所述方法包括：将所述运输装置移动到邻近真空系统部件；降低所述运输装置的负载承载机构；使用所述运输装置的所述装载机构拉动所述真空系统部件通过所述运输装置的支撑框架的敞开背面，使得所述真空系统部件由所述负载承载机构支撑；升高所述负载承载机构；将所述运输装置驱动到所述辅助生产层中的不同位置；执行降低或升高所述负载承载机构中的一者；以及卸载所述真空系统部件。2.一种用于在受限空间中运输负载的运输装置，所述运输装置包括：可滚动元件，其被配置为在表面上支撑和移动所述运输装置；用于驱动所述可滚动元件的驱动机构；负载承载机构，其安装成能够在邻近所述表面的降低位置与至少一个升高位置之间移动；支撑框架，其被配置成支撑所述负载承载机构，并且包括前壁、两个侧壁以及一敞开背部，所述负载承载机构被安装成使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁在所述升高位置和所述降低位置中的至少一个位置围绕所述负载承载机构延伸；至少一个致动器，其安装在所述支撑框架的所述壁中的一者上，用于可控制地升高和降低所述负载承载机构；其中所述可滚动元件邻近所述支撑框架的所述侧壁安装，并在四个位置处支撑所述两个侧壁，使得所述运输装置的重心在所述四个位置之间。3.根据权利要求2所述的运输装置，其中所述负载承载机构包括基板，所述基板被安装成使得所述支撑框架的所述侧壁和前壁延伸超过所述基板的周界。4.根据权利要求2或3所述的运输装置，其中，所述可滚动元件包括四个轮。5.根据权利要求4所述的运输装置，其中，所述四个轮中的每一个能够独立地驱动，从而允许所述运输装置的平移和旋转运动。6.根据权利要求2至5中任一项所述的运输装置，其中所述运输装置包括装载机构，所述装载机构配置成当所述负载承载机构在所述降低位置时拉动负载通过所述支撑框架的所述敞开背部。7.根据权利要求6所述的运输装置，其中所述侧壁各自包括水平延伸的引导件以及致动器，所述引导件被配置成支撑所述装载机构并将所述装载机构从朝向所述前壁的位置引导至朝向所述支撑框架的所述背面的位置，所述致动器被配置成沿所述引导件驱动所述装载机构。8.根据权利要求6或7所述的运输装置，其中所述装载机构包括磁体，所述磁体用于拉动所述负载穿过所述支撑框架的所述敞开背部。9.根据权利要求8所述的运输装置，其中，所述磁体包括永磁体，诸如稀土磁体。10.根据权利要求2至9中任一项所述的运输装置，其中所述运输装置包括：传感器，其被配置为感测所述运输装置周围的体积；以及控制电路，所述控制电路被配置成控制所述驱动机构，所述控制电路被配置成接收来
自所述传感器的信号，并且响应于所述信号来控制所述驱动机构，以抑制所述运输装置与由所述传感器感测到的物体碰撞。11.根据权利要求2至10中任一项所述的运输装置，其中所述运输装置包括自主运输装置。12.根据权利要求2至11中任一项所述的运输装置，其中所述运输装置包括至少三个引导件，一个引导件安装在包括所述侧壁和前壁的所述平面的每一个中，并且每个引导件竖直地延伸并被配置成在所述升高位置和降低位置之间引导所述负载承载机构。13.根据权利要求2至12中任一项所述的运输装置，其中所述至少一个致动器被配置成使所述负载承载机构在降低的位置和多个不同的升高的位置之间可控制地移动。14.根据权利要求12和13所述的运输装置，所述运输装置还包括框架，所述框架包括从所述运输装置的所述支撑框架竖直向上延伸的角部构件，其中，所述运输装置包括四个所述引导件，所述四个所述引导件附接到所述框架的所述角部构件或形成所述框架的所述角部构件的一部分，并被配置为将所述负载承载机构从所述降低位置引导到所述多个升高位置。15.根据从属于权利要求3时的权利要求14所述的运输装置，其中所述基板包括从所述基板的前部和侧部竖直向上延伸的障碍构件。

技术总结
公开了一种用于在受限空间中运输负载（60）的运输装置（10）和一种在辅助生产层中移动真空系统部件的方法。该运输装置包括：轮（12），其被配置为在表面上支撑和移动所述运输装置；和用于驱动轮的驱动机构。负载承载机构（50）被安装成可在邻近所述表面的降低位置与至少一个升高位置之间移动，支撑框架（20）被配置成支撑所述负载承载机构，包括前壁（24）、两个侧壁（22）以及一敞开的背部（26）。负载承载机构被安装成使得支撑框架的侧壁和前壁在升高位置和降低位置中的至少一者中围绕负载承载机构延伸。存在安装在支撑框架的壁中的一者上的至少一个致动器（40），用于升高和降低负载承载机构，并且轮邻近支撑框架的侧壁安装，并且在四个位置处支撑两个侧壁，使得运输装置的重心位于这四个位置之间。心位于这四个位置之间。心位于这四个位置之间。


技术研发人员：W
受保护的技术使用者：爱德华兹真空泵有限责任公司
技术研发日：2021.04.30
技术公布日：2022/12/2