一种MEMS微针的制作方法

技术特征：
1.一种mems微针，其特征在于：包括硬针和软针，所述软针置于所述硬针上方，所述硬针上表面沿其长度方向间隔布置有若干个用于连接软针的连接件，该连接件在硬针与软针分离时可发生断裂。2.如权利要求1所述的mems微针，其特征在于：所述连接件为微柱，所述微柱采用生物医用sin或钛合金材料制成。3.如权利要求2所述的mems微针，其特征在于：所述软针通过mems工艺生长于微柱的上表面，与微柱形成连接。4.如权利要求1所述的mems微针，其特征在于：若干所述连接件由硬针的针尖到针尾间隔布置，且若干所述连接件分两列分别布置于硬针宽度两侧边缘。5.如权利要求4所述的mems微针，其特征在于：所述硬针两侧的连接件依次交错布置。6.如权利要求4所述的mems微针，其特征在于：所述软针的宽度不大于硬针宽度。7.如权利要求1所述的mems微针，其特征在于：所述硬针采用硅材料制得。8.如权利要求1所述的mems微针，其特征在于：所述软针采用氮化硅、多晶硅、碳化硅材料制得。9.如权利要求1～8任一项所述的mems微针，其特征在于：所述软针上表面具有至少一个用于采集神经信号的体电极点。10.如权利要求9所述的mems微针，其特征在于：还包括集成电路芯片，所述集成电路芯片与所述软针的尾部键合，形成电连接，所述集成电路芯片接收并分析处理所述体电极点采集的神经信号。

技术总结
本实用新型提供了一种MEMS微针，包括硬针和软针，所述软针置于所述硬针上方，所述硬针上表面沿其长度方向间隔布置有若干个用于连接软针的连接件，该连接件在硬针与软针分离时可发生断裂。该MEMS微针通过在硬针与软针之间设置连接件，可使硬针带动软针一同植入组织，同时设计连接件具有一定强度，使得硬针拔出时，连接件在拔出力度下能发生断裂，实现软针与硬针的分离，操作方便，有效解决了现有技术中刚性微针易造成植入性损伤，而软性微针不便于操作者将微针体植入组织内的问题；并且将连接件沿硬针整个长度范围内设置，有效避免了软针在植入组织过程中软针中间发生翘曲变形。针在植入组织过程中软针中间发生翘曲变形。针在植入组织过程中软针中间发生翘曲变形。


技术研发人员：黄立 黄晟 童贝
受保护的技术使用者：武汉衷华脑机融合科技发展有限公司
技术研发日：2022.06.15
技术公布日：2022/12/2