一种Recipe文件管理方法、系统、存储介质及计算机与流程

一种recipe文件管理方法、系统、存储介质及计算机
技术领域
1.本发明涉及半导体集成电路技术领域，特别涉及一种recipe文件管理方法、系统、存储介质及计算机。


背景技术：

2.recipe(制程方法)是指工业自动化制造过程中的工艺制程，recipe中可以包括以下信息：物料加工过程中的多个步骤、每个步骤中各种工艺参数的数值、以及各步骤的结束条件等等。
3.目前，在led芯片制造行业，随产品尺寸越来越小，同4寸晶圆下芯片颗粒数成倍率增加，尤其随mini和micro产品量产推进，在其led芯片制程流程中，光电性测试环节需求的测量设备数量越来越多，规模越来越大，单工序机台数量已达到1000台以上，控制机台运行的程序recipe文件因数量太多，管理难度较大，程序参数调整，更新等需逐一机台进行设置，工作量大，耗时久，且极易造成错误和机台间不统一，且较难发现个别机台设定错误现象。


技术实现要素：

4.基于此，本发明的目的是提供一种recipe文件管理方法、系统、存储介质及计算机，用于解决现有技术中recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
5.本发明一方面提出一种recipe文件管理方法，所述方法包括：识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件库；根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。
6.优选地，所述识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称的步骤之前所述方法还包括：根据第二配置文件下载规则周期性从所述产品通用类型文件库中下载标准通用配置文件；将所述机台本地端中的原始通用配置文件替换为下载的所述标准通用配置文件。
7.优选地，所述产品通用类型文件库包括抛档路径参数和账号权限参数的配置文件，所述产品不通用类型文件库包括测试条件参数、光罩档参数及设定档参数的配置文件；
所述机台不通用类型文件库包括校正档参数和机台硬件运行参数的配置文件。
8.优选地，所述recipe文件名称总计13位码数，所述根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称的步骤具体包括：根据所述recipe文件名称的前12位码数生成所述光罩档参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前7位码数生成所述设定档参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前6位码数生成所述机台硬件运行参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前8位码数加最后一位码数生成所述测试条件参数的标准配置文件名称；根据测试条件参数名称的前8位码数生成所述校正档参数的标准配置文件名称。
9.优选地，所述将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件的步骤之前，所述方法还包括：通过报警的方式提示测试人员，并将所述差异从显示器上列出。
10.优选地，所述网络端中的文件可实时修改。
11.本发明另一方面还提出一种recipe文件管理系统，包括：获取模块，用于识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；生成模块，用于根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件库；对比模块，用于根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；更新模块，用于若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。
12.优选地，所述系统还包括：自动获取模块，用于根据第二配置文件下载规则周期性从所述产品通用类型文件库中下载标准通用配置文件；自动更新模块，用于将所述机台本地端中的原始通用配置文件替换为下载的所述标准通用配置文件。
13.优选地，所述生成模块包括：第一生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前12位码数生成所述光罩档参数的标准配置文件名称；第二生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前7位码数生成所述设定档参数的标准配置文件名称；
第三生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前6位码数生成所述机台硬件运行参数的标准配置文件名称；第四生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前8位码数加最后一位码数生成所述测试条件参数的标准配置文件名称；第五生成单元，用于根据测试条件参数名称的前8位码数生成所述校正档参数的标准配置文件名称优选地，所述系统还包括：报警模块，用于通过报警的方式提示测试人员，并将所述差异从显示器上列出。
14.本发明还提出一种可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上述的recipe文件管理方法。
15.本发明还提出一种计算机，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述的recipe文件管理方法。
16.上述recipe文件管理方法、系统、存储介质及计算机，通过一个网络端对多个机台统一管理的方式，实现机台的自动更新，避免传统一台一台去修改recipe文件的方式，具体地，先识别待测产品的片号，并根据该片号从网络端中下载相应的recipe文件名称，然后根据recipe文件名称从网络端中依据第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，最后根据标准配置文件名称从网络端中查询相应的标准配置文件，将标准配置文件与机台本地端的原始配置文件进行对比，判断是否存在差异，若有，直接下载替换即可，效率高且不易出错，解决了现有技术中，recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
附图说明
17.本发明的上述与/或附加的方面与优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显与容易理解，其中：图1为本发明第一实施例中recipe文件管理方法的流程图；图2为本发明第二实施例中recipe文件管理方法的流程图；图3为本发明第二实施例中recipe文件拆分上传网络端的逻辑图；图4为本发明第二实施例中从产品通用类型文件库中下载标准通用配置文件的流程图；图5为本发明第二实施例中从产品不通用类型文件库和机台不通用类型文件库中下载标准配置文件的流程图；图6为本发明第三实施例中recipe文件管理系统的结构图；如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
18.为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的若干实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
19.除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具
体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及／或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
20.本发明实施例旨在提出一种recipe文件管理方法，应用于半导体集成电路技术领域。具体地，目前在半导体集成电路领域，由于加工精细度越来越高，工艺过程也变得越来越复杂，一个recipe中包含的信息也越来越多，需要修改和增加的recipe参数会不断增多，在对recipe模板的第一配置文件（新文件）修改之后，需要对所有该recipe模板对应的已有recipe的第二配置文件（旧文件）进行修改。具体地，一个recipe模板可以对应有多个已有recipe，因此，需要对每个已有recipe的第二配置文件进行修改，如果通过手工修改，不但效率低下，而且由于人为因素容易导致错误的发生。
21.为解决现有recipe文件管理方法存在的上述技术问题，本发明实施例旨在提供一种recipe文件管理方法，用于批量设备等间参数共用唯一化网络端管理，可一键修改，所有设备（上千台）自动更新，便捷又快捷，省时省力，且防堵人员失误问题，减少了人员对于大批量设备的recipe参数的管理难度。
22.具体地，本发明实施例的recipe文件管理方法，所述方法包括：识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件库；根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。通过一个网络端对多个机台统一管理的方式，实现机台的自动更新，避免传统一台一台去修改recipe文件的方式，具体地，先识别待测产品的片号，并根据该片号从网络端中下载相应的recipe文件名称，然后根据recipe文件名称从网络端中依据第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，最后根据标准配置文件名称从网络端中查询相应的标准配置文件，将标准配置文件与机台本地端的原始配置文件进行对比，判断是否存在差异，若有，直接下载替换即可，效率高且不易出错，解决了现有技术中，recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
23.实施例一请参阅图1，所示为本发明第一实施例中的recipe文件管理方法的流程图，所述方法包括：步骤s101，识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；具体地，不同的待测产品有不同的片号，机台通过扫描条码获取待测产品的信息，基于片号上记载的工艺信息该从网络端获取并生成其对应的recipe程序名称。
24.步骤s102，根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件
库；具体地，在得到recipe文件名称后，可以通过其配置的网络地址，从网络端获取并下载对应的标准配置文件，需要注意的是，本实施例不是基于recipe文件名称去网络端中查询对应的配置文件，而是先将获取到的recipe文件名称根据功能模块的不同拆分为多个标准配置文件名称，再基于拆分后的标准配置文件名称的网络地址去网络端中查询相应的标准配置文件，因此，在网络端中存储的recipe文件也是拆分开的，各个配置文件分别存入其对应的文件库中。这样的话不同机台间通用参数共用唯一化网络端管理，配置文件调用灵活且占用网络端的空间少，极大的提升了工作效率。其中，标准配置文件名称包括测试条件参数、光罩档参数、设定档参数、正档参数及机台硬件运行参数的名称。
25.步骤s103，根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；具体地，将机台本地端中的原始配置文件与网络端中查询到的标准配置文件比对，若两者没有差异，则表明当前机台的recipe文件正确，无需进行更新替换，反之，若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异项目则执行以下步骤s104。
26.步骤s104，若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。
27.具体地，在实际应用中，该修改过程可以由计算机执行，不需要人工进行参与，避免了人工对机台已有recipe文件一一进行修改的过程，从而可以提高recipe参数处理效率；此外，还可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险，从而可以提高recipe参数处理的正确性。
28.本实施例中，批量设备等间参数共用唯一化网络端管理，可一键修改，所有设备（上千台）自动更新，便捷又快捷，省时省力，且防堵人员失误问题，减少了人员对于大批量设备的recipe参数的管理难度。
29.综上，本发明上述实施例当中的recipe文件管理方法，通过一个网络端对多个机台统一管理的方式，实现机台的自动更新，避免传统一台一台去修改recipe文件的方式，具体地，先识别待测产品的片号，并根据该片号从网络端中下载相应的recipe文件名称，然后根据recipe文件名称从网络端中依据第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，最后根据标准配置文件名称从网络端中查询相应的标准配置文件，将标准配置文件与机台本地端的原始配置文件进行对比，判断是否存在差异，若有，直接下载替换即可，效率高且不易出错，解决了现有技术中，recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
30.实施例二请参阅图2至图5，本发明第二实施例中的recipe文件管理方法，所述方法包括：步骤s11，识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；具体地，不同的待测产品有不同的片号，机台通过扫描条码获取待测产品的信息，基于片号上记载的工艺信息该从网络端获取并生成其对应的recipe程序名称。
31.步骤s12，根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生
成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件库；具体地，在得到recipe文件名称后，可以通过其配置的网络地址，从网络端获取并下载对应的标准配置文件，需要注意的是，本实施例不是基于recipe文件名称去网络端中查询对应的配置文件，而是先将获取到的recipe文件名称根据功能模块的不同拆分为多个标准配置文件名称，再基于拆分后的标准配置文件名称的网络地址去网络端中查询相应的标准配置文件，因此，在网络端中存储的recipe文件也是拆分开的，各个配置文件分别存入其对应的文件库中。这样的话不同机台间通用参数共用唯一化网络端管理，配置文件调用灵活且占用网络端的空间少，极大的提升了工作效率。其中，标准配置文件名称包括测试条件参数、光罩档参数、设定档参数、正档参数及机台硬件运行参数的名称。
32.步骤s13，根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；具体地，将机台本地端中的原始配置文件与网络端中查询到的标准配置文件比对，若两者没有差异，则表明当前机台的recipe文件正确，无需进行更新替换，反之，若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异项目则执行以下步骤s14。
33.步骤s14，若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。
34.具体地，在实际应用中，该修改过程可以由计算机执行，不需要人工进行参与，避免了人工对机台已有recipe文件一一进行修改的过程，从而可以提高recipe参数处理效率；此外，还可以降低人为修改过程中由于操作失误带来的风险，从而可以提高recipe参数处理的正确性。
35.本实施例中，批量设备等间参数共用唯一化网络端管理，可一键修改，所有设备（上千台）自动更新，便捷又快捷，省时省力，且防堵人员失误问题，减少了人员对于大批量设备的recipe参数的管理难度。
36.进一步地，所述识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称的步骤之前所述方法还包括：根据第二配置文件下载规则周期性从所述产品通用类型文件库中下载标准通用配置文件；将所述机台本地端中的原始通用配置文件替换为下载的所述标准通用配置文件。
37.具体可参阅图4，针对机台和产品均通用的文件，因为更改频率不高，故无需设定每次作业均调用，而是根据实际情况设定合适频率进行检查替换即可，比如每天或每周等。
38.具体地，所述产品通用类型文件库包括抛档路径参数和账号权限参数的配置文件，所述产品不通用类型文件库包括测试条件参数、光罩档参数及设定档参数的配置文件；所述机台不通用类型文件库包括校正档参数和机台硬件运行参数的配置文件。
39.其中，settingpathfile（抛档路径），可通过更新此文件调整机台作业的数据上抛位置；
login（账号权限），包含机台三级账号对应的功能开放权限，如生产权限，工程师权限，最高管理员权限等；且其包含不同人员的账号及密码，修改此文件即可实现远程更新；testitemlist（测试条件），其内部参数主要包含：测试条件大小时间，测试结果上下限报警卡控，连续ng报警卡控，电极方向，校正档名称等；mapping（光罩档），记录此产品光罩圆点坐标的文件，通过此坐标记录文件，机台可判定晶圆片圆点位置；parasetting（设定档），其包含跳测补偿设定，多通道测试设定，接线卡控，探针寿命，磨针频率，针压设定，ccd影像，晶圆图上下线设定等；calibrationdata（校正档），其包含不同产品类型光电参数对应的校正大gain和offset补偿值及随波段校正小gain和offset；pd档（机台硬件运行参数），其包括伺服马达运行参数，光源亮度等一系列硬件运转参数。
40.本实施例中，在网络端中总计最终被分为7个文档，放置于7个不同的路径，上片后，通过不同路径分别调取并对比，假设机台不通用的就通过机台号寻找位置。
41.进一步地，所述recipe文件名称总计13位码数，所述根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称的步骤具体包括：根据所述recipe文件名称的前12位码数生成所述光罩档参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前7位码数生成所述设定档参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前6位码数生成所述机台硬件运行参数的标准配置文件名称；根据所述recipe文件名称的前8位码数加最后一位码数生成所述测试条件参数的标准配置文件名称；根据测试条件参数名称的前8位码数生成所述校正档参数的标准配置文件名称。
42.具体参阅图5以及以下表1和表2，其中，表1示出了recipe文件名称的命名规则，recipe文件名称总计13位码数，主要来自产品model name和product no，每一位均有其意义，代表不同的产品区分以及制作工艺不同的区分，表2示例出了其中一种recipe文件名称依据第一配置文件下载规则拆分为5种不同标准配置文件名称。
43.表1
表2可以理解地，此配置文档可根据实际需求设置每个分档文件的长度，调取分档的名称由配置文件设定取自recipe全称中的某些字符，最大限度的减少分档文件的数量，其目的是使能功能性通用的尽量通用，需要解释的是，关于标准通用配置文件名称并非从该recipe全称的13位中选取获得，而是人为直接存储于网络端中，即片号中仅记载标准配置文件的相关信息。
44.进一步地，所述若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异项目，则从所述网络端中调取相应的recipe文件替换所述差异项目的步骤之前，所述方法还包括：通过报警的方式提示测试人员，并将所述差异从显示器上列出。
45.本实施例中，recipe调用逻辑采用每片晶圆作业开始前执行一次，即具备每片排查核对参数及异常提醒功能，确保每一片产品加工程序完全正确。
46.进一步地，所述网络端中的文件可实时修改，具体地，通过一台标准设备建立recipe后一键上传网络端，其它机台再调用使用时，无需一台一台去建立，用户修改其一参数后，机台作业开始前通过下载对比即可更新到最新参数，无需人员逐一设备更改，具备一键远程更新功能。
47.综上，本发明上述实施例当中的recipe文件管理方法，通过一个网络端对多个机台统一管理的方式，实现机台的自动更新，避免传统一台一台去修改recipe文件的方式，具体地，先识别待测产品的片号，并根据该片号从网络端中下载相应的recipe文件名称，然后根据recipe文件名称从网络端中依据第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，最后根据标准配置文件名称从网络端中查询相应的标准配置文件，将标准配置文件与机台本地端的原始配置文件进行对比，判断是否存在差异，若有，直接下载替换即可，效率高且不易出错，解决了现有技术中，recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
48.实施例三请参阅图6，所示为本发明第三实施例中的recipe文件管理系统，所述系统包括：获取模块10，用于识别待测产品的片号，并根据所述片号从网络端中获取对应所述待测产品的recipe文件名称；生成模块20，用于根据所述recipe文件名称从所述网络端中以第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，所述网络端中的文件库包括机台通用类型文件库和机台
不通用类型文件库，所述机台通用类型文件库包括产品通用类型文件库和产品不通用类型文件库；对比模块30，用于根据所述标准配置文件名称从所述网络端中查询相应的标准配置文件，并判断所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间是否存在差异；更新模块40，用于若所述标准配置文件与机台本地端的原始配置之间存在差异，则基于所述标准配置文件名称从所述机台不通用类型文件库及所述产品不通用类型文件库中下载相应的标准配置文件，并将所述机台本地端中的原始配置文件替换为下载的所述标准配置文件。
49.优选地，所述系统还包括：自动获取模块，用于根据第二配置文件下载规则周期性从所述产品通用类型文件库中下载标准通用配置文件；自动更新模块，用于将所述机台本地端中的原始通用配置文件替换为下载的所述标准通用配置文件。
50.优选地，所述生成模块包括：第一生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前12位码数生成所述光罩档参数的标准配置文件名称；第二生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前7位码数生成所述设定档参数的标准配置文件名称；第三生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前6位码数生成所述机台硬件运行参数的标准配置文件名称；第四生成单元，用于根据所述recipe文件名称的前8位码数加最后一位码数生成所述测试条件参数的标准配置文件名称；第五生成单元，用于根据测试条件参数名称的前8位码数生成所述校正档参数的标准配置文件名称优选地，所述系统还包括：报警模块，用于通过报警的方式提示测试人员，并将所述差异从显示器上列出。
51.综上，本发明上述实施例当中的recipe文件管理系统，通过一个网络端对多个机台统一管理的方式，实现机台的自动更新，避免传统一台一台去修改recipe文件的方式，具体地，先识别待测产品的片号，并根据该片号从网络端中下载相应的recipe文件名称，然后根据recipe文件名称从网络端中依据第一配置文件下载规则生成多个标准配置文件名称，最后根据标准配置文件名称从网络端中查询相应的标准配置文件，将标准配置文件与机台本地端的原始配置文件进行对比，判断是否存在差异，若有，直接下载替换即可，效率高且不易出错，解决了现有技术中，recipe文件管理难度大，调试易出错的技术问题。
52.实施例四本发明还提出一种可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现如上述的recipe文件管理方法。
53.本发明还提出一种计算机，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，所述处理器执行所述程序时实现如上述的recipe文件管理方法。
54.本领域技术人员可以理解，在流程图中表示或在此以其他方式描述的逻辑和/或
步骤，例如，可以被认为是用于实现逻辑功能的可执行指令的定序列表，可以具体实现在任何计算机可读介质中，以供指令执行系统、装置或设备（如基于计算机的系统、包括处理器的系统或其他可以从指令执行系统、装置或设备取指令并执行指令的系统）使用，或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用。就本说明书而言，“计算机可读介质”可以是任何可以包含、存储、通信、传播或传输程序以供指令执行系统、装置或设备或结合这些指令执行系统、装置或设备而使用的装置。
55.计算机可读介质的更具体的示例（非穷尽性列表）包括以下：具有一个或多个布线的电连接部（电子装置），便携式计算机盘盒（磁装置），随机存取存储器（ram），只读存储器（rom），可擦除可编辑只读存储器（eprom或闪速存储器），光纤装置，以及便携式光盘只读存储器（cdrom）。另外，计算机可读介质甚至可以是可在其上打印所述程序的纸或其他合适的介质，因为可以例如通过对纸或其他介质进行光学扫描，接着进行编辑、解译或必要时以其他合适方式进行处理来以电子方式获得所述程序，然后将其存储在计算机存储器中。
56.应当理解，本发明的各部分可以用硬件、软件、固件或它们的组合来实现。在上述实施方式中，多个步骤或方法可以用存储在存储器中且由合适的指令执行系统执行的软件或固件来实现。例如，如果用硬件来实现，和在另一实施方式中一样，可用本领域公知的下列技术中的任一项或它们的组合来实现：具有用于对数据信号实现逻辑功能的逻辑门电路的离散逻辑电路，具有合适的组合逻辑门电路的专用集成电路，可编程门阵列（pga），现场可编程门阵列（fpga）等。
57.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
58.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。