微光探测装置和半导体设备的制作方法

技术特征：
1.一种微光探测装置，其特征在于，包括：旋转平台，所述旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台，所述第一移动平台可转动地设在所述旋转平台上且可沿第一方向移动；第二移动平台，所述第二移动平台可移动地设在所述第一移动平台上且可沿第二方向移动，所述第一方向与所述第二方向垂直，所述第一移动平台和所述第二移动平台内形成有底部敞开的中空结构，以与所述旋转平台配合限定出容纳仓，所述承载台位于所述容纳仓底部，所述第二移动平台设有观测部，所述观测部形成为透明件以用于对所述容纳仓内部进行观察；探针卡，所述探针卡沿竖直方向可移动地设在所述容纳仓内且位于所述承载台和所述观测部之间；进气口和出气口，所述进气口和所述出气口形成在所述第一移动平台或所述第二移动平台上且与所述容纳仓相连通，所述进气口用于向所述容纳仓内通入检测时所需的特定温度的气体，所述出气口用于将所述容纳仓内的气体排出。2.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，还包括旋转盘，所述旋转平台上设有环绕至少部分所述承载台周向的旋转轨道，所述旋转盘可转动地配合在所述旋转轨道内，所述第一移动平台与所述旋转盘固定连接。3.根据权利要求2所述的微光探测装置，其特征在于，所述旋转盘上设有固定凸起，所述第一移动平台设有与所述固定凸起配合的预留凹槽。4.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在，还包括第一移动装置，所述第一移动平台设有沿第一方向延伸的第一滑槽，所述第一移动装置包括第一驱动装置和与所述第一滑槽可滑动配合的第一滑块，所述第一滑块与所述旋转平台相连，所述第一驱动装置驱动所述第一滑块在所述第一滑槽滑动以驱动所述第一移动平台移动。5.根据权利要求4所述的微光探测装置，其特征在于，所述第一驱动装置可以为丝杠螺杆，所述丝杠螺杆至少部分伸入所述第一滑槽内，所述第一滑块套设在所述丝杠螺杆上且与所述丝杠螺杆滑动连接。6.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述第二移动平台设有与所述容纳仓相通的第一开口和第二开口，所述观测部设在所述第一开口处，所述第二开口敞开且与所述探针卡的外接线束连接器位置对应以便于所述外接线束连接器外接。7.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述第一移动平台设有固定部，所述第二移动平台形成有第二滑槽，所述微光探测装置还包括第二移动装置，所述第二移动装置包括第二驱动装置和第二滑块，所述第二滑块与所述第二滑槽滑动连接且与所述固定部固定连接，所述第二驱动装置与所述第二滑块相连以使得所述第二滑块与所述第二滑槽相对滑动，来驱动所述第二移动平台沿所述第二方向移动。8.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，还包括至少一个第三移动装置，所述第三移动装置至少部分伸入所述容纳仓内且与所述探针卡相连以带动所述探针卡沿竖直方向移动。9.根据权利要求8所述的微光探测装置，其特征在于，所述第三移动装置为三个且所述三个第三移动装置在水平面上呈三角分布。10.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述观测部可拆卸地设在所述
第二移动平台上。11.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述旋转平台形成有气体进口和气体通道，所述气体通道与所述气体进口连通，以用于将所述气体进口流入的气体导向所述承载台的背离所述容纳仓的一侧，使得气体流经所述承载台的背面以对所述承载台进行降温或除霜。12.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述承载台和所述观测部均为双层真空玻璃。13.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，还包括温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述容纳仓内的温度进行实时检测。14.根据权利要求1所述的微光探测装置，其特征在于，所述温度检测装置为温度传感器，所述温度传感器设在所述探针卡上且与所述探针卡的外接线束连接器相连，以通过所述外接线束连接器将所述温度传感器的信号引出。15.一种半导体设备，其特征在于，包括：根据权利要求1-14中任一项所述的微光探测装置；高低温气体产生装置，所述高低温气体产生装置与所述进气口相连；第一探测镜头，所述第一探测镜头设在所述承载台的下方且朝向所述承载台的背面用于观察探测所述测试样品；第二探测镜头，所述第二探测镜头设在所述观测部的上方用于观察所述探针卡的探针是否对准所述测试样品。

技术总结
该发明公开了一种微光探测装置和半导体设备，根据本发明实施例的微光探测装置包括：旋转平台、第一移动平台、第二移动平台、探针卡、进气口和出气口，旋转平台设有用于承载测试样品的透明的承载台；第一移动平台可转动地设在旋转平台上且可沿第一方向移动，第二移动平台可移动地设在第一移动平台上且可沿第二方向移动，第一方向与第二方向垂直，第一移动平台和第二移动平台与旋转平台配合限定出容纳仓，第二移动平台设有观测部，观测部形成为透明件以用于对容纳仓内部进行观察；探针卡沿竖直方向可移动地设在容纳仓内。所述装置能够为测试样品提供稳定的温度环境，而且能够调节探针卡，使得探测针准确扎在测试样品上。使得探测针准确扎在测试样品上。使得探测针准确扎在测试样品上。


技术研发人员：许凯
受保护的技术使用者：长鑫存储技术有限公司
技术研发日：2021.05.28
技术公布日：2022/11/29