一种蓝色铜合金薄膜的制备方法

技术特征：
1.一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）取cu-mo-zr复合靶置于真空室内抽真空，在真空度达到1*10-3
～9*10-3
pa后，向真空室内通入高纯氩气；（2）在真空室气压达到0.3-1.0mpa后，采用直流磁控溅射镀膜机使cu-mo-zr复合靶溅射沉积于基体上，即得所述蓝色铜合金薄膜。2.如权利要求1所述的种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，以质量百分比计，蓝色铜合金薄膜中cu含量为60-85%，mo含量为10-20%，zr含量为5-20%。3.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，溅射沉积时间为5-15min。4.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，所述蓝色铜合金薄膜的厚度为75-300nm。5.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，所述直流磁控溅射镀膜机为jcp-350直流磁控溅射镀膜机。6.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，所述基体为玻璃、聚酰亚胺、硅片、pet中的任意一种。7.如权利要求6所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其特征在于，所述基体在使用前进行预处理：将基体依次经丙酮和去离子水清洗后，用氮气吹干。

技术总结
一种蓝色铜合金薄膜的制备方法，其先取Cu-Mo-Zr复合靶置于真空室内抽真空，在真空度达到1*10-3


技术研发人员：孙浩亮 张灏戈 翟景明 李赛博 沈明帅 梁世豪 郑海涛 魏明 王广欣
受保护的技术使用者：河南科技大学
技术研发日：2022.07.28
技术公布日：2022/11/25