电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置

1.本发明涉及柔性电子制备技术领域，尤其涉及电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置。


背景技术：

[0002]“旋涂法”在半导体光刻以及钙钛矿太阳能电池制备中，用于形成均匀薄膜。在旋涂法中，基底高速旋转，材料溶液滴加在基底中心，在离心力的作用下展开，溶剂蒸发最终成膜。不过，旋涂法得到的薄膜多是非晶态或多晶态。
[0003]
现有的学术文献中，
[0004]
2019年，science文章”spin coating epitaxial films”，作者将“旋涂法”和“外延法”这两种方法结合起来，用旋涂方式得到单晶或类单晶外延膜。
[0005]
2019年，materials characterization，volume 153，july 2019，pages 115-120所收录的”the role of local intensive heating on microstructure of 2024al/al
18
b4o
33
w composite deformed with strain rate＞0.01s-1”，作者揭示了复合材料在热变形过程中的局部强化加热、活化能和相应微观结构之间的关系，证实局部集中加热有利于动态恢复和动态再结晶的发生。
[0006]
2020年，cnki收录的“电场诱导调控共轭高分子薄膜形貌及机理研究”一文，作者则基于旋涂法和电场诱导以调控共轭高分子薄膜形貌，并研究其机理。
[0007]
现有的专利文献中，
[0008]
2017年授权的中国发明专利cn104851523b则揭示了一种电场作用下的柔性透明导电膜制作方法：以涂布的方式，可以是整面的涂布即将整个基材层表面涂布满低维导电材料，此时施加的外加电场，可以通过位于基材层上下两侧两块平面极板上施加直流电压实现，低维导电材料中包裹金属导电颗粒外部的有机物层极化后使得该金属导电颗粒形成带电粒子，在电场力的作用下向沟槽网络中不断沉积；也可以使用刮涂的方式，即采用刮刀，一边涂布低维导电材料，一边用刮刀刮平，此种方式中，刮刀本身可以施加电压，形成一极，基材层的另一侧形成另一极，电场形成在刮刀下方；然后，在去除表面多余的低维导电材料之后，把填充好的柔性透明薄膜放入烘箱中，使低维导电材料烧结固化，烧结温度为135摄氏度，持续时间30min，烧结完成后形成内嵌于网络沟槽内的超微细导电网络，从而最终获得该柔性透明导电材料。
[0009]
2019年授权的中国发明专利cn107482121b则揭示了一种基于磁场调控的钙钛矿薄膜的制备方法：采用碘化铅(lead(ii)iodide，pbi2)和甲胺碘(ch3nh3i)的混合溶液，在制备过程中引入一定频率和强度的旋转磁场，再经过热处理，即可获得致密光滑、均匀性良好的钙钛矿晶体薄膜。在不采用真空设备、手套箱等条件下，其能够制备光滑致密的钙钛矿薄膜，具有低成本、可大面积制备的优势。
[0010]
综上可知，目前采用外加热场、电场、磁场等各种单一场手段可以实现纳米粒子在聚合物中的分布控制，但却不能实现材料图形化及功能同时动态可调。此外，单个外场即使
参与调控，单个外场的最大调控能力也将会很高，从而导致制备装置的体积显著的增大。
[0011]
因此，本领域亟需一种更加新颖的方法及装置，以实现对于智能复合材料结构性能的均匀性和动态调控得以解决的同时如何高效紧凑的利用空间——这一技术问题的解决，该技术问题显然并非任何的简单问题，至今为止没有任何学术文献或专利文献对此提出更加新颖的方法。本发明将解决该技术问题，这不属于任何不经现有技术和背景文献的查阅即可认定的非正常的、或低质量的申请。


技术实现要素：

[0012]
针对现有技术中存在的问题，本发明提供电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法及其装置，通过增大宏观力场克服结构阻力，精确控制局部力场，解决现有技术中实现复合功能材料的规模化、一致化动态调控制备的技术问题。
[0013]
本发明是通过以下技术方案来实现：
[0014]
一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法，其特征在于：
[0015]
对于制备所述柔性电子功能层的功能材料，当以旋涂法在一个桶的内部旋涂所述功能材料时，利用外部电源对桶内施加一个热场；
[0016]
施加所述热场的同时，进一步在桶外施加磁场，并使得所述磁场作用于桶内；
[0017]
施加所述热场的同时，进一步利用所述外部电源对桶内施加一个电场，并使得所述电场作用于桶内；
[0018]
以此，所述方法使得功能材料同时处于磁场、电场和热场的复合场下，该复合场增强了克服结构阻力的宏观外场，能够通过调控复合场实现功能材料分布的调控，并结合精确控制局部力场，实现柔性电子功能层结构性能的均匀性和动态调控的兼顾。
[0019]
优选的，
[0020]
所述热场通过加热腔体施加。
[0021]
优选的，
[0022]
所述加热腔体与桶同步的运动。
[0023]
优选的，
[0024]
所述加热腔体相对于所述桶的角度可调，以用于在旋涂法的基础上同步的实现柔性电子功能层对应的高分子薄膜的制备角度的调整。
[0025]
优选的，
[0026]
所述桶自身为同步桶，桶壁旋转的同时，其内部轴线上还同步的旋转刮板，以使得旋涂的同时利用刮板进一步使得功能材料在桶壁上涂布的均匀。
[0027]
优选的，
[0028]
电场的电场产生单元，与磁场的磁场产生单元，正交的分布在桶的外侧。
[0029]
优选的，
[0030]
加热腔体为双层结构，其能够对热量进行保存，不仅减少热量损失而且有助于热场的维持。
[0031]
优选的，
[0032]
所述桶还设有可拆卸的模板，以便于进行不同形状的高分子薄膜的制备，进一步提升灵活性和适应性。
[0033]
此外，在一个实施例中，本发明揭示了一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的装置，其特征在于：所述装置用于实施上述制备方法。
[0034]
能够理解，如果按照现有技术那样利用单个外场进行功能材料的调控，那么单个外场的最大调控能力也将会很高，从而导致制备装置的体积显著的增大。而本实施例则可以通过多复合场，高效的利用空间，使得装置更加紧凑的同时，降低对单个外场的最大调控能力的要求。
[0035]
优选的，
[0036]
桶相对的位于加热腔体的内部；
[0037]
电场的电场发生单元相对的位于加热腔体的外部；
[0038]
磁场的磁场发生单元相对的位于加热腔体的外部。
[0039]
此外，本发明还具体的揭示了一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置，包括底板、第一旋转单元、第二旋转单元、磁场产生单元、电场产生单元、热场产生单元；
[0040]
所述第一旋转单元包括第一电机和加热腔体，第一电机的输出轴与底板表面平行，第一电机设置于底板上，第一电机的输出轴与加热腔体连接；所述加热腔体呈圆筒状，加热腔体的轴线与第一电机的轴线共轴，加热腔体的开口位于与第一电机相对的一侧；所述加热腔体中设有共轴的内置桶；
[0041]
所述第二旋转单元包括第二电机和刮板，第二电机设置于底板与第一电机相对的一侧，第二电机与第一电机同轴设置，第二电机的输出轴与刮板同轴连接；刮板远离第二电机的一端伸入内置桶中；
[0042]
所述磁场产生单元为两个电磁铁，两个电磁铁以加热腔体的轴线为对称轴对称间隔设置，加热腔体位于两个电磁铁之间；
[0043]
所述电场产生单元包括导线、第一电滑环和第二电滑环，第一电滑环与加热腔体连接，第二电滑环与刮板连接；导线的一端与第一电滑环连接，另一端与第二电滑环连接；第一电滑环和第二电滑环均用于与外部电源连接；
[0044]
所述热场产生单元为加热丝，加热丝设置于加热腔体内壁上。
[0045]
优选的，所述加热腔体的内壁呈双层设置，加热丝设置于加热腔体的双层结构之间。双层的加热腔体可以对加热丝产生的热量进行保存，减少了热量的散失，有助于热场的维持。
[0046]
优选的，所述加热腔体的开口处设有密封板，密封板与加热腔体连接。密封板可以对加热腔体中的内置桶进行限位，不仅增强了内置桶与加热腔体的连接稳定性，提升了加热腔体的密封性，减少了制备过程中功能材料从内置桶中掉落的现象；还可以提升转动时加热腔体的稳定性，减小系统误差。
[0047]
优选的，所述内置桶包括桶身和桶盖，桶身的开口与加热腔体的开口位于同一侧，桶身与桶盖可拆卸连接，桶盖与密封板可拆卸连接。桶盖与密封板连接可以进一步加强加热腔体与内置桶的连接，不仅可以提升内置桶与加热腔体的连接稳定性，还可以加强转动时加热腔体与内置桶的同步性，从而提升了功能材料旋涂时的稳定性。
[0048]
优选的，所述刮板包括刮杆和多个刮刀，刮杆的一端与第二电机的输出轴连接，另一端贯穿桶盖伸入桶身中；多个刮刀沿刮杆周向间隔设置，刮刀的一端与刮杆可拆卸连接，另一端与桶身内壁接触。可拆卸的刮刀是为了便于进行刮刀的更换，从而可以根据制备高
分子薄膜的类型进行不同刮刀的更换，提升了制备装置的使用灵活性和适用性。
[0049]
优选的，所述刮刀由柔性材料制成。柔性材料制成的刮刀可以减少刮刀对桶身内壁的损伤。
[0050]
优选的，所述桶身中还设有可拆卸的模板，模板包括固定架和活动模板，活动模板上设有不同的形状的图形，固定架与桶身内壁可拆卸连接，活动模板与固定架连接。模板的设置是为了便于进行不同形状的高分子薄膜的制备，进一步提升了制备装置的实用灵活性和适应性。
[0051]
优选的，底板下方设置有调整单元，所述调整单元包括安装板和推杆，安装板设置于底板下方，底板靠近第一电机的一侧与安装板铰接，推杆设置于安装板与铰接轴相对的一侧，推杆的一端与安装板固定连接，另一端与底板铰接。
[0052]
调整单元可以对高分子薄膜的制备角度进行调整，使用时，推杆的活动端推出，带动底板绕铰接轴进行转动，使得底板靠近第二电机的一侧远离安装板，改变了底板与安装板之间的角度，底板带动加热腔体同步进行转动，从而可以对加热腔体的角度进行调整，进而实现了对高分子薄膜的制备角度的调整，进一步提升了制备装置的使用灵活性和适应性。
[0053]
一种多复合场下的柔性电子功能层制备方法方法，包括以下步骤：
[0054]
s1，根据生产要求将功能材料放置于内置桶中，并进行内置桶、加热腔体和刮板的装配；
[0055]
s2，利用第一电机驱动加热腔体和内置桶同步进行转动，进行旋涂；
[0056]
s3，利用第二电机驱动刮板在内置桶中进行转动，进行均匀涂抹；
[0057]
s4，利用磁场产生单元对加热腔体施加磁场；
[0058]
s5，利用外部电源对电场产生单元通电，电场产生单元对热场产生单元进行加热，产生热场；同时，电场产生单元在内置桶与刮板之间产生电场，诱导功能材料的分布，进行柔性电子功能层的制备。
[0059]
通过上述技术手段，本发明具有以下有益的技术效果：第一电机驱动加热腔体进行转动，加热腔体带动内置桶进行旋转，从而实现功能材料在内置桶内壁的旋涂。第二电机带动刮板进行转动，刮板与内置桶内壁接触，从而可以提升功能材料在内置桶内壁上的涂抹均匀性。
[0060]
对称设置的两个电磁铁可以产生磁场；第一电滑环、第二电滑环与导线实现了加热腔体与刮板进行连接，第一电滑环和第二电滑环外接电源后使得加热腔体与刮板之间能够形成电场；加热丝通过加热腔体与第一电滑环实现连接，加热丝可以产生热场，从而使得功能材料同时处于磁场、电场和热场的复合外场下，复合场增强了克服结构阻力的宏观外场，可以对功能材料的分布进行调控，便于进行柔性电子功能层的制备。
[0061]
通过对外部电源的调控，还可以实现对电场和热场的局部力场进行控制，从而可以对功能材料的分布进行进一步的调控，便于进行柔性电子层的制备。
附图说明
[0062]
图1a为本发明一个实施例中，一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法的示意图；
[0063]
图1b为本发明一个实施例中，一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置的结构示意图；
[0064]
图2为本发明一个实施例中，一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置的主视图；
[0065]
图3为本发明一个实施例中，一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置的部分结构示意图；
[0066]
图中：1、底板；2、第一旋转单元；202、第一电机；203、加热腔体；3、第二旋转单元；302、第二电机；303、刮板；3031、刮杆；3032、刮刀；4、磁场产生单元；5、电场产生单元；6、热场产生单元；7、第一支架；8、第一联轴器；9、内置桶；901、桶身；902、桶盖；10、密封板；11、毛毡；12、第二联轴器；13、模板；1301、固定架；1302、活动模板；14、调整单元；1401、安装板；1402、推杆；15、转动组件；1501、转动轴；1502、轴承座；16、固定座；17、第一轴承；18、第二轴承；19、第二支架；20、第一支撑座；21、第二支撑座。
具体实施方式
[0067]
下面结合具体的实施例及附图1a至图3对本发明做进一步的详细说明，所述是对本发明的解释而不是限定。
[0068]
在一个实施例中，本发明揭示了一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的方法，其特征在于：
[0069]
对于制备所述柔性电子功能层的功能材料，
[0070]
s100、当以旋涂法在一个桶的内部旋涂所述功能材料时，利用外部电源对桶内施加一个热场；
[0071]
s200、施加所述热场的同时，进一步在桶外施加磁场，并使得所述磁场作用于桶内；
[0072]
s300、施加所述热场的同时，进一步利用所述外部电源对桶内施加一个电场，并使得所述电场作用于桶内；
[0073]
以此，所述方法使得功能材料同时处于磁场、电场和热场的复合场下，该复合场增强了克服结构阻力的宏观外场，能够通过调控复合场实现功能材料分布的调控，并结合精确控制局部力场，实现柔性电子功能层结构性能的均匀性和动态调控的兼顾。
[0074]
对于上述实施例，其体现了本发明的关键构思：如何在空间上和时间上施加复合场，从而相比单一的外场，显著的增强克服结构阻力的宏观外场。显而易见的，结构阻力是功能材料自身被调控时，其内部的结构阻力。空间上，在桶的周边构建了磁场、电场和热场，并且还能够进一步的相对于桶而调整施加的多个外场的角度(详见后文)；时间上，能够理解，可以同步的控制各个外场，也可以异步的控制各个外场。通过背景技术能够发现，现有技术中没有给出任何在空间和时间上如何复合多个场以增强克服结构阻力的宏观外场的技术启示。
[0075]
需要说明的是，同步的控制各个外场，甚至异步的控制各个外场，与具体的功能材料这一被作用的对象有关，具体控制参数可以根据具体的功能材料，可以基于有限次的实验和从业经验而确定，这并非本发明的技术贡献。此外，具体控制参数也与柔性电子功能层所对应的高分子薄膜等的目标性能参数有关，这同样并非本发明的技术贡献，同样可以基
于有限次的实验和从业经验而确定。类似的，关于旋涂、均匀涂布等具体的本领域的工艺，其工艺参数同样并非本发明的技术贡献。总而言之，结合本发明所揭示的关键构思，能够显而易见的发现：对于诸如此类并非本发明的技术贡献的具体工艺和/或具体控制参数等，其均不构成本发明的限定，也均不妨碍本领域技术人员基于应当知晓和掌握的知识、经验、能力而对本发明的所有技术方案进行理解。
[0076]
在一个实施例中，
[0077]
所述热场通过加热腔体施加。
[0078]
在一个实施例中，
[0079]
所述加热腔体与桶同步的运动。
[0080]
在一个实施例中，
[0081]
所述加热腔体相对于所述桶的角度可调，以用于在旋涂法的基础上同步的实现柔性电子功能层对应的高分子薄膜的制备角度的调整。
[0082]
在一个实施例中，
[0083]
所述桶自身为同步桶，桶壁旋转的同时，其内部轴线上还同步的旋转刮板，以使得旋涂的同时利用刮板进一步使得功能材料在桶壁上涂布的均匀。
[0084]
在一个实施例中，
[0085]
电场的电场产生单元，与磁场的磁场产生单元，正交的分布在桶的外侧。
[0086]
在一个实施例中，
[0087]
加热腔体为双层结构，其能够对热量进行保存，不仅减少热量损失而且有助于热场的维持。
[0088]
在一个实施例中，
[0089]
所述桶还设有可拆卸的模板，以便于进行不同形状的高分子薄膜的制备，进一步提升灵活性和适应性。
[0090]
此外，本发明揭示了一种电磁热多复合场下制备柔性电子功能层的装置，其特征在于：所述装置用于实施上述制备方法。
[0091]
在一个实施例中，
[0092]
桶相对的位于加热腔体的内部；
[0093]
电场的电场发生单元相对的位于加热腔体的外部；
[0094]
磁场的磁场发生单元相对的位于加热腔体的外部。
[0095]
更加具体的，
[0096]
本发明还公开了一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置，参照图1b、图2，包括底板1、第一旋转单元2、第二旋转单元3、磁场产生单元4、电场产生单元5、热场产生单元6；第一旋转单元2包括第一支撑座20第一电机202和加热腔体203，第一电机202第一支撑座20通过第一支撑座20连接于底板1上，第一支撑座20与底板1螺栓连接，第一电机202的输出轴与底板1表面平行，第一电机202的壳体与第一支撑座20螺栓连接，第一电机202的输出轴伸入第一支撑座20内部。第一支撑座20与加热腔体203之间设有第一支架7，第一支架7的一端贯穿第一支撑座20，并与第一电机202的输出轴通过第一联轴器8进行连接，第一支架7通过第一轴承17与第一支撑座20转动连接，第一支架的另一端与加热腔体203利用螺栓实现连接。
[0097]
加热腔体呈圆筒状，加热腔体203的轴线与第一电机202的轴线共轴，加热腔体203的开口位于与第一电机202相对的一侧。加热腔体203中设有共轴的内置桶9，加热腔体203的开口处通过螺栓设有密封板10，密封板10可以对加热腔体203中的内置桶9进行限位，不仅可以提升了加热腔体203的密封性，减少了制备过程中功能材料从内置桶9中掉落的现象；还可以提升转动时加热腔体203的稳定性，减小系统误差。
[0098]
参照图3，内置桶9包括桶身901和桶盖902，桶身901与桶盖902可拆卸连接，桶身901的开口与加热腔体203的开口位于同一侧，桶盖902与密封板10可拆卸连接，本实施例中桶身901与桶盖902、桶盖902与密封板10均使用螺栓进行连接，还可以是螺纹连接等。桶盖902与密封板10进行连接可以进一步加强加热腔体203与内置桶9的连接，还可以加强转动时加热腔体203与内置桶9的同步性，从而提升了功能材料旋涂时的稳定性。
[0099]
参照图3，桶盖902靠近桶身901的一侧还粘接有毛毡11。毛毡11可以提升桶身901与桶盖902的连接紧密性，增加了内置桶9的密封性。
[0100]
参照图1b、图2，第二旋转单元3包括第二支撑座21第二电机302和刮板303，第二电机302通过第二支撑座21设置于底板1与第一电机202相对的一侧，第二支撑座21与底板1螺栓连接，第二电机302的壳体与第二支撑座21螺栓连接，第二支撑座21第一支撑座20第二电机302与第一电机202同轴设置，第二电机302的输出轴贯穿第二支撑座21与刮板303连接。
[0101]
刮板303包括刮杆3031和多个刮刀3032，刮杆3031与第二电机302同轴设置，刮杆3031的一端与第二电机302的输出轴通过第二联轴器12进行连接，桶盖902上通过螺钉连接有第二轴承18，刮杆3031的远离第二电机的一端依次贯穿密封板10和桶盖902上的第二轴承18伸入桶身901中。
[0102]
多个刮刀3032沿刮杆3031周向间隔设置，刮刀3032的一端与刮杆3031可拆卸连接，本实施例中刮刀3032与刮杆3031之间采用螺钉进行连接，刮刀3032的另一端与桶身901内壁接触，刮刀3032靠近桶身901内壁的一端可以根据不同的功能薄膜进行结构上的变化，可以是刷状或者刀装等。可拆卸的刮刀3032是为了便于进行刮刀3032的更换，从而可以根据制备高分子薄膜的类型进行不同刮刀3032的更换，提升了制备装置的使用灵活性和适用性。
[0103]
刮刀3032由柔性材料制成，柔性材料制成的刮刀3032可以减少对桶身901内壁的损伤，本实施例中刮刀3032由硅胶材料制成，还可以是橡胶等。
[0104]
参照图1b，磁场产生单元4为两个电磁铁，两个电磁铁以加热腔体203的轴线为对称轴对称间隔设置，电磁铁通过第二支架19连接于底板1上，第二支架19的一端与底板1螺栓连接，另一端与电磁铁螺栓连接，加热腔体203位于两个电磁铁之间。两个电磁铁产生磁场，使得加热腔体203、内置桶9、内置桶9中功能材料处于磁场中，便于在磁场中进行功能材料的制备。
[0105]
参照图1b，电场产生单元5包括导线、第一电滑环和第二电滑环，第一电滑环与加热腔体203连接，第二电滑环与刮板303连接；导线的一端与第一电滑环连接，另一端与第二电滑环连接；第一电滑环和第二电滑环均用于与外部电源连接。本实施例中第一电滑环为正极，通过螺钉连接于第一支架7上，第二电滑环为负极，通过螺钉连接于刮杆3031上，接通外部电源以后，在加热腔体203与刮杆3031之间形成电场，能够辅助进行柔性电子功能层的制备。
[0106]
参照图3，热场产生单元6为加热丝，加热丝设置于加热腔体203内壁上，加热腔体203是双层的，加热丝沿加热腔体203内壁周向均匀密布设置，且位于加热腔体203的双层结构之间。加热丝通过加热腔体203与第一电滑环实现连接，加热丝通电后可以产生热场，从而使得功能材料处于热场下，以便于在热场中进行高分子薄膜的制备。
[0107]
为了便于进行不同形状的柔性电子功能层的制备，桶身901中还设有可拆卸的模板13，模板13包括固定架1301和活动模板1302，活动模板1302上设有不同的形状的图形，固定架1301与桶身901内壁可拆卸连接，活动模板1302与固定架1301可拆卸连接，本实施例中固定架1301与桶身901内壁、固定架1301与活动模板1302均使用螺栓进行连接。模板13的设置是为了便于进行不同形状的高分子薄膜的制备，进一步提升了制备装置的实用灵活性和适应性。
[0108]
参照图1b、图2，底板1下方设置有调整单元14，调整单元包括安装板1401和推杆1402，安装板1401水平设置，底板1靠近第一电机202的一侧通过转动组件15与安装板1401铰接，转动组件15包括两个转动轴1501和两个轴承座1502，两个轴承座1502间隔设置，转动轴1501和轴承座1502一一对应，轴承座1502通过螺钉连接于底板1与安装板1401之间，转动轴1501通过轴承转动连接于轴承座1502上。
[0109]
推杆1402竖直设置于安装板1401上，推杆1402的一端通过固定座16与安装板1401进行连接，固定座16与安装板1401螺钉连接，推杆1402的壳体与固定座16螺钉连接。推杆1402的另一端铰接于底板1靠近第二电机302的下方。调整单元14可以对高分子薄膜的制备角度进行调整，进一步提升了制备装置的使用灵活性和适应性。
[0110]
本发明一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置的具体实施原理是：首先利用调整单元对加热腔体203的角度进行调整，调整方法如下：使用时，推杆1402的活动端推出，带动底板1绕铰接轴进行转动，使得底板1靠近第二电机302的一侧远离安装板1401，改变了底板1与安装板1401之间的角度，底板1带动加热腔体203同步进行转动，从而可以对加热腔体203的角度进行调整。
[0111]
之后，打开第一电机202，第一电机202的输出轴带动第一支架7转动，第一支架7带动加热腔体203进行转动，加热腔体203带动内置桶9同步旋转，从而实现功能材料在内置桶9内壁的旋涂。
[0112]
随后，打开第二电机302，第二电机302带动刮杆3031进行转动，刮杆3031带动刮刀3032在桶身901内部进行转动，将功能材料更加均匀的涂抹在活动模板1302上，从而制备出需要的柔性电子功能层。
[0113]
最后，接通外接电源，使得加热腔体203处于电场和热场之中，以使得功能材料处于电场、热场和磁场的复合场中，从而制备出所需要的分布的柔性电子功能层。
[0114]
本发明一种多复合场下的柔性电子功能层制备装置使得柔性电子功能层处于磁场、电场和热场的复合场之下，增强了功能材料克服结构阻力的宏观外场，可以在复合场中进行柔性电子功能层的制备，还可以根据需要制备出不同图形的柔性电子功能层，而且结构简单，操作便捷，具有较强的灵活性和实用性。
[0115]
本发明还公开了一种多复合场下的柔性电子功能层制备方法，包括以下步骤：
[0116]
s1，根据生产要求将功能材料放置于内置桶9中，并进行内置桶9、加热腔体203和刮板303的装配；
[0117]
s2，利用第一电机202驱动加热腔体203和内置桶9同步进行转动，进行旋涂；
[0118]
s3，利用第二电机302驱动刮板303在内置桶9中进行转动，进行均匀涂抹；
[0119]
s4，利用磁场产生单元4对加热腔体203施加磁场；
[0120]
s5，利用外部电源对利电场产生单元5通电，电场产生单元5对热场产生单元6进行加热，产生热场；同时，电场产生单元5在内置桶9与刮板303之间产生电场，诱导功能材料的分布，进行柔性电子功能层的制备。
[0121]
本发明一种多复合场下的柔性电子功能层制备方法，不仅可以在磁场、电场和热场的多复合场下制备出柔性电子功能层，还可以通过对复合力场的全局调控和电场、磁场的局部调控来实现功能薄膜制备过程中的动态调控，进而实现了柔性电子功能层的规模化、一致化制备。