一种半导体用超低有机碳超纯水设备的制作方法

技术特征：
1.一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于，包括：氮封超纯水箱、输送泵、第一uv杀菌器、第一toc降解器、一级抛光过滤器、第二toc降解器、二级抛光过滤器、第二uv杀菌器、精密过滤器、中空纤维式膜过滤器、第三uv杀菌器、第三toc降解器，所述氮封超纯水箱、输送泵、第一uv杀菌器、第一toc降解器、一级抛光过滤器、第二toc降解器、二级抛光过滤器、第二uv杀菌器、精密过滤器、中空纤维式膜过滤器、第三uv杀菌器以及第三toc降解器通过管道依次首尾连通形成一循环回路；所述中空纤维式膜过滤器至所述第三uv杀菌器的管道之间开设有一将超纯水输送至用水点的转接口。2.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述氮封超纯水箱的底部设有一超纯水出口，所述氮封超纯水箱顶部设有一循环超纯水进口，所述超纯水出口与所述输送泵连接，所述第三toc降解器与所述循环超纯水进口连接。3.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述氮封超纯水箱的顶端连接有一氮封装置，所述氮封装置设有一供氮阀和一排氮阀。4.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述氮封超纯水箱的顶端还通过一管道连接有一水封装置，所述管道上设有一压力表。5.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述转接口处设有一用于控制超纯水的水流路径的控制阀。6.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述第三toc降解器至所述氮封超纯水箱之间的管道上设有一压力控制阀。7.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述精密过滤器采用0.22um滤芯式过滤器。8.根据权利要求1所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述输送泵为变频泵。9.根据权利要求1至8中任一项所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述第一uv杀菌器、所述第二uv杀菌器以及所述第三uv杀菌器的紫外线波长均为254nm。10.根据权利要求1至8中任一项所述的一种半导体用超低有机碳超纯水设备，其特征在于：所述第一toc降解器、所述第二toc降解器以及所述第三toc降解器的紫外线波长均为185nm。

技术总结
本实用新型公开了一种半导体用超低有机碳超纯水设备，包括氮封超纯水箱、输送泵、第一UV杀菌器、第一TOC降解器、一级抛光过滤器、第二TOC降解器、二级抛光过滤器、第二UV杀菌器、精密过滤器、中空纤维式膜过滤器、第三UV杀菌器、第三TOC降解器，所述氮封超纯水箱、输送泵、第一UV杀菌器、第一TOC降解器、一级抛光过滤器、第二TOC降解器、二级抛光过滤器、第二UV杀菌器、精密过滤器、中空纤维式膜过滤器、第三UV杀菌器以及第三TOC降解器通过管道依次首尾连通形成一循环回路；所述中空纤维式膜过滤器至所述第三UV杀菌器的管道之间开设有一将超纯水输送至用水点的转接口。本实用新型可以有效将超纯水中的有机物、微生物和总有机碳去除到更低的数值。更低的数值。更低的数值。


技术研发人员：马兵 李敏 李京 王纯刚
受保护的技术使用者：重庆摩尔水处理设备有限公司
技术研发日：2022.09.07
技术公布日：2022/11/22