一种外置式ICP激发装置的制作方法

一种外置式icp激发装置
技术领域
1.本实用新型涉及一种icp激发装置结构改进，特别涉及一种外置式icp激发装置。


背景技术：

2.电感耦合等离子(icp,inductive coupled plasma)处理设备，是通过电感线圈产生射频电磁场，使得反应气体发生电离而产生等离子体，产生的等离子体可以应用于沉积、刻蚀等半导体处理工艺中。
3.目前现有技术的icp激发装置主要都是安装在反应装置的内部，气体通过反应装置后再进入icp激发装置，对反应气体进行电离后，使离子化的反应气体参与沉积反应，用于沉积、刻蚀等半导体处理；在长时间的使用过程中，icp激发装置的部分部件会因为密封问题或与等离子气体反应等情况出现，使其需要维修和更换配件等操作，这是不可避免的现象。
4.目前针对这一问题主要的解决方式是将反应装置进行拆解，再对反应装置内部的icp激发装置进行更换或维护，但一方面必须要反应装置停机，且拆卸维修更换的耗时较长，所以导致对icp激发装置的维修养护工作过程非常繁琐，不利于工艺反应的效率。


技术实现要素：

5.针对背景技术中提到的问题，本实用新型的目的是提供一种外置式icp激发装置，包括石英管和铜管螺旋线圈，铜管螺旋线圈盘绕在石英管上，所述石英管上部通过密封装置与进气法兰连通，所述石英管下部通过密封装置与出气法兰连接，所述进气法兰上设有进气口，所述密封装置包括两个密封垫，两个密封圈之间设有负压接入口。
6.作为优选，所述进气口处设有绝缘导气机构。
7.作为优选，所述绝缘导气结构具体为绝缘布气孔和绝缘布气盘。
8.作为优选，所述绝缘布气孔和绝缘布气盘可以为陶瓷或聚四氟乙烯。
9.作为优选，还包括压紧块，所述压紧块穿过石英管并与密封装置中的密封垫压紧。
10.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：将icp激发装置设计成外置式的结构设计,从而使得cip发生器设备的维护和更换更加方便，密封装置外接负压的方式可以保证密封效果的同时，确保经过电离后的气体不会出现外溢，绝缘导气结构可使石英管具有良好绝缘效果，确保外置式的结构仍可保证使用安全，不出现漏电情况。
附图说明
11.图1为本实用新型的结构示意图；
12.图2为本实用新型的剖面示意图。
13.附图标记：1、石英管；2、铜管螺旋线圈；3、进气法兰；4、出气法兰；5、进气口；6、密封垫；7、负压接入口；8、绝缘布气孔；9、绝缘布气盘；10、压紧块。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
15.本发明的外置式icp激发装置，在具体实施时，包括石英管1和铜管螺旋线圈2，铜管螺旋线圈2盘绕在石英管1上，所述石英管1上部通过密封装置与进气法兰3连通，所述石英管1下部通过密封装置与出气法兰4连接，所述进气法兰3上设有进气口5，所述密封装置包括两个密封垫6，两个密封垫6之间设有负压接入口7；进气法兰3处的密封垫6安装在进气法兰3的内部上且与石英管1密封，出气法兰4处的密封垫6也安装在进气法兰3的内部，付负压接入口7通入负压后，石英管1内的负压大于两个密封垫6之间的负压；还包括压紧块10，所述压紧块10穿过石英管1并与密封装置中的密封垫6压紧，密封垫6可以通过螺栓与进气法兰3或出气法兰4之间做到可调。
16.所述进气口5处设有绝缘导气机构；所述绝缘导气结构具体为绝缘布气孔8和绝缘布气盘9；所述绝缘布气孔8和绝缘布气盘9可以为陶瓷或聚四氟乙烯；可以保证绝缘，保护管路内部且均匀布气。
17.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种外置式icp激发装置，包括石英管(1)和铜管螺旋线圈(2)，铜管螺旋线圈(2)盘绕在石英管(1)上，其特征在于，所述石英管(1)上部通过密封装置与进气法兰(3)连通，所述石英管(1)下部通过密封装置与出气法兰(4)连接，所述进气法兰(3)上设有进气口(5)，所述密封装置包括两个密封垫(6)，两个密封垫(6)之间设有负压接入口(7)。2.如权利要求1所述的外置式icp激发装置，其特征在于，所述进气口(5)处设有绝缘导气机构。3.如权利要求2所述的外置式icp激发装置，其特征在于，所述绝缘导气结构具体为绝缘布气孔(8)和绝缘布气盘(9)。4.如权利要求3所述的外置式icp激发装置，其特征在于，所述绝缘布气孔(8)和绝缘布气盘(9)可以为陶瓷或聚四氟乙烯。5.如权利要求1所述的外置式icp激发装置，其特征在于，还包括压紧块(10)，所述压紧块(10)穿过石英管(1)并与密封装置中的密封垫(6)压紧。

技术总结
本实用新型涉及一种ICP激发装置结构改进，特别涉及一种外置式ICP激发装置；包括石英管(1)和铜管螺旋线圈(2)，铜管螺旋线圈(2)盘绕在石英管(1)上，所述石英管(1)上部通过密封装置与进气法兰(3)连通，所述石英管(1)下部通过密封装置与出气法兰(4)连接，所述进气法兰(3)上设有进气口(5)，所述密封装置包括两个密封垫(6)，两个密封垫(6)之间设有负压接入口(7)，将ICP激发装置设计成外置式的结构设计,从而使得CIP发生器设备的维护和更换更加方便，密封装置外接负压的方式可以保证密封效果的同时，确保经过电离后的气体不会出现外溢，绝缘导气结构可使石英管具有良好绝缘效果。绝缘导气结构可使石英管具有良好绝缘效果。绝缘导气结构可使石英管具有良好绝缘效果。


技术研发人员：徐涛 左雪芹
受保护的技术使用者：江苏迈纳德微纳技术有限公司
技术研发日：2022.07.13
技术公布日：2022/11/21