一种薄膜沉积设备腔体清洁装置的制作方法

1.本实用新型涉及产品腔体清洁领域，具体是涉及一种薄膜沉积设备腔体清洁装置。


背景技术：

2.物理气相沉积技术是指在真空条件下采用物理方法将材料源(固体或液体)表面气化成气态原子或分子，或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，物理气相沉积是主要的表面处理技术之一。pvd(物理气相沉积)镀膜技术主要分为三类：真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜。物理气相沉积的主要方法有：真空蒸镀、溅射镀膜、电弧等离子体镀、离子镀膜和分子束外延等。相应的真空镀膜设备包括真空蒸发镀膜机、真空溅射镀膜机和真空离子镀膜机。随着沉积方法和技术的提升，物理气相沉积技术不仅可沉积金属膜、合金膜、还可以沉积化合物、陶瓷、半导体、聚合物膜等
3.现有设备清理腔体颗粒都是使用无尘布手动清洁，由于腔体内部结构复杂，会有很多狭小的空间无法清洁到，而颗粒对产品有着致命的威胁，严重的影响了产品良率，那改善腔体的洁净度就是重中之重，无法满足实际使用所需。
4.由上可见，现有的产品腔体清洁存在需手动清洁和清洁效果差的缺点，难以得到推广应用。
5.因此，需要提供一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，旨在解决上述问题。


技术实现要素：

6.针对现有技术存在的不足，本实用新型实施例的目的在于提供一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，以解决上述背景技术中的问题。
7.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
8.一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品的外侧，包括工作台，所述工作台的一侧开设有便于配合连接待清洁产品的配合槽，所述配合槽上设置有吹风机构和抽风机构，所述抽风机构机构包括抽风组和收集组，所述配合槽的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块、滑杆、固定板、弹簧和拉板，所述夹持块通过滑杆滑动连接于固定板上，所述固定板固定连接于工作台上，所述夹持块与固定板的连接处设置有弹簧，所述滑杆的一端固定连接有拉板，所述夹持块的内侧设置有便于防护的弹性密封垫，所述工作台的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱和第二支撑柱，所述第一支撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机构，所述第二支撑柱的底部设置有便于移动的万向轮。
9.作为本实用新型进一步的方案，所述吹风机构包括吹风罩、储气罐和气压泵，所述吹风罩朝向待清洁产品的内部设置，所述吹风罩通过第三管道连通有储气罐，所述储气罐固定安装于工作台上，所述储气罐通过第四管道连通有气压泵，所述气压泵固定安装于工
作台上。
10.作为本实用新型进一步的方案，所述抽风组包括吸风罩和抽风机，所述吸风罩固定安装于配合槽上，所述吸风罩朝向待清洁产品的内部设置，所述吸风罩通过第一管道固定连接有抽风机，所述抽风机固定安装于工作台上。
11.作为本实用新型进一步的方案，所述收集组包括收集箱、第一防尘网、第二防尘网和收纳盒，所述抽风机通过第二管道连通有收集箱，所述收集箱固定安装于工作台上，所述第一防尘网固定安装于收集箱的内部，所述收集箱的一侧开设有第二防尘网，所述收集箱的内部滑动连接有收纳盒，所述工作台的外侧铰接有便于隔音的隔音罩。
12.作为本实用新型进一步的方案，所述升降驱动机构包括连接箱、丝杆、锥齿轮副和双轴电机，所述第一支撑柱固定连接于工作台上，所述第一支撑柱通过滑块滑动连接于第二支撑柱上，所述丝杆转动连接于第二支撑柱的内部，所述第一支撑柱螺纹连接于丝杆上，所述丝杆通过锥齿轮副转动连接有双轴电机的输出轴，所述双轴电机固定安装于连接箱的内部，所述连接箱固定安装于第二支撑柱的连接处。
13.作为本实用新型进一步的方案，所述工作台的外侧设置有若干个扶手，所述万向轮上设置有刹车件。
14.综上所述，本实用新型实施例与现有技术相比具有以下有益效果：
15.本实用新型通过工作台的一侧开设有便于配合连接待清洁产品的配合槽，配合槽上设置有吹风机构和抽风机构，抽风机构机构包括抽风组和收集组，通过设置有吹风机构便于将待清洁产品内的颗粒杂质吹起，解决了传统清洁死角的无法处理，且通过设置有抽风组便于将吹起的颗粒杂质抽取至收集组内进行收集，实现了对待清洁产品腔体内颗粒杂质的良好处理；
16.配合槽的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品的夹持机构，通过设置有夹持机构便于对待清洁产品的外侧进行防护性的夹持固定，实现了后续抽吸的良好操作；
17.工作台的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱和第二支撑柱，第一支撑柱与第二支撑柱的连接处设置有升降驱动机构，第二支撑柱的底部设置有便于移动的万向轮，通过设置有万向轮便于推动工作台进行移动，通过设置有升降驱动机构便于驱动工作台根据待清洁产品的高度下降调节至合适的位置进行相应的配合连接，保证了抽吸操作的稳定进行。
18.为更清楚地阐述本实用新型的结构特征和功效，下面结合附图与具体实施例来对本实用新型进行详细说明。
附图说明
19.图1为实用新型实施例的结构示意图。
20.图2为实用新型实施例中工作台底部的连接结构示意图。
21.图3为实用新型实施例中工作台上部的连接结构示意图。
22.图4为实用新型实施例中收集箱内部的连接结构示意图。
23.图5为实用新型实施例的侧面部分剖视结构示意图。
24.附图标记：1、待清洁产品；2、工作台；3、隔音罩；4、吸风罩；5、吹风罩；6、配合槽；7、第一管道；8、抽风机；9、第二管道；10、收集箱； 11、第一防尘网；12、第二防尘网；13、收纳
盒；14、第三管道；15、储气罐；16、第四管道；17、气压泵；18、夹持块；19、弹性密封垫；20、滑杆； 21、固定板；22、弹簧；23、拉板；24、第一支撑柱；25、第二支撑柱；26、万向轮；27、连接箱；28、丝杆；29、锥齿轮副；30、双轴电机；31、扶手； 32、刹车件。
具体实施方式
25.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
26.以下结合具体实施例对本实用新型的具体实现进行详细描述。
27.实施例1
28.参见图1、图2和图5，一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品1的外侧，包括工作台2，所述工作台2的一侧开设有便于配合连接待清洁产品1的配合槽6，所述配合槽6的外侧设置有便于夹持固定待清洁产品1的夹持机构，所述夹持机构包括夹持块18、滑杆20、固定板21、弹簧22和拉板23，所述夹持块18通过滑杆20滑动连接于固定板21上，所述固定板21 固定连接于工作台2上，所述夹持块18与固定板21的连接处设置有弹簧22，所述滑杆20的一端固定连接有拉板23，所述夹持块18的内侧设置有便于防护的弹性密封垫19，所述工作台2的底部设置有若干便于支撑的第一支撑柱 24和第二支撑柱25，所述第一支撑柱24与第二支撑柱25的连接处设置有升降驱动机构，所述第二支撑柱25的底部设置有便于移动的万向轮26。
29.进一步，所述升降驱动机构包括连接箱27、丝杆28、锥齿轮副29和双轴电机30，所述第一支撑柱24固定连接于工作台2上，所述第一支撑柱24 通过滑块滑动连接于第二支撑柱25上，所述丝杆28转动连接于第二支撑柱 25的内部，所述第一支撑柱24螺纹连接于丝杆28上，所述丝杆28通过锥齿轮副29转动连接有双轴电机30的输出轴，所述双轴电机30固定安装于连接箱27的内部，所述连接箱27固定安装于第二支撑柱25的连接处。
30.进一步，所述工作台2的外侧设置有若干个扶手31，所述万向轮26上设置有刹车件32。
31.优选的，需要对待清洁产品1内的腔体进行清洁时，通过推动扶手31带动工作台2在万向轮26的作用下进行移动，使工作台2的中心位于待清洁产品1的正上方位置处，调节刹车件32对万向轮26进行刹车固定，双轴电机 30的输出轴分别在锥齿轮副29的连接关系下驱使丝杆28旋转，在第一支撑柱24与丝杆28螺纹连接的关系下驱使工作台2下降至合适的位置处，使配合槽6的区域与待清洁产品1相配合对接。
32.优选的，所述双轴电机30可正反驱动。
33.优选的，调节拉动拉板23驱使夹持块18压缩弹簧22，在弹簧22的弹力作用下实现夹持块18分别对待清洁产品1的外侧进行夹持固定，另外夹持块 18的内侧设置有弹性密封垫19便于对待清洁产品1的外侧进行防护。
34.实施例2
35.请参阅图1～图5，一种薄膜沉积设备腔体清洁装置，位于待清洁产品1 的外侧，包括工作台2，所述工作台2的一侧开设有便于配合连接待清洁产品 1的配合槽6，所述配合槽6上设置有吹风机构和抽风机构，所述抽风机构机构包括抽风组和收集组。
36.进一步，所述吹风机构包括吹风罩5、储气罐15和气压泵17，所述吹风罩 5朝向待清洁产品1的内部设置，所述吹风罩5通过第三管道14连通有储气罐15，所述储气罐15固定安装于工作台2上，所述储气罐15通过第四管道 16连通有气压泵17，所述气压泵17固定安装于工作台2上。
37.进一步，所述抽风组包括吸风罩4和抽风机8，所述吸风罩4固定安装于配合槽6上，所述吸风罩4朝向待清洁产品1的内部设置，所述吸风罩4通过第一管道7固定连接有抽风机8，所述抽风机8固定安装于工作台2上。
38.进一步，所述收集组包括收集箱10、第一防尘网11、第二防尘网12和收纳盒13，所述抽风机8通过第二管道9连通有收集箱10，所述收集箱10 固定安装于工作台2上，所述第一防尘网11固定安装于收集箱10的内部，所述收集箱10的一侧开设有第二防尘网12，所述收集箱10的内部滑动连接有收纳盒13，所述工作台2的外侧铰接有便于隔音的隔音罩3。
39.优选的，对待清洁产品1的内部腔体进行清洁操作时，气压泵17运作产生压力使储气罐15中的气体从第三管道14传导至吹风罩5处进行吹风操作，同时抽风机8运作经由第一管道7和吸风罩4抽取待清洁产品1内腔体吹起的颗粒杂质进行抽取，抽取的颗粒杂质被输送至收集箱10内，颗粒杂质在第一防尘网11的格挡作用下落入收纳盒13内进行收集，清洁效果好。
40.优选的，第三管道14上设置有相应的调压阀和流量检测仪，实现对进气的良好控制。
41.优选的，收集箱10外侧设置的第二防尘网12便于进行通风防尘处理，工作台2的上方铰接有便于隔音的隔音罩3实现对吹风抽风操作的隔音处理，避免了噪音的干扰。
42.本实施例的其余结构部分与实施例1相同。
43.本实用新型的工作原理是：需要对待清洁产品1内的腔体进行清洁时，通过推动扶手31带动工作台2在万向轮26的作用下进行移动，使工作台2 的中心位于待清洁产品1的正上方位置处，调节刹车件32对万向轮26进行刹车固定，双轴电机30的输出轴分别在锥齿轮副29的连接关系下驱使丝杆28旋转，在第一支撑柱24与丝杆28螺纹连接的关系下驱使工作台2下降至合适的位置处，使配合槽6的区域与待清洁产品1相配合对接，调节拉动拉板23驱使夹持块18压缩弹簧22，在弹簧22的弹力作用下实现夹持块18分别对待清洁产品1的外侧进行夹持固定，另外夹持块18的内侧设置有弹性密封垫19便于对待清洁产品1的外侧进行防护；对待清洁产品1的内部腔体进行清洁操作时，气压泵17运作产生压力使储气罐15中的气体从第三管道14 传导至吹风罩5处进行吹风操作，同时抽风机8运作经由第一管道7和吸风罩4抽取待清洁产品1内腔体吹起的颗粒杂质进行抽取，抽取的颗粒杂质被输送至收集箱10内，颗粒杂质在第一防尘网11的格挡作用下落入收纳盒13 内进行收集，清洁效果好，同时收集箱10外侧设置的第二防尘网12便于进行通风防尘处理，工作台2的上方铰接有便于隔音的隔音罩3实现对吹风抽风操作的隔音处理，避免了噪音的干扰。
44.需要特别说明的是，本技术中部件均为通用标准件或本领域技术人员通晓的部件，其有效解决了现有的产品腔体清洁存在需手动清洁和清洁效果差的问题。
45.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。