一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构的制作方法

技术特征：
1.一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，包括keeper壳体（1）、空心阴极发射钽管（2）、氩气馈入管道（4）及绝缘充气接头（3），其特征在于：所述绝缘充气接头（3）内形成有螺旋流道（8），绝缘充气接头（3）的两端分别设置有卡套接头，且绝缘充气接头（3）通过卡套接头直接与空心阴极发射钽管（2）和氩气馈入管道（4）相连，氩气馈入管道（4）通过卡套接头、螺旋流道（8）贯通空心阴极发射钽管（2）。2.根据权利要求1所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述绝缘充气接头（3）包括绝缘充气接头外壳（5）及设置有外螺旋沟道的外螺旋管（6），外螺旋管（6）套设在绝缘充气接头外壳（5）内，且绝缘充气接头外壳（5）内壁和外螺旋沟道配合形成螺旋流道（8）；在所述卡套接头内设置有与螺旋流道（8）相通的流道。3.根据权利要求1所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述卡套接头包括与空心阴极发射钽管（2）相连接的出气卡套接头（9）和与氩气馈入管道（4）相连接的进气卡套接头（7）。4.根据权利要求1~3任一项所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述绝缘充气接头（3）、卡套接头皆采用陶瓷材料构成。5.根据权利要求4任一项所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述绝缘充气接头（3）通过辅助夹具安装固定在keeper壳体（1）上，且安装好后的绝缘充气结构连接空心阴极发射钽管（2）侧的卡套接头位于keeper壳体（1）内。6.根据权利要求1~3任一项所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述绝缘充气接头（3）通过辅助夹具安装固定在keeper壳体（1）上，且安装好后的绝缘充气结构连接空心阴极发射钽管（2）侧的卡套接头位于keeper壳体（1）内。7.根据权利要求1~3、5任一项所述的一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，其特征在于：所述卡套接头焊接在绝缘充气接头（3）上。

技术总结
本发明公开了一种空心阴极离子源中和器绝缘充气结构，对空心阴极发射钽管与氩气馈入管道之间的接入结构进行改进，在增加绝缘距离的同时能够避免出现不稳定的电流，并且能够有效的缩小空间，使得维护更加方便，包括keeper壳体（1）、空心阴极发射钽管（2）、氩气馈入管道（4）及绝缘充气接头（3），所述绝缘充气接头（3）内形成有螺旋流道（8），绝缘充气接头（3）的两端分别设置有卡套接头，且绝缘充气接头（3）通过卡套接头直接与空心阴极发射钽管（2）和氩气馈入管道（4）相连，氩气馈入管道（4）通过卡套接头、螺旋流道（8）贯通空心阴极发射钽管（2）。螺旋流道（8）贯通空心阴极发射钽管（2）。螺旋流道（8）贯通空心阴极发射钽管（2）。


技术研发人员：卢成 王伟 张勇军 张志强
受保护的技术使用者：成都国泰真空设备有限公司
技术研发日：2022.08.23
技术公布日：2022/11/18