多元制冷循环装置的制作方法

技术特征：
1.一种多元制冷循环装置，用于冷却半导体器件制造装置，其特征在于，具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环，该第1制冷剂与用于冷却所述半导体器件制造装置的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环，该第2制冷剂与所述第1制冷剂进行热交换，所述第1制冷循环的至少一部分配置在设置有所述半导体器件制造装置的无尘室内，所述第2制冷循环配置在辅助间内。2.根据权利要求1所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述第1制冷循环整体配置在所述无尘室内。3.根据权利要求1所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述第1制冷循环包括：第1蒸发器，其构成为在所述冷却介质与所述第1制冷剂之间进行热交换，生成气相的所述第1制冷剂；第1压缩机，其构成为对所述气相的第1制冷剂进行压缩；第1冷凝器，其构成为使压缩后的所述气相的第1制冷剂冷凝而生成液相的所述第1制冷剂；和第1膨胀机构，其为了使所述第1制冷剂的压力和温度降低而配置在所述第1冷凝器与所述第1蒸发器之间，所述第1蒸发器和所述第1膨胀机构配置在所述无尘室内，所述第1压缩机及所述第1冷凝器配置在所述辅助间内。4.根据权利要求1所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述多元制冷循环装置还具备用于使中间介质在所述第1制冷循环与所述第2制冷循环之间循环的中间介质循环管道，所述中间介质循环管道在所述第1制冷循环与所述第2制冷循环之间延伸。5.根据权利要求4所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述多元制冷循环装置还具备连接于所述中间介质循环管道的缓冲箱。6.根据权利要求4所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述中间介质为作为载冷剂的防冻液。7.根据权利要求1所述的多元制冷循环装置，其特征在于，还具备用于使所述第1制冷剂和所述第2制冷剂进行热交换的级联冷凝器。8.根据权利要求1所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述第1制冷循环具备：第1蒸发器，其构成为在所述冷却介质与所述第1制冷剂之间进行热交换，生成气相的所述第1制冷剂；第1压缩机，其构成为对所述气相的第1制冷剂进行压缩；第1冷凝器，其构成为使压缩后的所述气相的第1制冷剂冷凝而生成液相的所述第1制冷剂；和热交换器，其配置在所述第1压缩机与所述第1冷凝器之间，用于冷却压缩后的所述气相的第1制冷剂。9.一种多元制冷循环装置，用于冷却半导体器件制造装置，其特征在于，具备：
供第1制冷剂循环的第1制冷循环，该第1制冷剂与用于冷却所述半导体器件制造装置的冷却介质进行热交换；供第2制冷剂循环的第2制冷循环，该第2制冷剂与所述第1制冷剂进行热交换；和中间介质循环管道，其用于使中间介质在所述第1制冷循环与所述第2制冷循环之间循环。10.根据权利要求9所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述中间介质循环管道在所述第1制冷循环的冷凝器与所述第2制冷循环的蒸发器之间延伸。11.根据权利要求9所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述多元制冷循环装置还具备连接于所述中间介质循环管道的缓冲箱。12.根据权利要求9所述的多元制冷循环装置，其特征在于，所述中间介质为作为载冷剂的防冻液。

技术总结
提供一种多元制冷循环装置，能够减小设置在辅助间内的设备的设置面积，并且能够缩短用于向半导体器件制造装置移送冷却介质的配管。多元制冷循环装置(2)具备：供第1制冷剂循环的第1制冷循环(5)，该第1制冷剂与用于冷却半导体器件制造装置(1)的冷却介质进行热交换；和供第2制冷剂循环的第2制冷循环(6)，该第2制冷剂与第1制冷剂进行热交换，第1制冷循环(5)的至少一部分配置在设置有半导体器件制造装置(1)的无尘室内，第2制冷循环(6)配置在辅助间内。内。内。


技术研发人员：小博基司 福住幸大 坂内伸隆 宫田启雅
受保护的技术使用者：荏原冷热系统株式会社
技术研发日：2022.05.09
技术公布日：2022/11/15