带护膜的光掩模、曝光系统及平板显示器用屏的制造系统的制作方法

技术特征：
1.一种带护膜的光掩模，将护膜安装于光掩模而成，所述护膜包括至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一个框状面的护膜膜片而构成，且所述带护膜的光掩模，其特征在于，对于护膜膜片，在与相互平行且为线对称的一对护膜框边平行的方向赋予有1％以上且2.5％以下的拉伸应变。2.根据权利要求1所述的带护膜的光掩模，其特征在于，对于护膜膜片，在与所述一对护膜框边垂直的方向赋予有0.5％以上且2％以下的拉伸应变。3.根据权利要求1所述的带护膜的光掩模，其特征在于，所述护膜框为矩形，所述一对护膜框边为所述矩形的长边。4.根据权利要求3所述的带护膜的光掩模，其特征在于，对于护膜膜片，在与所述矩形的长边垂直的方向赋予有0.5％以上且2％以下的拉伸应变。5.根据权利要求3或4所述的带护膜的光掩模，其特征在于，将粗细度最大为100μm的至少一条线状补强体接合于所述护膜膜片，且张设于所述护膜框的相互相向的两边间。6.根据权利要求3或4所述的带护膜的光掩模，其特征在于，将粗细度最大为100μm的两条线状补强体接合于所述护膜膜片，且沿着所述护膜框的对角线张设。7.根据权利要求1至4中任一项所述的带护膜的光掩模，其特征在于，所述护膜膜片的材质为非晶质氟系树脂。8.一种曝光系统，其特征在于，具有使用如权利要求1至7中任一项所述的带护膜的光掩模进行曝光的机构。9.一种平板显示器用屏的制造系统，其特征在于，具有使用如权利要求1至7中任一项所述的带护膜的光掩模进行曝光的机构。

技术总结
本实用新型提供一种带护膜的光掩模、曝光系统及平板显示器用屏的制造系统，此护膜的至少一条边的边长超过1000mm，且当安装于光掩模的护膜高速移动时，护膜膜片的摇晃量小。本实用新型的护膜包含至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一个框状面的护膜膜片而构成，且所述护膜，其中，对于护膜膜片，在与相互平行且为线对称的一对护膜框边平行的方向赋予有1％以上且2.5％以下的拉伸应变。本实用新型可降低在曝光机或异物检查机内护膜膜片接触装置零件的危险性。触装置零件的危险性。触装置零件的危险性。


技术研发人员：関原一敏
受保护的技术使用者：信越化学工业株式会社
技术研发日：2022.04.12
技术公布日：2022/11/10