一种电子特气废气处理系统的制作方法

技术特征：
1.一种电子特气废气处理系统，其特征在于，包括：废气输送管道(1)；预热器(2)，用于预热废气，所述预热器(2)包括热介质进口、热介质出口、冷介质进口和冷介质出口，所述废气输送管道(1)与所述冷介质进口连接；催化反应器(3)，所述催化反应器(3)包括加热腔室(9)和催化分解室(10)，所述加热腔室(9)用于分解硅烷，所述催化分解室(10)用于分解氨气，所述催化反应器(3)的进气口与所述冷介质出口连接；氧化器(4)，用于氢气燃烧，所述氧化器(4)的出气口与所述热介质进口连接，所述氧化器(4)的进气口设有燃烧器(6)，所述燃烧器(6)与所述催化反应器(3)的出气口连接。2.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化反应器(3)包括保温层(42)，所述加热腔室(9)设置在所述保温层(42)内，所述加热腔室(9)内设有分隔壳体，所述分隔壳体内形成所述催化分解室(10)，所述催化反应器(3)的进气口与所述加热腔室(9)连接，所述分隔壳体的底部具有气体通道(15)，所述加热腔室(9)底部设有集灰室(14)。3.根据权利要求2所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述加热腔室(9)内设有电加热丝。4.根据权利要求2所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化分解室(10)内设有ni催化剂。5.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述催化反应器(3)的出气口和所述燃烧器(6)的连接管道上设有精密过滤器(13)。6.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述氧化器(4)包括保温壳(41)，所述保温壳(41)内形成氧化室(16)，所述燃烧器(6)与氧气管道(18)连接。7.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述预热器(2)为套管式热交换器，所述预热器(2)包括壳体和设置在所述壳体内的列管，所述热介质进口和所述热介质出口与所述壳体连接，所述冷介质进口和所述冷介质出口与所述列管连接，所述壳体下方设有泄灰口(17)。8.根据权利要求1所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，所述废气输送管道(1)上设有缓冲罐(20)和阻火器(38)，所述阻火器(38)位于所述缓冲罐(20)的下游。9.根据权利要求1-8任一所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，还包括第一氮气管道(7)和第二氮气管道(8)，所述第一氮气管道(7)连接所述废气输送管道(1)，所述第二氮气管道(8)连接所述热介质进口。10.根据权利要求1-8任一所述的电子特气废气处理系统，其特征在于，还包括压缩空气管道(19)和负压吸引器(5)，所述压缩空气管道(19)和所述热介质出口与所述负压吸引器(5)连接。

技术总结
本发明提供了一种电子特气废气处理系统，该电子特气废气处理系统包括废气输送管道、预热器、催化反应器、氧化器，该电子特气废气处理系统通过废气输送管道将废气送至预热器中预热，将预热好的废气输送至催化反应器中，在催化反应器中硅烷高温分解为硅灰和氢气，氨气催化分解为氮气和氢气，分解产物被输送至氧化器，在氧化器中氢气与氧气燃烧生成大量高温水蒸气，水蒸气作为热介质进入预热器与冷介质废气换热后通过预热器热介质出口排出。本发明催化反应器分解废气，并利用分解产物燃烧产生的热能来预热废气，实现对电子特气废气的低能耗无害化处理，节约了处理成本。节约了处理成本。节约了处理成本。


技术研发人员：吉达林 颜琦 谢海洋 冯卫权
受保护的技术使用者：宁波安泰环境化工工程设计有限公司
技术研发日：2022.08.23
技术公布日：2022/11/11