晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装置与流程

技术特征：
1.一种晶圆包装的自动检测方法，其特征在于，所述方法包括：获取针对晶圆包装的图像信息；对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；基于判断结果生成对应的检测结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取针对晶圆包装的图像信息，包括：获取所述晶圆包装在第一亮度下的第一图像；获取所述晶圆包装在第二亮度下的第二图像；将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包装的图像信息。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述对所述图像信息进行处理，获得处理后图像，包括：对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理，获得去噪后第一图像和去噪后第二图像；对所述去噪后第一图像和所述去噪后第二图像执行灰度处理，获得第一灰度图像和第二灰度图像；对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合操作，生成第一融合后图像；获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像；分别对所述第一通道图像和实时第二通道图像进行增强处理，获得增强后第一图像和增强后第二图像；对所述增强后第一图像和所述增强后第二图像执行第二融合操作，生成第二融合后图像；基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图像。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果，包括：对所述处理后图像进行裂纹识别，获得裂纹识别信息；基于所述裂纹识别信息判断所述处理后图像中的晶圆是否存在裂纹；若所述晶圆存在裂纹，生成晶圆破裂的状态识别结果；若所述晶圆不存在裂纹，对所述处理后图像进行晶圆间距识别，获得间距识别信息；基于所述间距识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况；若所述晶圆存在偏放状况，生成晶圆偏放的状态识别结果；若所述晶圆不存在偏放状况，生成晶圆摆放正常的状态识别结果。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：在确定存在碎片风险之后，获取存在碎片风险的风险晶圆；从所述处理后图像中提取所述风险晶圆预设范围的区域图像；对所述区域图像进行异常分析，生成对应的异常风险因子；建立所述异常风险因子和所述区域图像之间的关联关系，存储并反馈所述区域图像和所述异常风险因子。
6.一种晶圆包装的自动检测装置，其特征在于，所述装置包括：图像获取单元，用于获取针对晶圆包装的图像信息；处理单元，用于对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；识别单元，用于对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；判断单元，用于基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；结果生成单元，用于基于判断结果生成对应的检测结果。7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述图像获取单元包括：第一图像获取模块，用于获取所述晶圆包装在第一亮度下的第一图像；第二图像获取模块，用于获取所述晶圆包装在第二亮度下的第二图像；图像确定模块，用于将所述第一图像和所述第二图像作为针对晶圆包装的图像信息。8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述处理单元包括：第一处理模块，用于对所述第一图像和所述第二图像执行去噪处理，获得去噪后第一图像和去噪后第二图像；对所述去噪后第一图像和所述去噪后第二图像执行灰度处理，获得第一灰度图像和第二灰度图像；对所述第一灰度图像和所述第二灰度图像执行第一融合操作，生成第一融合后图像；第二处理模块，用于获取所述去噪后第一图像在预设颜色通道中的第一通道图像以及获取所述去噪后第二图像在所述预设颜色通道中的第二通道图像；分别对所述第一通道图像和实时第二通道图像进行增强处理，获得增强后第一图像和增强后第二图像；对所述增强后第一图像和所述增强后第二图像执行第二融合操作，生成第二融合后图像；处理确认模块，用于基于所述第一融合后图像和所述第二融合后图像生成处理后图像。9.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述识别单元具体用于：对所述处理后图像进行裂纹识别，获得裂纹识别信息；基于所述裂纹识别信息判断所述处理后图像中的晶圆是否存在裂纹；若所述晶圆存在裂纹，生成晶圆破裂的状态识别结果；若所述晶圆不存在裂纹，对所述处理后图像进行晶圆间距识别，获得间距识别信息；基于所述间距识别信息判断所述晶圆是否存在偏放状况；若所述晶圆存在偏放状况，生成晶圆偏放的状态识别结果；若所述晶圆不存在偏放状况，生成晶圆摆放正常的状态识别结果。10.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述装置还包括定位单元，所述定位单元用于：在确定存在碎片风险之后，获取存在碎片风险的风险晶圆；从所述处理后图像中提取所述风险晶圆预设范围的区域图像；对所述区域图像进行异常分析，生成对应的异常风险因子；建立所述异常风险因子和所述区域图像之间的关联关系，存储并反馈所述区域图像和所述异常风险因子。11.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现权利要求1-5中任一项权利要求所述的方法。

技术总结
本发明实施例公开了一种晶圆包装的自动检测方法以及自动检测装置，涉及图像处理技术领域，所述方法包括：获取针对晶圆包装的图像信息；对所述图像信息进行处理，获得处理后图像；对所述处理后图像进行晶圆放置状态识别，获得状态识别结果；基于所述状态识别结果判断是否存在碎片风险；基于判断结果生成对应的检测结果。通过采用图像识别的方式自动对晶圆包装的碎片风险进行识别，从而快速、准确地确定晶圆的碎片风险，提高了对晶圆的检测效率、检测精确性。测精确性。测精确性。


技术研发人员：吴勇 蔡爱军 顾广安
受保护的技术使用者：上海晶盟硅材料有限公司
技术研发日：2022.09.01
技术公布日：2022/11/11