一种直拉单晶炉在线式热场再生方法与流程

技术特征：
1.一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，所述直拉单晶炉包括主炉壳（14）；主炉壳（14）顶部连接有副室（4），所述主炉壳（14）内设置有保温筒（6），保温筒（6）内设置有坩埚（8），坩埚（8）的顶部设置有导流筒（5）；其特征在于，载气和工艺气体通过进气管路（3）沿导流筒（5）进入坩埚（8），再沿坩埚（8）与保温筒（6）之间流入保温筒（6）下部并沿抽气管路（9）排出主炉壳（14）；载气与工艺气体的体积比20-50:1；载气为惰性气体，工艺气体为卤素气体；直拉单晶炉内的温度为1650℃-1750℃；工艺气体在高温下分解后与腔体内炭素材料中的杂质进行反应，生成卤化物之后随载气排出主炉壳（14）。2.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，所述载气为氩气、氮气、氦气中的一种；所述工艺气体为氯气、氟气、氟利昂中的一种。3.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，加热器（7）设置在保温筒（6）和坩埚（8）之间。4.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，载气的输出压力为0.3~0.5mpa，流量5~80l/min；工艺气体的输出压力0.1~0.4mpa，流量0.1~3l/min。5.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，载气提供装置（1）和工艺气体提供装置（2）通过进气管路（3）与副室（4）相连接，载气提供装置（1）提供载气，工艺气体提供装置（2）提供工艺气体。6.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，所述抽气管路（9）连接有真空泵组（11）；所述抽气管路（9）与直拉单晶炉的连接处位于保温筒（6）底部以下。7.根据权利要求6所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，所述的真空泵组（11）包括有分子泵。8.根据权利要求1所述的一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，其特征在于，所述的抽气管路（9）与尾气处理系统（10）相连接。

技术总结
本发明公开了一种直拉单晶炉在线式热场再生方法，属于半导体技术领域；所述直拉单晶炉包括主炉壳；主炉壳顶部连接有副室，所述主炉壳内设置有保温筒，保温筒内设置有坩埚，坩埚的顶部设置有导流筒；载气和工艺气体通过进气管路沿导流筒进入坩埚，再沿坩埚与保温筒之间流入保温筒下部并沿抽气管路排出主炉壳；载气与工艺气体的体积比20-50:1；载气为惰性气体，工艺气体为卤素气体；本发明通过载气和工艺气体的有序流动，在高温状态下与炉内杂质反应将其有效去除，延长了单晶炉内部炭素材料的寿命；提升了单晶棒的寿命。提升了单晶棒的寿命。提升了单晶棒的寿命。


技术研发人员：张军彦 冯文彪 王晓峰 白枭 李媛
受保护的技术使用者：山西中电科新能源技术有限公司
技术研发日：2022.08.24
技术公布日：2022/11/11