水质管理方法、信息处理装置以及信息处理系统与流程

1.本发明涉及管理超纯水中的微粒浓度的水质管理方法，特别涉及对超纯水中存在的极微量的微粒进行定量的水质管理方法、在该水质管理方法中使用的信息处理装置、以及使用它们的信息处理系统。


背景技术：

2.超纯水一般通过在前处理工序中对河水、地下水及工业用水等被处理水进行处理而制成前处理水，接着，利用1次系统纯水制造装置及2次系统纯水制造装置(子系统)对该前处理水依次进行处理而制造。该前处理工序是除去被处理水中的悬浮物以及有机物的大部分的工序。所制造的超纯水例如在半导体器件制造工厂中被供给至进行晶片清洗等的使用点。超纯水在医药品制造工序等中也被广泛使用。“纯水”和“超纯水”的用语一般没有明确地定义。在本说明书中，通常将用“纯水”、“超纯水”等用语说明的高纯度水统称为“超纯水”。
3.超纯水具有其中所含的杂质难以定量的程度的高纯度。但是，超纯水并非完全不含有杂质。而且，器件中的集成度越高，越无法无视超纯水中所含的超微量成分对半导体器件等产品造成的影响。因此，还研究了具有比以往的超纯水更高的纯度的超纯水的必要性。
4.在半导体器件制造工厂等中，由子系统制造的超纯水经由配管供给到使用点。子系统与使用点之间的配管长有时长达几百米。因此，有时微粒(颗粒)、金属离子成分等杂质虽然是微量也会从配管混入超纯水中。在这样的情况下，有可能对所制造的半导体器件的特性造成不良影响。特别是微粒有可能产生图案缺陷、断线、绝缘耐压降低等不良等，直接影响成品率。因此，要求对微粒的粒径和浓度这两者进行严格的管理。最近，有时要求将微粒的浓度控制在给定值以下。药品制造领域中使用的超纯水也同样。
5.作为超纯水中的微粒的检测方法，已知有直接镜检法(例如，参照非专利文献1)。根据该方法，使用过滤膜对纯水或超纯水进行过滤，在过滤膜上捕捉微粒，使用光学显微镜或扫描型电子显微镜检测所捕捉的微粒。作为过滤膜，使用孔径比检测对象的微粒的粒径小的过滤膜。由此，即使是粒径小的微粒也能够进行检测。但是，为了确保检测的可靠性，优选捕捉与过滤膜自身中含有的微粒的数量相同数量或超过其的数量的微粒。因此，必须将足够量的纯水或超纯水通入过滤膜中。另外，检测对象的微粒的粒径越小，用于捕捉该微粒所需的过滤膜的孔径越小，过滤膜的压力损失增大。由此，在粒径小的微粒的检测中需要长时间的过滤。
6.已知在直接使用镜检法检测微粒时，使用离心过滤器过滤纯水或超纯水的方法(例如，参照专利文献1、2)。通过离心力对纯水或超纯水进行加压，通过过滤膜的纯水或超纯水的流量增加。因此，过滤所需的时间缩短。现有技术文献专利文献
7.专利文献1：日本实开平4-136550号公报
专利文献2：日本特开2012-115810号公报非专利文献
8.非专利文献1：日本工业标准jis k 0554-1995“超纯水中的微粒测定方法”

技术实现要素：

发明要解决的课题
9.专利文献1和专利文献2中记载的直接镜检法是以测量超纯水中含有的极微量(微小)粒子为目的而得到改善的。另外，该直接镜检法在超纯水制造装置的竣工后或维护后，为了判定超纯水的水质是否满足其规格而承担重要的作用。然而，在发现了经过使用超纯水的工序而制造的产品产生不良等的情况下，为了查明其不良的原因，需要对所考虑的各种要因进行分析。作为该分析的一环，考虑有超纯水中的微粒数的增加的可能性，执行正使用的超纯水的基于直接镜检法的微粒分析。在该情况下，即使假设超纯水中包含的微粒是不良的原因，通常从发生成为不良原因的现象起到分析为止也经过相当长的时间。因此，在进行分析的调查阶段中，有时该微粒已经不存在于超纯水中。如此，尽管调查中花费大量的时间和劳力，也保持了原因不明的状态。
10.本发明的目的在于提供一种能够事后执行分析对象水中的极微量微粒的分析且容易执行不良分析的水质管理方法、在该水质管理方法中使用的信息处理装置、以及使用它们的信息处理系统。用于解决课题的技术方案
11.本发明的水质管理方法进行分析对象水中含有的微粒的定量分析和定性分析中的至少一者，包括如下工序：将捕捉上述微粒的微粒捕捉膜安装于与供上述分析对象水流动的流通管连接的过滤装置的工序；在给定的期间从上述流通管对安装于上述过滤装置的上述微粒捕捉膜通水上述分析对象水，并捕捉上述分析对象水中含有的微粒而形成微粒捕捉膜试样的工序；以及在任意的定时进行成为对象的通水期间的上述微粒捕捉膜试样的定量分析和定性分析中的至少一者的工序。
12.本发明的信息处理装置具有：输入部，其基于从外部受理的操作来输入输入信息；数据库，其将表示被通水分析对象水来捕捉上述分析对象水的微粒的微粒捕捉膜安装于供上述分析对象水流动的流通管的时期的期间信息与对该微粒捕捉膜固有地赋予的捕捉膜识别信息建立对应地存储；检索部，其基于由上述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从上述数据库检索上述捕捉膜识别信息；以及输出部，其输出由上述检索部检索到的捕捉膜识别信息。
13.本发明的信息处理系统具有过滤装置、累计流量计、分析装置和信息处理装置，所述过滤装置具有微粒捕捉膜，该微粒捕捉膜设置成能从该过滤装置卸下，且被通水分析对象水来捕捉所述分析对象水的微粒，所述累计流量计设置于所述过滤装置的所述分析对象水的流动方向的下游侧，对
所述微粒捕捉膜的通水量的累计值进行测量，所述信息处理装置具有：输入部，其基于从外部受理的操作来输入输入信息；数据库，其将表示所述微粒捕捉膜安装于供所述分析对象水流动的流通管的时期的期间信息与对该微粒捕捉膜固有地赋予的捕捉膜识别信息建立对应地进行存储；检索部，其基于由所述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从所述数据库检索所述捕捉膜识别信息；以及输出部，其输出由所述检索部检索到的捕捉膜识别信息，所述分析装置对被赋予了由所述输出部输出的捕捉膜识别信息的微粒捕捉膜进行定量分析和定性分析中的至少一者，所述输出部输出基于由所述分析装置进行的分析的结果的提供信息。发明效果
14.根据本发明，能够事后执行分析对象水中的极微量的微粒的分析，能够容易执行不良分析。
附图说明
15.图1是表示本发明的一个实施方式的过滤装置的图。图2是说明水质管理方法的流程图。图3是说明具有使用超纯水的工序的工厂中的过滤装置的连接场所的例子的图。图4是表示利用了图1所示的过滤装置的信息处理系统的第一例的图。图5是表示图4所示的信息处理装置的内部结构的一例的图。图6是表示图5所示的数据库中存储的、期间信息与捕捉膜识别信息的对应关系的一例的图。图7是表示图5所示的数据库中存储的、设置信息与捕捉膜识别信息的对应关系的一例的图。图8是用于说明图4所示的信息处理系统中的信息处理方法中的过滤装置中的处理的一例的流程图。图9是用于说明图4所示的信息处理系统中的信息处理方法中的信息处理装置中的检索处理的一例的流程图。图10是表示利用了图1所示的过滤装置的信息处理系统的第二例的图。图11是表示图10所示的信息处理装置的内部结构的一例的图。图12是用于说明图10所示的信息处理系统中的信息处理方法的示例的序列图。图13是用于说明使用图12所示的序列图说明的步骤s4的详细处理的一例的流程图。图14是用于说明使用图12所示的序列图说明的步骤s8的详细处理的一例的流程图。
具体实施方式
16.以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。图1表示本发明的一个实施方
式的过滤装置。在此，分析对象水在半导体器件等产品的制造过程中使用，是与产品接触的超纯水。本发明的过滤装置或水质管理方法中作为应用对象的分析对象水并不限定于此。作为分析对象水，例如可举出功能水、纯水(一次系)、ipa(异丙醇)等药液。
17.流通管11从用于向使用点供给超纯水的超纯水供给配管10分支出来。在流通管11设置有开闭阀12。开闭阀12的后级的流通管11也可以由减压用的pfa管13构成。流量调整用阀23设置于流通管11分支出来的旁通管线。流量调整用阀23调整向旁通管线排出的排水的流量。在旁通管线设置有流量计24。另外，在比与流通管11的旁通管线的分支点更靠下游的位置设置有超声波式的流量显示器25。过滤装置20经由配管连接器21可拆卸地安装于流通管11的前端。为了在过滤装置20的安装及拆卸时超纯水供给配管10内的超纯水不会被污染，优选相对于从超纯水供给配管10分支出来的配管(流通管11等)安装过滤装置20。过滤装置20例如是离心过滤装置。
18.在过滤装置20的内部安装有微粒捕捉膜22。在过滤装置20的内部，作为分析对象水的超纯水从流通管11经由配管连接器21流动。微粒捕捉膜22捕捉从流通管11流入过滤装置20的超纯水内的微粒。微粒捕捉膜22以能够从过滤装置20卸下的方式安装。在过滤装置20的下游设置有压差调整阀26。差压调整阀26是过滤装置20内的气流调整用的开闭阀。进而，在下游设置有对在微粒捕捉膜22中流动的分析对象水的累计流量进行测量的累计流量计27。经由配管连接器21而供给的流经过滤装置20内的微粒捕捉膜22的分析对象水作为过滤水被排出到外部。
19.在给定的期间将分析对象水通水于微粒捕捉膜22后，接着，对被微粒捕捉膜22捕捉的微粒进行定量分析和定性分析中的至少一者的分析。在此，分析对象水中的微粒的定量精度也依赖于流过微粒捕捉膜22的累计流量。相对于微粒捕捉膜22的通水量也根据分析对象水的压力变动而变化。因此，即使在通水开始时调整流量，将该流量乘以通水时间，也未必与实际的累计流量一致。因此，在本实施方式的过滤装置20中，为了求出在微粒捕捉膜22中流动的分析对象水的实际的累计流量，在比过滤装置20(微粒捕捉膜22)更靠近下游设置累计流量计27。由此，能够得到准确的累计流量值。在分析对象水的流动方向上，比微粒捕捉膜22更靠近下游侧设置累计流量计27的理由是为了避免来自累计流量计27的污染的影响。另外，不会基于累计流量计27的测量值来调整向微粒捕捉膜22的流量。
20.对于本实施方式的过滤装置20，在给定的期间使分析对象水通水后，使通水停止。然后，从过滤装置20卸下微粒捕捉膜22。向过滤装置20的通水的停止例如也可以使流量调整用阀23全开，仅从pfa管13向旁通管线通水。如后所述，被微粒捕捉膜22捕捉的微粒的定量既可以在卸下后立即进行，也可以在经过了一定程度的时间之后、或者根据事后的要求进行。优选微粒捕捉膜22被密封保管，以使得在从卸下到进行定量为止的期间微粒捕捉膜22被污染，或者微粒不会从微粒捕捉膜22流出。
21.接着，使用图2对使用了图1所示的过滤装置20的水质管理方法进行说明。在此，对作为分析对象水的在超纯水供给配管10中流动的超纯水进行作为杂质而含有的微粒的定量分析来进行水质管理的情况进行说明。在此，作为进行水质管理的分析，可以进行定性分析，也可以进行定量分析和定性分析。首先，在步骤101中，过滤装置20经由配管连接器21与流通管11连接。此时，在过滤装置20上未安装微粒捕捉膜22。在过滤装置20与流通管11连接后，在步骤102中，开放开闭阀12，过滤装置20全部被冲洗(吹扫)。在一定期间进行冲洗后，
在步骤103中使向过滤装置20的通水停止。为了使向过滤装置20的通水停止，如上所述，例如也可以使流量调整用阀23全开。接着，预先清洗的微粒捕捉膜22在步骤104中安装于过滤装置20。然后，在步骤105中，将流量调整用阀23的开度向关闭方向进行调整，开始向过滤装置20(微粒捕捉膜22)通水分析对象水。此时，基于流量显示器25所显示的值，调整流量调整用阀23的开度。由此，对在过滤装置20(微粒捕捉膜22)中流动的分析对象水的流量进行调整。然后，在给定的期间进行向微粒捕捉膜22的分析对象水的通水后，在步骤106中使向过滤装置20的通水停止。向过滤装置20的通水的具体的停止方法如上所述。之后，在步骤107中，从过滤装置20回收微粒捕捉膜22。也将通过分析对象水进行通水而捕捉了微粒的微粒捕捉膜22称为微粒捕捉膜试样。图2是着眼于特定的过滤装置20的流程图。在步骤107中回收了微粒捕捉膜22后，在该时刻，将更换用的微粒捕捉膜22安装于过滤装置20，重新开始向安装有更换用的微粒捕捉膜22的过滤装置20通水。由此，能够在连续的期间进行水质的管理。另外，开闭阀12通常设为打开状态。即使在过滤装置20未安装微粒捕捉膜22时，也进行冲洗。另外，开闭阀12在从流通管11卸下pfa管13等变更取样点的情况下关闭。另外，在对流通管11的比旁通管线的分支点更靠近下游侧的部分进行清洗的情况下，也能够设置用于使清洗水不会滞留于过滤装置20的构件。
22.回收了微粒捕捉膜22后，在步骤108中记录累计流量计27测定出的累计流量的值。另外，在步骤109中，进行通水于该过滤装置20的期间(例如，从几月几日的几点到几月几日的几点为止)的记录。该累计流量的值以及期间的记录例如也可以是在物理的标签(例如手写的标签、印字的标签或者ic(集成电路)芯片)填写或记录通水期间而安装于微粒捕捉膜22的记录。另外，在对微粒捕捉膜22赋予了序列号等的情况下，例如，累计流量的值以及期间的记录也可以将序列号、累计流量和通水期间建立对应地在数据库上进行管理。另外，在不使用累计流量计27而手动测定累计流量的情况下，调换步骤107的处理和步骤108的处理的顺序。然后，在步骤110中，判断是否需要在当前时刻进行微粒的定量。如果进行例行程序的分析业务，则需要定量而进入步骤111。在当前时刻不需要定量但为了不良分析而有可能在以后进行定量的情况下，在步骤112中保管该微粒捕捉膜22并返回到步骤110。另外，虽然说明了在步骤112中保管微粒捕捉膜22的情况，但也可以保管过滤装置20。在该情况下，在过滤装置20上安装上述那样的物理标签来进行管理。
23.通过在步骤111中进行捕捉粒子的定量，针对某1个微粒捕捉膜22的一系列的处理结束。
24.步骤111中的捕捉粒子的定量可以是使用一般公知的方法的定量分析、定性分析。步骤111中的捕捉粒子的定量例如也可以使用扫描型电子显微镜(sem)对捕捉粒子进行观察
·
计数，根据计数得到的值来算出捕捉膜整体捕捉的微粒，根据通水至捕捉膜的累计流量计(体积)算出测定对象的试样水中的粒子浓度。另外，步骤111中的捕捉粒子的定量也可以求出观察到的范围所包含的给定数量的微粒的组成，或者求出微粒的粒径、其粒径分布。
25.有时会在使用作为分析对象水的超纯水制造的产品等中产生不良，怀疑该不良的原因是超纯水的水质。例如，在半导体设备制造中，在半导体清洗工序中使用超纯水清洗晶片后，经过数种工序后进行晶片的检查，其结果是，在检测到晶片的不良的情况下，作为该不良的原因，有时怀疑晶片清洗时的超纯水中含有的微粒。即，在产品产生问题时，判断为需要与产品使用水的时期对应的通水期间的微粒捕捉膜试样的定量分析，进行定量分析。
在发生了怀疑由这样的超纯水引起的现象的情况下，对于将在步骤112中保管的微粒捕捉膜22中的至少与该现象对应的期间作为通水期间的微粒捕捉膜22，在步骤110中判断为需要定量。然后，对该微粒捕捉膜22的微粒捕捉膜试样，在步骤111中实施捕捉粒子的定量。其结果，能够进行该不良等现象的原因是否为相应的期间中的超纯水中的微粒的判断。并且，能够根据进行了定量的微粒捕捉膜试样的捕捉膜信息(后述)，确定在产品等中产生的不良等现象的原因是哪个部位。例如，如图3(详细后述)所示，在超纯水制造装置30的超滤装置38的出口、超纯水制造装置30与供给配管47的连接位置、制造栋50的主配管51、52、从主配管51、52与超纯水使用装置55连接的分支配管56等设置过滤装置20。如此，能够根据定量结果和捕捉膜信息，确定在产品等中产生的不良等现象的原因是哪个装置、哪个构件。另外，例如，相对于如图3的供给配管46或供给配管47那样长的配管以给定间隔设置多个过滤装置20。如此，同样地，也能够确定在产品等中产生的不良等现象的原因是供给配管46或供给配管47的哪个部位。将与现象对应的期间作为通水期间的过滤装置20是指，在发生了现象的产品的制造工序中在过去的任意时刻与分析对象水接触时，包括该接触的期间在内的通水期间的过滤装置20。另外，这里的通水期间是表示能够确定通水的日期时间的时期的信息(以下的说明相同)。例如，通水期间是包含向过滤装置20(微粒捕捉膜22)开始通水的日期时间和结束通水的日期时间中的至少一者的信息。
26.在本实施方式中，由于按每个微粒捕捉膜22记录通水期间，因此即使在事后判明了不良的发生的情况下，也能够容易地从保管中的微粒捕捉膜22找出与不良对应的通水期间的微粒捕捉膜22并进行分析。为了更精密地进行不良分析，优选不仅对与发生了不良的期间对应的通水期间的微粒捕捉膜22进行定量，还对与发生了不良的期间的前后的期间对应的通水期间的微粒捕捉膜22进行定量。
27.根据本实施方式，能够将超纯水中的微粒作为每个给定期间的连续的定量值进行管理。另外，在发生了制造品的成品率降低等时，通过该产品的制造工序历史记录与向微粒捕捉膜的通水期间和微粒的定量结果的对照，能够迅速地判断成品率降低原因是否来自超纯水。
28.接着，对将上述水质管理方法应用于半导体器件制造工厂的例子进行说明。图3是表示半导体器件制造工厂中的超纯水的制造和消耗的部分的流程图。另外，图3表示半导体器件制造工厂中的过滤装置20的连接场所的例子。
29.在图示的半导体器件制造工厂中，供给一次纯水而制造超纯水的超纯水制造装置(2次系纯水制造装置)30、即子系统与实际使用超纯水的场所、即制造栋50分开地设置。超纯水制造装置30具备罐31、泵(p)32、热交换器(he)33、紫外线氧化装置(uv)34、膜脱气装置(dg)35、非再生型离子交换装置(cp)37和超滤装置(uf)38。罐31接收一次纯水而暂时储存。泵(p)32设置在罐31的出口。热交换器(he)33设置在泵32的出口。紫外线氧化装置(uv)34、膜脱气装置(dg)35、非再生型离子交换装置(cp)37和超滤装置(uf)38分别实施用于超纯水制造的工序。紫外线氧化装置34、膜脱气装置35、非再生型离子交换装置37以及超滤装置38依次串联连接于热交换器33的出口。在膜脱气装置35连接有真空泵(vp)36。超滤装置38的出口水为超纯水，其一部分经由供给配管46、47向制造栋50供给。未供给到制造栋50的剩余的超纯水经由循环配管39返回到罐31。在循环配管39中，例如为了将超纯水循环的路径中的水压控制为恒定等而设置有阀40。为了将超纯水中的溶解氧减少至极限，在罐31中为了
吹扫氧而供给有氮气(n2)气体。为了除去氧并进行氮吹扫，向膜脱气装置35也供给氮气。超纯水制造装置30的结构及其配置并不限定于图示的结构或其配置。
30.在向制造栋50供给的供给配管46、47中的供给配管46的超纯水制造装置30侧的位置，为了捕捉超纯水中的极微量的离子性杂质而设置有捕捉离子吸附体41及微粒的微粒除去过滤器(未图示)。微粒除去过滤器设置在比离子吸附体41更靠近供给配管46、47的下游的位置。也可以不设置该离子吸附体41。
31.在制造栋50中，设置有分别与供给配管46、47连接的主配管51、52。多个超纯水使用装置55分别经由分支配管56与主配管51、52连接。超纯水使用装置55例如是清洗装置、蚀刻装置、曝光装置等。在主配管51、52的入口侧设置有捕捉从供给配管46、47分别供给的超纯水中所含的极微量的离子性杂质的离子吸附体53及捕捉微粒的微粒除去过滤器(未图示)。微粒除去过滤器设置在比离子吸附体53更靠近供给配管46、47的下游的位置。该离子吸附体53也可以不必设置。
32.能够设置图1所示的过滤装置20的场所的例子在图3中用符号m表示。即，在超纯水制造装置30中，既可以设置于超滤装置38的出口，也可以设置于与供给配管47的连接位置。在制造栋50中，可以设置于各主配管51、52，也可以设置于与各个超纯水使用装置55连接的分支配管56。过滤装置20的设置场所、设置数量并不限定于图示的设置场所、设置数量，可以在任意的部位设置过滤装置20。各过滤装置20与图1所示的过滤装置同样地经由开闭阀12与超纯水所流动的配管连接。开闭阀12通常处于打开状态，在变更采样点的情况下关闭。来自过滤装置20的排出水只要在半导体设备工厂设置有回收水的系统，则优选返回到回收水的系统。
33.以下，举例说明上述过滤装置的利用方法。(第一系统例)
34.图4是表示利用了图1所示的过滤装置20的信息处理系统的第一例的图。在此，对使用定量装置作为分析装置进行微粒的定量分析的情况进行说明。在进行微粒的分析时，可以使用定性装置进行定性分析，也可以使用定量装置和定性装置进行定量分析和定性分析。
35.图4所示的信息处理系统具有过滤装置100、定量装置(分析装置)200和信息处理装置300。过滤装置100相当于图1所示的过滤装置20。进而，在过滤装置100连接有通知部110。通知部110在从将粒子捕捉膜(图1所示的微粒捕捉膜22，以下相同)微安装于过滤装置100之后经过了给定的期间时，例如进行表示该意思的通知等给定的通知。或者，在微粒捕捉膜安装于过滤装置100之后，在与过滤装置100相比配置于下游的累计流量计(图1所示的累计流量计27，以下相同)计测到的累计值为给定值时，通知部110例如进行表示该意思的通知等给定的通知。另外，过滤装置100还包括图1所示的累计流量计27。此时，通知部110进行催促从过滤装置100卸下微粒捕捉膜的通知。另外，通知部110也可以设置在过滤装置100内部。另外，通知部110也可以显示于具备信息显示功能的其他终端装置等装置。
36.定量装置200进行捕捉了微粒的微粒捕捉膜的定量分析。定量分析的具体方法如上所述。关于作为定量分析的对象的微粒捕捉膜的确定方法，在后面叙述。
37.图5是表示图4所示的信息处理装置300的内部结构的一例的图。如图5所示，图4所示的信息处理装置300包括输入部310、数据库320、检索部330和输出部350。另外，在图5中，
仅示出了图4所示的信息处理装置300所具备的构成要素中的与本方式相关的主要要素。
38.输入部310基于从外部受理的操作将输入信息输入到信息处理装置300。具体而言，输入部310受理来自外部的给定的操作，并基于受理的操作来输入信息。作为输入部310输入的信息，例如可以举出在半导体器件制造工艺中检测到晶片的不良而判断为需要进行与使用了晶片清洗水的时期对应的通水期间的微粒捕捉膜试样的定量分析的情况下，指示微粒捕捉膜试样的检索的信息。输入部310例如可列举键盘、鼠标、触摸面板等。另外，输入部310也可以显示催促输入给定的信息的gui(graphical user interface：图形用户界面)，并基于按照该显示进行的操作来输入信息。另外，在过滤装置100中记录的信息、通知部110通知的信息也可以向信息处理装置300发送，输入部310通过接收发送来的信息来进行输入。
39.数据库320将期间信息与捕捉膜识别信息建立对应地存储为捕捉膜信息。期间信息表示微粒捕捉膜安装于流通管的期间(通水于微粒捕捉膜的期间)。另外，期间信息包含向微粒捕捉膜开始通水的日期时间、结束通水的日期时间等信息。捕捉膜识别信息是微粒捕捉膜固有地赋予的信息。另外，数据库320将设置信息与捕捉膜信息建立对应地存储。设置信息是安装了(安装有)微粒捕捉膜的过滤装置100的信息。另外，信息在数据库320中的登记方法没有特别限定。例如，在登记期间信息的情况下，也可以在开闭阀12开闭的时刻，向数据库320发送包含该日期时间的信息，作为期间信息进行存储(登记)。另外，在登记期间信息的情况下，也可以在分析对象水开始流过累计流量计27的时刻和流动结束的时刻，向数据库320发送包含该日期时间的信息，作为期间信息进行存储(登记)。另外，在登记捕捉膜识别信息的情况下，也可以对微粒捕捉膜22附加条形码、二维码等识别用标签，读码器(读取装置)读取附加的识别用标签，将读取到的信息向数据库320发送，作为捕捉膜信息进行存储(登记)。
40.图6是表示图5所示的数据库320中存储的设置信息与捕捉膜信息的对应关系的一例的图。在图5所示的数据库320中，如图6所示，将能够识别安装有微粒捕捉膜的过滤装置100的位置的“顾客no.”、“系统no.”及“装置no.”与“捕捉膜信息”建立对应地存储。“顾客no.”、“系统no.”以及“装置no.”合起来作为设置信息。“顾客no.”是安装有微粒捕捉膜的过滤装置100设置的对顾客固有地赋予的顾客识别信息。“系统no.”是对顾客的设施构建的系统固有地赋予的系统识别信息。“装置no.”表示过滤装置100设置于该系统内的哪个装置，是对所设置的装置固有地赋予的装置识别信息。如此，通过使用“顾客no.”、“系统no.”以及“装置no.”，能够确定安装有微粒捕捉膜的过滤装置100的设置位置。关于“捕捉膜信息”的详细情况在后面叙述。
41.例如，如图6所示，将顾客no.“a001”、系统no.“1”、装置no.“1”、捕捉膜信息“a001-1-1”建立对应地存储。这表示在被赋予了顾客识别信息“a001”的顾客的设施中构建的赋予了系统识别信息“1”的系统中设置的赋予了装置识别信息“1”的装置中，安装有(安装了)捕捉膜信息“a001-1-1”表示的微粒捕捉膜。另外，将顾客no.“a001”、系统no.“1”、装置no.“2”、捕捉膜信息“a001-1-2”建立对应地存储。这表示在被赋予了在被赋予顾客识别信息“a001”的顾客的设施中构建的赋予了系统识别信息“1”的系统中设置的赋予了装置识别信息“2”的装置中，安装有(安装了)捕捉膜信息“a001-1-2”表示的微粒捕捉膜。另外，将顾客no.“a001”、系统no.“2”、装置no.“1”、捕捉膜信息“a001-2-1”建立对应地存储。这表示在被
赋予了顾客识别信息“a001”的顾客的设施中构建的赋予了系统识别信息“2”的系统中设置的赋予了装置识别信息“1”的装置中，安装有(安装了)捕捉膜信息“a001-2-1”表示的微粒捕捉膜。另外，将顾客no.“a001”、系统no.“2”、装置no.“2”、捕捉膜信息“a001-2-2”建立对应地存储。这表示在被赋予了顾客识别信息“a001”的顾客的设施中构建的赋予了系统识别信息“2”的系统中设置的赋予了装置识别信息“2”的装置中，安装有(安装了)捕捉膜信息“a001-2-2”表示的微粒捕捉膜。
42.图7是表示图5所示的数据库320中存储的期间信息与捕捉膜识别信息的对应关系的一例的图。该对应关系是上述的捕捉膜信息。图7所示的捕捉膜信息是图6所示的捕捉膜信息之一(捕捉膜信息“a001-1-1”)。如图6所示，在数据库320中存储有9个捕捉膜信息的情况下，在数据库320中存储9个如图7所示的对应关系的捕捉膜信息。因此，例如，图7所示的捕捉膜信息相当于图6所示的捕捉膜信息之一“a001-1-1”。
43.在图5所示的数据库320中，如图7所示，将“期间”、“流量[l]”、“捕捉膜no.”建立对应，作为1个捕捉膜信息进行存储。“期间”是表示微粒捕捉膜安装于过滤装置100的期间的期间信息。“流量[l]”是该期间的通水的累计量。“捕捉膜no.”是对该微粒捕捉膜固有地赋予的捕捉膜识别信息。应予说明，流量是在该期间累计流量计测量出的累计值。
[0044]
例如，如图7所示，将期间“2019/5/1～2019/5/5”、流量“1000[l]”、捕捉膜no.“a00010001”建立对应地存储。这表示被赋予了捕捉膜识别信息“a00010001”的微粒捕捉膜在2019年5月1日到2019年5月5日这5天安装于过滤装置100，在该期间，流过该微粒捕捉膜的分析对象水的通水量为1000[l]。另外，将期间“2019/5/6～2019/5/10”、流量“980[l]”、捕捉膜no.“a00020001”建立对应地存储。这表示被赋予了捕捉膜识别信息“a00020001”的微粒捕捉膜在2019年5月6日到2019年5月10日这5天安装于过滤装置100，在该期间，流过该微粒捕捉膜的分析对象水的通水量为980[l]。另外，将期间“2019/5/11～2019/5/15”、流量“1000[l]”、捕捉膜no.“a00030001”建立对应地存储。这表示被赋予了捕捉膜识别信息“a00030001”的微粒捕捉膜在2019年5月11日到2019年5月15日这5天安装于过滤装置100，在该期间，流过该微粒捕捉膜的分析对象水的通水量为1000[l]。另外，将期间“2019/5/16～2019/5/20”、流量“990[l]”、捕捉膜no.“a00040001”建立对应地存储。这表示被赋予了捕捉膜识别信息“a00040001”的微粒捕捉膜在2019年5月16日到2019年5月20日的5天安装于过滤装置100，在该期间，流过该微粒捕捉膜的分析对象水的通水量为990[l]。这些对应关系在各个微粒捕捉膜从过滤装置100卸下之后被登记并存储。该登记方法也可以从过滤装置100向信息处理装置300发送这些信息并进行登记。另外，该登记方法也可以经由其他介质进行登记。另外，在图5所示的例子中，作为期间信息的“期间”仅表示表示日期的信息，但也包含表示包含定时(时间)在内的日期时间的信息。即，在期间信息中包含表示微粒捕捉膜安装于过滤装置100的日期时间的信息和表示微粒捕捉膜从过滤装置100卸下的日期时间的信息。
[0045]
检索部330基于由输入部310输入的输入信息中包含的日期时间信息(在产品产生了问题时，与产品使用了水的时期有关的信息)，从数据库320检索捕捉膜识别信息。具体而言，检索部330从数据库320检索包含由输入部310输入的输入信息在内的日期时间信息所表示的日期时间包含的期间，并从数据库320检索与检索到的期间建立对应的捕捉膜识别信息。此时，检索部330基于输入部310输入的输入信息中包含的过滤装置的设置信息，从数
据库320检索捕捉膜信息，基于检索到的捕捉膜信息和日期时间信息，从数据库320检索捕捉膜识别信息。例如，在输入信息中包含的设置信息的顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、装置no.为“1”、日期时间信息为“2019年5月3日”的情况下，检索部330从数据库320检索顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、装置no.为“1”的捕捉膜信息，从检索到的捕捉膜信息“a001-1-1”的对应关系中检索与包含日期时间信息“2019年5月3日”在内的期间的期间“2019/5/1～2019/5/5”建立了对应的捕捉膜no.“a00010001”。
[0046]
另外，也可以在数据库320中预先登记顾客的设施中的系统的结构，检索部330基于该系统的结构进行检索。即，例如，如果认为顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“1”的装置与顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置有可能由于该系统的结构而相互影响，则即使输入信息中包含的设置信息的顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、装置no.为“1”，检索部330也可以检索关于顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置的捕捉膜信息。在此，为了判定是否相互影响，也可以基于系统的结构和过去的判定结果，使用机器学习来生成判定模型，使用该判定模型进行判定。例如，在将顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“1”的装置与顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置串联排列设置的情况下、或根据过去的分析结果确认到相互的分析结果有关联性的情况下等，可以判定为相互有影响。如此，通过对相互有影响的装置进行分析，在产品不良的原因是包含于超纯水中的污染物质的情况下，能够确定设置于系统的系统的多个装置中的哪个装置产生污染物质、即产生污染物质的装置。
[0047]
输出部350输出由检索部330检索到的捕捉膜识别信息。输出部350进行的捕捉膜识别信息的输出方法例如可以是向其他装置发送，也可以是画面显示、声音输出、印刷。
[0048]
以下，对图4所示的信息处理系统中的信息处理方法进行说明。图8是用于说明图4所示的信息处理系统中的信息处理方法中过滤装置100中的处理的一例的流程图。
[0049]
首先，将微粒捕捉膜安装于过滤装置100(步骤s11)。接着，向流通管11开始通水(步骤s12)。此时，在微粒捕捉膜安装于过滤装置100之后，将图1所示的流量调整用阀23的开度从全开状态向关闭方向调整，开始向微粒捕捉膜通水。
[0050]
之后，判定是否达到通水结束的定时(步骤s13)。在此，在从通水的开始经过了给定的期间的情况下，或者在通水量的累计值达到了给定值的情况下，判定为达到通水结束的定时。给定的期间的经过也可以使用计时器来进行。另外，通水量的累计值的测定也可以使用累计流量计来进行。在成为这些定时的情况下，通知部110也可以通过显示等向系统的管理者、运用者、维护人员(以下，称为管理者等)通知检测到该定时的意思。之后，向微粒捕捉膜的通水结束(步骤14)。此时，将图1所示的流量调整用阀23的开度设为全开的状态。另外，接收到通知的人调整流量调整用阀23的开度。然后，从过滤装置100取下微粒捕捉膜(步骤s15)。此时，在过滤装置100上安装新的微粒捕捉膜。另外，计时器或累计流量计在微粒捕捉膜安装于过滤装置100(更换微粒捕捉膜)时被复位。需要说明的是，从为了更换微粒捕捉膜的过滤装置100而停止通水的定时到通水开始的定时为止的时间以能够确保相对于微粒捕捉膜的通水期间的连续性的方式尽可能变短。
[0051]
将所卸下的微粒捕捉膜的通水期间等信息存储于信息处理装置300的数据库320。所存储的信息是图7所示的信息，按每1个微粒捕捉膜将多个信息分别相互建立对应地存储。该存储经由信息处理装置300的输入部310进行。另外，卸下的微粒捕捉膜被赋予捕捉膜
识别信息并保管在给定的保管场所。
[0052]
之后，若需要定量分析，则对信息处理装置300进行检索请求。在此，在使用作为分析对象水的超纯水进行制造的产品等产生不良，确认该不良的原因是否是超纯水的水质的情况下，需要进行定量分析。在该情况下，需要检索并取出作为对象的微粒捕捉膜试样(即，在产品产生了问题时与产品使用了水的时期对应的通水期间通水的微粒捕捉膜试样)。
[0053]
图9是用于说明图4所示的信息处理系统中的信息处理方法中信息处理装置300中的检索处理的一例的流程图。
[0054]
输入部310判定是否存在微粒捕捉膜的检索的请求(步骤s21)。该请求可以是系统的管理者等对输入部310进行用于请求微粒捕捉膜的检索的给定的操作，并基于输入部310受理的操作的请求。在该给定的操作中包含作为对象的装置(不良发生的装置)的设置信息和日期时间信息。输入部310将输入的信息中的设置信息和日期时间信息输出到检索部330。检索部330基于从输入部310输出的设置信息和日期时间信息，从数据库320检索捕捉膜识别信息(步骤s22)。具体而言，例如，检索部330基于从输入部310输出的设置信息，从数据库320检索捕捉膜信息。然后，检索部330从数据库320中检索与检索到的捕捉膜信息中的、包含从输入部310输出的日期时间信息在内的期间建立了对应的捕捉膜识别信息。如此，输出部350输出检索部330检索到的捕捉膜识别信息(步骤s23)。
[0055]
之后，管理者等从保管场所确保被赋予了从输出部350输出的捕捉膜识别信息的微粒捕捉膜，并使用定量装置200进行定量。然后，使用定量分析的结果和累计流量计测量出的累计值来计算分析对象水中的微粒浓度。定量的结果、分析对象水中的微粒浓度从管理者等向期望的提供目的地提供。
[0056]
如此，在进行水质管理的系统中，在给定的定时卸下具备微粒捕捉膜的过滤装置。保管卸下的过滤装置所具备的微粒捕捉膜，从保管的微粒捕捉膜中检索安装在所指定的设置场所及期间的过滤装置的微粒捕捉膜。进行所检索的微粒捕捉膜的定量分析，提供其结果。因此，能够识别所指定的场所以及日期时间的分析对象水的处理状态。(第二系统例)
[0057]
图10是表示利用了图1所示的过滤装置20的信息处理系统的第二例的图。在此，对使用定量装置作为分析装置进行微粒的定量分析的情况进行说明。在进行微粒的分析时，可以使用定性装置进行定性分析，也可以使用定量装置和定性装置进行定量分析和定性分析。
[0058]
图10所示的信息处理系统包括过滤装置101、定量装置(分析装置)201和信息处理装置301。过滤装置101相当于图1所示的过滤装置20。另外，过滤装置101将微粒捕捉膜向流通管安装的日期时间信息、从流通管卸下的日期时间信息、微粒捕捉膜的识别信息向信息处理装置301发送。此外，在过滤装置101上连接有通知部110。通知部110在过滤装置101所具备的微粒捕捉膜安装于流通管之后经过了给定的期间时，例如进行表示该意思的通知等给定的通知。或者，通知部110在过滤装置101所具备的微粒捕捉膜安装于流通管之后，在过滤装置101所具备的累计流量计所测量的累计值成为给定值时，例如进行表示该意思的通知等给定的通知。此时，通知部110进行催促从流通管卸下微粒捕捉膜的通知。另外，通知部110也可以设置在过滤装置101内部。另外，通知部110也可以显示于具备信息显示功能的其他终端装置等装置。
[0059]
定量装置201进行微粒捕捉膜捕捉到的微粒的定量分析。定量分析的具体方法如上所述。关于作为定量分析的对象的微粒捕捉膜的确定方法，在后面叙述。定量装置201将进行了定量分析的结果提供给信息处理装置301。该提供方法可以从定量装置201向信息处理装置301发送表示分析结果的信息，也可以经由其他介质提供。
[0060]
图11是表示图10所示的信息处理装置301的内部结构的一例的图。如图11所示，图10所示的信息处理装置301包括输入部311、数据库321、检索部331、提取部341和输出部351。另外，在图11中，仅示出了图10所示的信息处理装置301所具备的构成要素中的与本方式相关的主要要素。
[0061]
输入部311基于从外部受理的操作将输入信息输入到信息处理装置301。具体而言，输入部311受理来自外部的给定的操作，并基于受理的操作来输入信息。作为输入部311输入的信息，例如可以举出在半导体器件制造工序中检测到晶片的不良，判断为需要进行与使用了晶片清洗水的时期对应的通水期间的微粒捕捉膜试样的定量分析的情况下，指示微粒捕捉膜试样的检索的信息。输入部311例如可举出键盘、鼠标、触摸面板等。另外，输入部311也可以显示促使输入给定的信息的gui，并基于按照该显示进行的操作来输入信息。另外，也可以将过滤装置101中记录的信息、通知部110通知的信息向信息处理装置301发送，输入部311通过接收发送来的信息来进行输入。
[0062]
数据库321将期间信息与捕捉膜识别信息建立对应地存储为捕捉膜信息。期间信息表示通水期间(包括向微粒捕捉膜开始通水的日期时间、结束通水的日期时间等)。捕捉膜识别信息是对微粒捕捉膜固有地赋予的识别信息。另外，数据库321将设置信息与捕捉膜信息建立对应地存储。设置信息是安装了(安装有)微粒捕捉膜的过滤装置101的信息。这些信息的存储方式与图6及图7所示的方式相同。另外，数据库321例如也可以在产品产生问题时判断为需要与产品使用了水的时期对应的通水期间的微粒捕捉膜试样的定量分析而进行定量分析的情况下，存储从定量装置201发送来的分析结果。此时，从定量装置201发送来的分析结果经由输入部311存储于数据库321。
[0063]
检索部331根据输入部311输入的输入信息中包含的日期时间信息，从数据库321检索捕捉膜识别信息。具体而言，检索部331从数据库321中检索包含输入部311输入的输入信息在内的日期时间信息所表示的日期时间所包含的期间，并从数据库321中检索与检索到的期间建立了对应的捕捉膜识别信息。此时，检索部331根据输入部311输入的输入信息中包含的过滤装置的设置信息，从数据库321中检索捕捉膜信息。然后，检索部331根据检索到的捕捉膜信息和日期时间信息，从数据库321中检索捕捉膜识别信息。例如，在输入信息中包含的设置信息的顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、装置no.为“1”、日期时间信息为“2019年5月3日”的情况下，检索部331从数据库321检索顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、装置no.为“1”的捕捉膜信息，根据检索到的捕捉膜信息“a001-1-1”的对应关系，检索与包含日期时间信息“2019年5月3日”在内的期间的期间“2019/5/1～2019/5/5”建立了对应的捕捉膜no.“a00010001”。
[0064]
另外，也可以在数据库321中预先登记顾客的设施中的系统的结构，检索部331根据该系统的结构进行检索。即，例如，如果认为顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“1”的装置与顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置有可能由于该系统的结构而相互影响，则即使输入信息中包含的设置信息的顾客no.为“a001”、系统no.为“1”、即使装置no.
为“1”，检索部331也可以检索关于顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置的捕捉膜信息。在此，为了判定是否相互影响，也可以基于系统的结构和过去的判定结果，使用机器学习来生成判定模型，使用该判定模型进行判定。例如，在将顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“1”的装置与顾客no.“a001”、系统no.“1”及装置no.“2”的装置串联排列设置的情况下、或根据过去的分析结果确认到相互的分析结果有关联性的情况下等，可以判定为相互有影响。如此，对相互有影响的装置进行分析。由此，在产品不良的原因是包含于超纯水中的污染物质的情况下，能够确定设置于系统的系统的多个装置中的哪个装置产生污染物质、即产生污染物质的装置。
[0065]
提取部341针对被赋予了由检索部331检索到的捕捉膜识别信息的微粒捕捉膜，根据由定量装置201提供(发送)的定量分析的结果，提取作为与输入信息对应的信息的提供信息。在此，输入信息例如也可以包含具体的分析内容。在该情况下，提取部341从定量装置201进行的定量分析的结果中提取与输入信息中包含的分析内容相应的结果。在数据库321中存储有从定量装置201提供(发送)的定量分析的情况下，提取部341从数据库321中存储的定量分析的结果中提取与输入信息对应的信息即提供信息。
[0066]
输出部351输出由检索部331检索到的捕捉膜识别信息。输出部351对被赋予了由检索部331检索到的捕捉膜识别信息的微粒捕捉膜，将定量装置201进行的定量分析的结果作为提供信息输出。另外，在提取部341从定量装置201进行的定量分析的结果中提取了作为与输入信息相应的信息的提供信息的情况下，输出部351输出提取部341提取出的提供信息。输出部351进行的提供信息的输出方法例如可以是向其他装置的发送，也可以是画面显示、声音输出、印刷、点亮或闪烁给定的灯。
[0067]
图12是用于说明图10所示的信息处理系统中的信息处理方法的一例的序列图。
[0068]
首先，微粒捕捉膜安装于过滤装置101，向过滤装置101开始通水(步骤s1)。此时，在微粒捕捉膜安装于过滤装置101之后，将图1所示的流量调整用阀23的开度从全开状态向关闭方向调整，开始向微粒捕捉膜通水。之后，若经过给定的期间，或者若图1所示的累计流量计27测定出的累计值达到给定值，则向过滤装置101的通水结束。向该过滤装置101的通水的结束不是将给定的期间的经过或累计值达到给定值的检测作为直接的触发点来进行处理，而是这些检测启动其意思的通知处理，接收到该通知的人调整流量调整用阀23的开度，从而结束向过滤装置101的通水。此时，将图1所示的流量调整用阀23的开度设为全开的状态。在此，过滤装置101也可以具有计时器，测定从向微粒捕捉膜的通水开始起的时间，在经过了预先设定的时间时，通知部110通知该意思，结束向过滤装置101的通水。另外，也可以在累计流量计测定到的累计值成为预先设定的值时，通知部110通知该意思，结束向过滤装置101的通水。通知部110进行的通知也可以是针对系统的管理者等的通知，这些人将流量调整用阀23的开度设为全开的状态而结束通水。通知部110进行的通知也可以是针对流量调整用阀23的通知，流量调整用阀23自动成为全开的状态而结束通水。然后，从过滤装置101卸下微粒捕捉膜(步骤s2)。此时，在过滤装置101上安装新的微粒捕捉膜。另外，计时器或累计流量计在微粒捕捉膜安装于过滤装置101(更换微粒捕捉膜)时被复位。
[0069]
之后，将卸下的微粒捕捉膜的信息提供给信息处理装置301(步骤s3)。所提供的信息是卸下的微粒捕捉膜的期间信息、累计流量计所测定的累计值、微粒捕捉膜的捕捉膜识别信息以及未安装微粒捕捉膜的过滤装置101的设置信息。这些信息的提供方法可以是过
滤装置101向信息处理装置301发送这些信息来提供的方法，也可以是经由其他的介质提供的方法。需要说明的是，向信息处理装置301提供微粒捕捉膜的信息的定时也可以在步骤s1之后。在该情况下所提供的信息是表示微粒捕捉膜安装于过滤装置101且向过滤装置101开始通水的日期时间的信息。如此，以信息处理装置301进行存储处理(步骤s4)。另外，卸下后的微粒捕捉膜以能够使用该捕捉膜识别信息进行确定的方式保管在给定的场所。
[0070]
接着，当信息处理装置301向定量装置201指示定量分析时(步骤s5)，定量装置201进行定量分析(步骤s6)。此时，信息处理装置301指定捕捉膜识别信息并对定量装置201指示定量分析，定量装置201进行被赋予了所指示的捕捉膜识别信息的微粒捕捉膜捕捉到的微粒的定量分析。该定量分析的指示方法可以是信息处理装置301向定量装置201发送表示请求定量分析的意思的信息来进行指示的方法，也可以是经由其他的介质提供的方法。当定量分析结束时，定量装置201将其结果提供给信息处理装置301(步骤s7)。该定量分析的结果的提供方法可以是定量装置201向信息处理装置300发送表示定量分析的结果的信息来提供，也可以经由其他的介质提供。如此，信息处理装置301进行输出处理(步骤s8)。
[0071]
图13是用于说明使用图12所示的序列图说明的步骤s4的详细处理的一例的流程图。当在步骤s3中从过滤装置101提供信息时，数据库321将所提供的信息即期间信息(通水期间)、累计值、捕捉膜识别信息以及设置信息建立对应地存储(步骤s41)。该对应关系以图7及图8所示的方式进行存储。
[0072]
之后，输入部311判定是否存在定量分析的请求(步骤s42)。此时，输入部311在与从外部受理的操作对应的信息、从与外部连接的其他装置发送来的信息中包含请求定量分析的意思、设置信息以及日期时间信息的情况下，可以判定为存在定量分析的请求。在存在定量分析的请求的情况下，输入部311将输入的信息中的设置信息和日期时间信息输出到检索部331。检索部331根据从输入部311输出的设置信息和日期时间信息，从数据库321中检索捕捉膜识别信息(步骤s43)。具体而言，例如，检索部331根据从输入部311输出的设置信息，从数据库321中检索捕捉膜信息，从数据库321中检索与检索到的捕捉膜信息中的包含从输入部311输出的日期时间信息在内的期间建立了对应的捕捉膜识别信息。检索部331如果能够检索到捕捉膜识别信息，则指定检索到的捕捉膜识别信息并指示定量装置201进行定量分析(步骤s44)。
[0073]
图14是用于说明使用图12所示的序列图说明的步骤s8的详细处理的一例的流程图。当输入部311接收来自定量装置201的定量分析的结果时(步骤s71)，提取部341从由输入部311接收到的定量分析的结果中提取作为与输入信息对应的信息的提供信息(步骤s72)。有时也在输入信息中指定了定量分析的内容(例如，想要分析的微粒的种类)。在该情况下，提取部341从由定量装置201进行的定量分析的结果中提取输入信息中包含的分析内容。接着，输出部351输出由提取部341提取出的提供信息(步骤s73)。另外，定量装置201也可以使用定量分析的结果和累计流量计测量出的累计值来计算分析对象水中的微粒浓度，使输入部311接收分析对象水中的微粒浓度。
[0074]
如此，在进行水质管理的系统中，在给定的定时更换安装于过滤装置的微粒捕捉膜。保管所卸下的微粒捕捉膜，从保管的微粒捕捉膜中检索在指定的设置场所及期间安装的微粒捕捉膜。进行检索到的微粒捕捉膜的定量分析，输出其结果。因此，能够识别出指定的场所及日期时间的分析对象水的处理状态。
[0075]
以上，使各构成要素分担各功能(处理)而进行了说明，但该分配并不限定于上述的分配。另外，关于构成要素的构成，上述的方式只不过是例子，并不限定于此。另外，本发明除了进行水处理的系统以外，还能够应用于对液体中的微粒的含量进行控制、管理的系统。
[0076]
上述信息处理装置300、301进行的处理也可以通过根据目的而分别制作的逻辑电路来进行。另外，也可以将以处理内容为顺序记述的计算机程序(以下，称为程序)记录在以信息处理装置300、301能够读取的记录介质中，使信息处理装置300、301读入并执行记录在该记录介质中的程序。以信息处理装置300、301能够读取的记录介质是指floppy(注册商标)盘、光磁盘、dvd(digital versatile disc)、cd(compact disc)、blu-ray(注册商标)disc、usb(universal serial bus：通用串行总线)存储器等可移设的记录介质、以及内置于信息处理装置300、301的rom(read only memory：只读存储器)、ram(random access memory：随机存取存储器)等存储器、hdd(hard disc drive：硬盘驱动器)等。记录于该记录介质的程序由设置于信息处理装置300、301的cpu读入，通过cpu的控制，进行与上述相同的处理。在此，cpu作为执行从记录有程序的记录介质读入的程序的计算机而动作。
[0077]
以上，参照实施方式对本发明进行了说明，但本技术发明并不限定于上述实施方式。本技术发明的构成、详细内容能够在本技术发明的范围内进行本领域技术人员能够理解的各种变更。
[0078]
本技术以2020年4月3日提出申请的日本技术特愿2020-067756为基础主张优先权，将其公开内容的全部援引于本技术。