感光化射线性或感放射线性树脂组合物、图案形成方法、抗蚀剂膜及电子器件的制造方法与流程

技术特征：
1.一种感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其包含：包含锍阳离子的盐，所述锍阳离子具有被含有酸分解性基团的基团取代的芳基且具有至少3个氟原子；及树脂，其通过酸的作用进行分解而极性增大，所述含有酸分解性基团的基团包含通过酸的作用进行分解而极性增大的基团，所述含有酸分解性基团的基团不包含氟原子。2.根据权利要求1所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，所述锍阳离子为三芳基锍阳离子。3.根据权利要求1或2所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，所述通过酸的作用进行分解而极性增大的基团是由通式(a-1)或(a-2)表示的基团，通式(a-1)中，r
a1
表示任选地具有不含氟原子的取代基的直链状或支链状的烷基或任选地具有不含氟原子的取代基的环烷基，*表示键合位置，通式(a-2)中，r
a2
表示任选地具有不含氟原子的取代基的直链状或支链状的烷基或任选地具有不含氟原子的取代基的环烷基，r
a3
表示氢原子、任选地具有不含氟原子的取代基的直链状或支链状的烷基或任选地具有不含氟原子的取代基的环烷基，r
a2
及r
a3
任选地彼此键合而形成环，*表示键合位置。4.根据权利要求3所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，所述通过酸的作用进行分解而极性增大的基团是由所述通式(a-1)表示的基团。5.根据权利要求1至4中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，所述锍阳离子具有1个所述通过酸的作用进行分解而极性增大的基团。6.根据权利要求1至5中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，所述锍阳离子包含被选自氟原子及氟烷基中的至少一种取代的芳基。7.根据权利要求1至6中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物，其中，包含所述锍阳离子的盐具有2个以上的阳离子部位及与所述阳离子部位相同数量的阴离子部位，所述阳离子部位中的至少一个为所述锍阳离子。8.一种抗蚀剂膜，其是使用权利要求1至7中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成的。9.一种图案形成方法，其具有如下工序：使用权利要求1至7中任一项所述的感光化射线性或感放射线性树脂组合物在基板上形成抗蚀剂膜的工序；
对所述抗蚀剂膜进行曝光的工序；以及使用显影液对经所述曝光的抗蚀剂膜进行显影并形成图案的工序。10.一种电子器件的制造方法，其包括权利要求9所述的图案形成方法。

技术总结
本发明提供一种能够获得LWR性能优异的图案的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。并且，提供一种与上述感光化射线性或感放射线性树脂组合物相关的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法。感光化射线性或感放射线性树脂组合物包含：包含锍阳离子的盐，所述锍阳离子具有被含有酸分解性基团的基团取代的芳基且具有至少3个氟原子；及树脂，其通过酸的作用进行分解而极性增大，含有酸分解性基团的基团包含通过酸的作用进行分解而极性增大的基团，含有酸分解性基团的基团不包含氟原子。含有酸分解性基团的基团不包含氟原子。


技术研发人员：牛山爱菜 小岛雅史 后藤研由 白川三千纮
受保护的技术使用者：富士胶片株式会社
技术研发日：2021.03.02
技术公布日：2022/10/25