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一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机的制作方法

2022-10-25 17:04:25 来源:中国专利 TAG:


1.本实用新型涉及硅片加工技术领域,具体为一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机。


背景技术:

2.金钢线切片机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式,使金刚石线与被切割物件间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的,金钢线切片机广泛用于单晶硅片的切割。由于金钢线的高速运动,其在切割时会产生大量的热,因此在切割时需要使用冷却液对金钢线进行冷却,但是现有的切片机在切割时,没有对冷却液进行回收,进而浪费了冷却液,增加了硅片切割的成本,实用性差,为此,我们提出一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,以解决上述背景技术中提出的无法回收冷却液的问题。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
5.一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,包括两组平行设置的转棍,且转棍上饶有金刚线,所述金刚线上设有硅柱,所述金刚线的下方设有接水框,所述接水框的外侧壁设有安装板,且安装板上安装有竖板,所述竖板呈竖直方向设置,且竖板的内侧面设有若干组喷头,所述接水框的一侧设有回流组件。
6.进一步的:所述安装板的外侧设有水箱,所述水箱的上表面设有水泵,且水泵通过进水管连通水箱,所述水泵的出水口通过出水管连通喷头。
7.进一步的:所述回流组件包括泵体,所述泵体位于水箱的后侧,且泵体通过回流管与水箱连通,所述泵体通过水管与接水框连通。
8.进一步的:所述接水框呈u字型,且开口端正对金刚线的下方。
9.进一步的:所述接水框内由上到下依次安装有第二过滤网、第一过滤网。
10.进一步的:所述接水框的两侧内壁安装有u型安装座,相邻所述u型安装座之间依次安装有第一过滤网、第二过滤网。
11.进一步的:所述u型安装座的内壁嵌入式设有交错分布的纹路。
12.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
13.1、本实用新型通过水泵将水箱内的冷却液送到喷头内,实现对切割硅片的冷却散热,延长了切片机的使用寿命,且通过泵体可以将接水框内的冷却液送到水箱内进行存储,可以回流并二次利用冷却液,降低了硅片加工的成本,实用性好。
14.2、位于接水框内的第一过滤网和第二过滤网可以过滤回流的冷却液中的杂质,避免回流液中的杂质二次使用时出现堵塞的情况,且第一过滤网和第二过滤网通过u型安装座安装的,方便第一过滤网和第二过滤网的拆装更换,使用效果好。
附图说明
15.图1为本实用新型结构示意图;
16.图2为本实用新型另一面结构示意图;
17.图3为本实用新型接水框内部结构示意图。
18.图中:1、转棍;2、金刚线;3、接水框;4、硅柱;5、竖板;6、喷头;7、水箱;8、安装板;10、水泵;11、进水管;12、出水管;13、泵体;14、回流管;15、水管;16、u型安装座;17、第一过滤网;18、第二过滤网。
具体实施方式
19.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
20.实施例1:
21.请参阅图1和图2,本实用新型提供一种技术方案:一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,包括两组平行设置的转棍1,且转棍1上饶有金刚线2,金刚线2上设有硅柱4,金刚线2的下方设有接水框3,接水框3的外侧壁设有安装板8,且安装板8上安装有竖板5,竖板5呈竖直方向设置,且竖板5的内侧面设有若干组喷头6,接水框3的一侧设有回流组件,本实用新型的硅片切割为现有技术,在此不做说明,接水框3可以接收用于散热的冷却液,使用前,本装置的用电设备连通外部电源和控制开关,启动后,将冷却液(可以为水)送到喷头6内,实现对切割硅片的散热工作,延长了切片机的使用寿命,通过回流组件可以回收冷却液,二次利用了冷却液,降低了硅片切割的成本。
22.请参照图1和图2,其中,优选的,安装板8的外侧设有水箱7,水箱7的上表面设有水泵10,且水泵10通过进水管11连通水箱7,水泵10的出水口通过出水管12连通喷头6,水泵10启动后,将水箱7内的水通过出水管12送到喷头6内,实现对切割硅片的散热工作。
23.请参照图2,优选的,回流组件包括泵体13,泵体13位于水箱7的后侧,且泵体13通过回流管14与水箱7连通,泵体13通过水管15与接水框3连通。泵体13工作时,将接水框3内的水通过水管15和回流管14送到水箱7内,实现对冷却液的储存工作,二次利用了冷却液。
24.请参照图1和图3,优选的,接水框3呈u字型,且开口端正对金刚线2的下方。
25.请参照图3,优选的,接水框3内由上到下依次安装有第二过滤网18、第一过滤网17,第一过滤网17和第二过滤网18的滤口大小不一致,可以起到多重过滤的作用,第一过滤网17和第二过滤网18可以过滤回流冷却液中的杂质,避免杂质出现堵塞的情况。
26.请参照图3,优选的,接水框3的两侧内壁安装有u型安装座16,相邻u型安装座16之间依次安装有第一过滤网17、第二过滤网18,u型安装座16安装的第一过滤网17、第二过滤网18便于拆装。
27.实施例2:
28.参照图3,该实施例不同于第一个实施例的是:u型安装座16的内壁嵌入式设有交错分布的纹路,纹路增大了与第一过滤网17和第二过滤网18的摩擦力,第一过滤网17和第二过滤网18连接在u型安装座16内时更稳定。
29.工作原理:在使用本实用新型时,首先,将本装置的用电设备连通外部电源和控制开关,然后,水箱7内放入冷却液,水泵10工作,将水箱7内的水通过出水管12送到喷头6内,实现对硅片切割的冷却,延长了硅片切割的使用寿命,实用性好,泵体13启动时,通过水管15将接水框3内的冷却液送到水箱7内,回收了冷却液并二次利用了冷却液,降低了硅片切割的成本,实用性好。
30.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,包括两组平行设置的转棍(1),且转棍(1)上饶有金刚线(2),其特征在于:所述金刚线(2)上设有硅柱(4),所述金刚线(2)的下方设有接水框(3),所述接水框(3)的外侧壁设有安装板(8),且安装板(8)上安装有竖板(5),所述竖板(5)呈竖直方向设置,且竖板(5)的内侧面设有若干组喷头(6),所述接水框(3)的一侧设有回流组件。2.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述安装板(8)的外侧设有水箱(7),所述水箱(7)的上表面设有水泵(10),且水泵(10)通过进水管(11)连通水箱(7),所述水泵(10)的出水口通过出水管(12)连通喷头(6)。3.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述回流组件包括泵体(13),所述泵体(13)位于水箱(7)的后侧,且泵体(13)通过回流管(14)与水箱(7)连通,所述泵体(13)通过水管(15)与接水框(3)连通。4.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述接水框(3)呈u字型,且开口端正对金刚线(2)的下方。5.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述接水框(3)内由上到下依次安装有第二过滤网(18)、第一过滤网(17)。6.根据权利要求1所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述接水框(3)的两侧内壁安装有u型安装座(16),相邻所述u型安装座(16)之间依次安装有第一过滤网(17)、第二过滤网(18)。7.根据权利要求6所述的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,其特征在于:所述u型安装座(16)的内壁嵌入式设有交错分布的纹路。

技术总结
本实用新型公开了硅片加工技术领域的一种基于金刚线快速切割的单晶硅片切片机,包括两组平行设置的转棍,且转棍上饶有金刚线,所述金刚线上设有硅柱,所述金刚线的下方设有接水框,所述接水框的外侧壁设有安装板,且安装板上安装有竖板,所述竖板呈竖直方向设置,且竖板的内侧面设有若干组喷头,所述接水框的一侧设有回流组件,本实用新型实现了对切割硅片的冷却散热,延长了切片机的使用寿命,且可以将接水框内的冷却液送到水箱内进行存储,可以回流并二次利用冷却液,降低了硅片加工的成本,实用性好。实用性好。实用性好。


技术研发人员:陈春成 戚建静 徐芳
受保护的技术使用者:江苏晶品新能源科技有限公司
技术研发日:2021.11.26
技术公布日:2022/10/24
再多了解一些

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