纯水中痕量杂质元素含量的测试方法与流程

技术特征：
1.一种纯水中痕量杂质元素含量的测试方法，其特征在于，包括：(1)将纯水与标准溶液混合，以便得到混合溶液；(2)将所述混合溶液进行浓缩，以便得到浓缩液；(3)将所述浓缩液称重，然后对所述浓缩液进行icp测试；(4)绘制工作曲线，进行数据处理，以便得到纯水中痕量杂质元素的含量，其中，在步骤(1)中，所述标准溶液的配制方法包括：将含b、na、mg、al、k、ca、p、cr、mn、fe、ni、cu、zn、as和pb的标准物质溶液混合，以便得到混合标准溶液，然后将混合标准溶液使用硝酸溶液进行逐级稀释，以便得到系列浓度为0ng/l～500ng/l的标准溶液。2.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(2)中，所述浓缩按照所述混合溶液与所述浓缩液的体积浓缩比为(7～1):(3～1)进行。3.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述纯水和所述标准溶液的体积比为(100～200)ml：(50～100)μl。4.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述含b、na、mg、al、k、ca、p、cr、mn、fe、ni、cu、zn、as和pb的标准溶液的浓度均为(800～1200)mg/l。5.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述混合标准溶液的浓度为(8～12)mg/l。6.根据权利要求1所述的测试方法，在步骤(1)中，所述硝酸溶液的浓度为1wt％～5wt％。7.根据权利要求6所述的测试方法，所述硝酸溶液选用质量分数为69％～71％的硝酸配制而成；任选地，所述硝酸中金属杂质含量浓度不大于8ng/l。8.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述标准溶液的浓度分别为0ng/l、40ng/l、80ng/l、120ng/l和160ng/l。9.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(3)中，所述icp测试满足以下条件中的至少之一：idl为0.5ppt；调谐溶液ce溶液、co溶液、li溶液、tl溶液和y溶液的浓度分别独立地为1μg/l；温度为18～22℃；相对湿度为35～60％。10.根据权利要求1所述的测试方法，其特征在于，在步骤(4)中，所述工作曲线的线性方程的相关系数不小于0.999。

技术总结
本发明公开了一种纯水中痕量杂质元素含量的测试方法，包括：(1)将纯水与标准溶液混合，以便得到混合溶液；(2)将混合溶液进行浓缩，以便得到浓缩液；(3)将浓缩液称重，然后对浓缩液进行ICP测试；(4)绘制工作曲线，进行数据处理，以便得到纯水中痕量杂质元素的含量，其中，在步骤(1)中，标准溶液的配制方法包括：将含B、Na、Mg、Al、K、Ca、P、Cr、Mn、Fe、Ni、Cu、Zn、As和Pb的标准物质溶液混合，以便得到混合标准溶液，然后将混合标准溶液使用硝酸溶液进行逐级稀释，以便得到系列浓度为0ng/L～500ng/L的标准溶液。由此，该测试方法可以消除基体效应干扰，提高测试结果的准确性，检出限可达到0.1ppt，从而满足半导体工艺对超纯水的检测要求。求。求。


技术研发人员：孔令群 赵培芝 田新 张天雨 齐丹丹
受保护的技术使用者：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
技术研发日：2022.06.22
技术公布日：2022/9/13