氟氮混合气中杂质含量分析系统的制作方法

技术特征：
1.一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，包括：第一六通阀(10)，其包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；第一定量杯(11)，其两端分别连接b1及e1阀门；第一载气单元(32)，连接c1阀门；顺序串联于d1阀门的第一反应炉(12)、第一三氧化铝吸附柱(13)以及13x分子筛(14)；第一反应气管道(33)，连接于d1阀门及所述第一反应炉(12)之间；第二六通阀(20)，其包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；第二定量杯(21)，其两端分别连接b2及e2阀门；第二载气单元(34)，连接c2阀门；顺序串联于d2阀门的第二反应炉(22)、第二三氧化铝吸附柱(23)以及porapak q柱(24)；第二反应气管道(35)，连接于d2阀门及所述第二反应炉(22)之间；顺序连接于所述13x分子筛(14)及所述porapak q柱(24)之后的tcd检测器(15)、甲烷转化炉(16)以及fid检测器(17)。2.如权利要求1所述的氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，所述第一定量杯(11)及所述第二定量杯(21)的容量相同，其容量为1～5毫升。3.如权利要求1所述的氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，所述第一载气单元(32)以及所述第二载气单元(34)为he气载气单元。4.如权利要求1所述的氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，所述13x分子筛(14)的长度为1.5米～4米，孔径为10a。5.如权利要求1所述的氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，所述porapak q柱(24)的长度为3米～6米。6.如权利要求1所述的氟氮混合气中杂质含量分析系统，其特征在于，所述第一反应炉(12)及第二反应炉(22)选用长度为0.1-0.3米的1/16管作为反应炉。

技术总结
本实用新型提供了一种氟氮混合气中杂质含量分析系统，包括：第一六通阀，包括a1阀门至f1阀门，且a1阀门连接待分析的氟气；第一定量杯，其两端分别连接b1及e1阀门；第一载气单元，连接c1阀门；顺序串联于d1阀门的第一反应炉、第一三氧化铝吸附柱以及13X分子筛；第一反应气管道，连接于d1阀门及第一反应炉之间；第二六通阀，包括a2阀门至f2阀门，且a2阀门连接f1阀门，且f2阀门连接排气管道；第二定量杯，其两端分别连接b2及e2阀门；第二载气单元，连接c2阀门；顺序串联于d2阀门的第二反应炉、第二三氧化铝吸附柱以及Porapak Q柱；第二反应气管道，连接于d2阀门及第二反应炉之间；顺序连接于13X分子筛及Porapak Q柱之后的TCD检测器、甲烷转化炉以及FID检测器。甲烷转化炉以及FID检测器。甲烷转化炉以及FID检测器。


技术研发人员：王凤侠 张晓明 傅玉榕 张丽萍 赖金香 李婷
受保护的技术使用者：福建德尔科技股份有限公司
技术研发日：2022.05.24
技术公布日：2022/9/5