测试用载具的制作方法

技术特征：
1.一种测试用载具，以收容有被测试电子部件dut的状态被搬运，所述测试用载具具备：dut吸附保持用的贯通孔，与所述dut对置配置；以及可动阀，伴随所述贯通孔的吸引而开闭所述贯通孔，所述可动阀在所述贯通孔的吸引时敞开所述贯通孔，而在所述贯通孔的非吸引时关闭所述贯通孔。2.根据权利要求1所述的测试用载具，其中，所述可动阀伴随所述贯通孔的吸引而移动或变形。3.根据权利要求1所述的测试用载具，其中，所述测试用载具具备：保持构件，保持所述dut；以及盖构件，覆盖所述dut，且能装卸地固定于所述保持构件，所述贯通孔以贯通所述盖构件的盖主体的方式形成于所述盖主体。4.根据权利要求3所述的测试用载具，其中，所述保持构件具备：多个触头，配置为与所述dut的端子相对应；多个外部端子，与所述触头电连接；以及保持主体，对所述触头及所述外部端子进行保持。5.根据权利要求4所述的测试用载具，其中，所述盖主体具有与所述dut接触的接触面，所述贯通孔的第一开口在所述接触面开口，所述dut夹持于所述接触面与所述触头之间。6.根据权利要求5所述的测试用载具，其中，所述贯通孔的第二开口在所述盖主体的与所述接触面相反一侧的面处开口，所述第二开口是所述贯通孔的与所述第一开口相反一侧的开口。7.根据权利要求1至6中任一项所述的测试用载具，其中，所述贯通孔具备：第一孔部；收容部，与所述第一孔部连接，且将所述可动阀能移动或变形地进行收容；以及第二孔部，经由所述收容部与所述第一孔部连接，所述可动阀在所述贯通孔的吸引时使所述第一孔部与所述第二孔部连通，而在所述贯通孔的非吸引时使所述第一孔部与所述第二孔部之间封闭。8.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述可动阀具有比所述第二孔部的内径大的外径，在所述贯通孔的非吸引时，所述可动阀覆盖所述第二孔部的所述收容部侧的第三开口。9.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述第一孔部与所述第二孔部配置为在透视俯视下彼此不重叠。10.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，
所述贯通孔具备多个所述第二孔部，该多个所述第二孔部经由所述收容部与所述第一孔部连接。11.根据权利要求10所述的测试用载具，其中，所述第一孔部具有圆形的截面形状，该多个所述第二孔部分别具有内径比所述第一孔部的内径小的圆形的截面形状，所述可动阀具有将该多个所述第二孔部包围在内的外径的圆形形状，所述收容部具有内径比所述可动阀的外径大的圆形的截面形状。12.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述可动阀具有比所述第一孔部的内径大且比所述第二孔部的内径大的外径，所述收容部具有比所述可动阀的外径大的内径，所述可动阀能在所述第一孔部与所述第二孔部之间移动地收容于所述收容部内。13.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述可动阀具备：第四开口；以及阀主体，形成有所述第四开口，所述第一孔部与所述第四开口对置配置，所述第二孔部与所述阀主体对置配置，在所述贯通孔的吸引时，所述第一孔部与所述收容部经由所述第四开口连通，在所述贯通孔的非吸引时，所述阀主体覆盖所述第二孔部的所述收容部侧的第三开口。14.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述可动阀由金属材料或树脂材料构成，是具有对于所述贯通孔的吸引而不变形的刚性的阀构件。15.根据权利要求7所述的测试用载具，其中，所述可动阀由弹性材料构成，是基于所述贯通孔的吸引而能弹性变形的阀构件，所述可动阀被固定部固定于所述盖主体，所述固定部与所述第一孔部对置配置。16.根据权利要求15所述的测试用载具，其中，所述收容部具有槽，所述槽与所述第一孔部连接，且隔着所述可动阀与所述第二孔部对置配置。

技术总结
提供能抑制异物向DUT附着的测试用载具。以收容有DUT(90)的状态被搬运的测试用载具(1)具备：DUT吸附保持用的贯通孔(64)，与DUT(90)对置配置；以及可动阀(70)，伴随贯通孔(64)的吸引而开闭贯通孔(64)，可动阀(70)在贯通孔(64)的吸引时敞开贯通孔(64)，而在贯通孔(64)的非吸引时关闭贯通孔(64)。(64)的非吸引时关闭贯通孔(64)。(64)的非吸引时关闭贯通孔(64)。


技术研发人员：清川敏之
受保护的技术使用者：株式会社爱德万测试
技术研发日：2022.03.18
技术公布日：2022/9/2