自动定位机构及芯片生产设备的制作方法

1.本实用新型涉及芯片生产加工技术领域，尤其涉及一种自动定位机构及芯片生产设备。


背景技术：

2.近年来，随着人们消费水平以及生活品质的不断提高，消费类电子产品、智能交互设备等产品的需求量得到了爆炸式增长，而芯片由于扮演着控制大脑的角色，在这类产品中起到至关重要的角色，同时芯片的需求量也越来越大。
3.目前，芯片采用芯片生产设备制备。生产时，多个芯片被有序放置在托盘内，以便整盘芯片进入后续加工工位，提高加工效率。为了方便机械爪对托盘或者芯片进行准确抓取，当托盘进入到某一个加工工位时，都需要首先使用定位工装对托盘进行定位。而现有的定位工装一般采用单个气缸或者两个气缸作为动力源输出直线推力实现对托盘的定位。当采用单个气缸时，由于输出动力过于单一和线性，很多时候容易造成托盘无法完全贴合至x、y方向的定位基准面上，定位精度低；当采用两个气缸时，虽然可以解决单气缸存在的问题，但控制逻辑比较复杂，动力富余较多，制造和使用成本高。


技术实现要素：

4.有鉴于此，本实用新型提供了一种自动定位机构及芯片生产设备，用于解决现有技术中定位精度低，控制逻辑复杂，制造和使用成本高的问题。
5.为达上述之一或部分或全部目的或是其他目的，本实用新型提出一种自动定位机构，其包括：
6.第一定位组件，所述第一定位组件形成有第一定位基准面；
7.第二定位组件，所述第二定位组件设置于所述第一定位组件的一侧，且所述第二定位组件形成有第二定位基准面；
8.动力组件；
9.第一施动组件，所述第一施动组件与所述动力组件驱动连接，所述第一施动组件用于驱动托盘抵靠所述第一定位基准面；
10.传动组件，所述传动组件与所述第一施动组件传动连接；以及
11.第二施动组件，所述第二施动组件与所述传动组件传动连接，所述第二施动组件用于驱动所述托盘抵靠所述第二定位基准面。
12.在其中一个实施例中，所述第一施动组件设置为刚性推杆组，所述第二施动组件设置为弹性推杆组，在夹紧定位所述托盘的过程中，所述弹性推杆组先于所述刚性推杆组抵靠接触所述托盘；在释放所述托盘的过程中，所述刚性推杆组先于所述弹性推杆组松开脱离所述托盘。
13.在其中一个实施例中，所述第一施动组件包括第一施动铰链、第一施动铰座和刚性推杆，所述第一施动铰链的中部与所述动力组件铰接，所述第一施动铰链的一端与所述
传动组件铰接，另一端与所述第一施动铰座铰接，所述刚性推杆与所述第一施动铰链固定连接。
14.在其中一个实施例中，所述第一施动铰链包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段呈角度连接。
15.在其中一个实施例中，所述传动组件包括第一传动铰链、第二传动铰链、第三传动铰链和传动铰座，所述第一传动铰链的一端与所述第一施动铰链铰接，另一端与所述第二传动铰链的一端以及所述第三传动铰链的一端铰接，所述第三传动铰链的另一端与所述传动铰座铰接，所述第二传动铰链的另一端与所述第二施动组件铰接。
16.在其中一个实施例中，所述第二施动组件包括第二施动铰链、第二施动铰座和弹性推杆，所述第二施动铰链的一端与所述第二传动铰链铰接，另一端与所述第二施动铰座铰接，所述弹性推杆与所述第二施动铰链固定连接。
17.在其中一个实施例中，所述弹性推杆包括弹簧和推杆本体，所述弹簧的一端连接于所述第二施动铰链上，所述推杆本体连接于所述弹簧的另一端上。
18.在其中一个实施例中，所述刚性推杆和所述弹性推杆用于接触所述托盘的一端均设置有滚轮。
19.在其中一个实施例中，所述第一定位组件包括至少两个第一定位体，至少两个所述第一定位体共面设置以形成所述第一定位基准面；所述第二定位组件包括至少两个第二定位体，至少两个所述第二定位体共面设置以形成所述第二定位基准面。
20.一种芯片生产设备，其包括如上所述的自动定位机构。
21.实施本实用新型实施例，将具有如下有益效果：
22.上述方案的自动定位机构应用于芯片生产设备中，用以实现对托盘的自动定位。其中，第一定位组件、第二定位组件、第一施动组件和第二施动组件围成有定位腔，当托盘被机械臂释放到定位腔内后，动力组件启动并输出驱动力，驱动力直接传输至第一施动组件，使得第一施动组件推动托盘的其中一侧并使托盘抵靠接触第一定位基准面，同时驱动力还会通过传动组件传输至第二施动组件，使得第二施动组件推动托盘的其余一侧并使托盘抵靠接触第二定位基准面，至此便完成对托盘的自动定位作业。相较于现有技术而言，本方案的自动定位机构使用一个动力组件便可完成对托盘朝向第一定位基准面和第二定位基准面的定位作业，不仅结构组成和控制逻辑简单，制造及使用成本低，而且定位精度高。
附图说明
23.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
24.其中：
25.图1为本实用新型一实施例所述的自动定位机构处于初始状态的结构示意图；
26.图2位本实用新型中自动定位机构处于与托盘抵接工作状态的结构示意图。
27.附图标记说明：
28.100、自动定位机构；10、第一定位组件；11、第一定位基准面；12、第一定位体；20、
第二定位组件；21、第二定位基准面；22、第二定位体；30、动力组件；40；第一施动组件；41、第一施动铰链；42、第一施动铰座；43、刚性推杆；50、传动组件；51、第一传动铰链；52、第二传动铰链；53、第三传动铰链；54、传动铰座；60、第二施动组件；61、第二施动铰链；62、第二施动铰座；63、弹性推杆；631、弹簧；632、推杆本体；200、托盘。
具体实施方式
29.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似改进，因此本实用新型不受下面公开的具体实施例的限制。
30.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
31.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
32.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
33.如图1和图2所示，图1示出的是本技术一实施例展示一种自动定位机构100处于初始状态的结构示意图；图2展示的是对托盘200实施定位作业后的结构示意图。其中自动定位机构100包括：第一定位组件10、第二定位组件20、动力组件30、第一施动组件40、传动组件50以及第二施动组件60。
34.所述第一定位组件10形成有第一定位基准面11；所述第二定位组件20设置于所述第一定位组件10的一侧，且所述第二定位组件20形成有第二定位基准面21；所述第一施动组件40与所述动力组件30驱动连接，所述第一施动组件40用于驱动托盘200抵靠所述第一定位基准面11；所述传动组件50与所述第一施动组件40传动连接；所述第二施动组件60与所述传动组件50传动连接，所述第二施动组件60用于驱动所述托盘200抵靠所述第二定位基准面21。
35.综上，实施本实施例技术方案将具有如下有益效果：上述方案的自动定位机构100应用于芯片生产设备中，用以实现对托盘200的自动定位。其中，第一定位组件10、第二定位组件20、第一施动组件40和第二施动组件60围成有定位腔，当托盘200被机械臂释放到定位腔内后，动力组件30启动并输出驱动力，驱动力直接传输至第一施动组件40，使得第一施动
组件40推动托盘200的其中一侧并使托盘200抵靠接触第一定位基准面11，同时驱动力还会通过传动组件50传输至第二施动组件60，使得第二施动组件60推动托盘200的其余一侧并使托盘200抵靠接触第二定位基准面21，至此便完成对托盘200的自动定位作业。相较于现有技术而言，本方案的自动定位机构100使用一个动力组件30便可完成对托盘200朝向第一定位基准面11和第二定位基准面21的定位作业，不仅结构组成和控制逻辑简单，制造及使用成本低，而且定位精度高。
36.可以理解的，本方案中的托盘200设置为矩形，当然在其它实施例中也可以是圆形、三角形等形状。相应地，第一定位组件10布置在矩形托盘200的其中一个长边一侧，第二定位组件20布置在矩形托盘200的其中一个宽边一侧，且第一定位基准面11与第二定位基准面21相互垂直。因而当托盘200被第一施动组件40和第二施动组件60推动后，相邻的一个长边和一个宽边能够分别抵靠接触第一定位基准面11和第二定位基准面21，从而实现对托盘200的定位和位置矫正。工作原理和实施结构简单，可靠性高。
37.本实施例中动力组件30包括气缸和气缸铰座。气缸安装在气缸铰座上，从而可适配传动组件50等单元的旋转动作。
38.请继续参阅图1和图2，在一些实施例中，所述第一定位组件10包括至少两个第一定位体12，至少两个所述第一定位体12共面设置以形成所述第一定位基准面11；所述第二定位组件20包括至少两个第二定位体22，至少两个所述第二定位体22共面设置以形成所述第二定位基准面21。因而第一定位基准面11和第二定位精准面的形成方式简单，可实施性强。而采用至少两个第一定位体12和至少两个第二定位体22分别抵接托盘200的长边和宽边，可使受力更加均匀，对托盘200的支撑定位效果更好。
39.例如，在一些实施例中所述第一施动组件40设置为刚性推杆组，所述第二施动组件60设置为弹性推杆组，在夹紧定位所述托盘200的过程中，所述弹性推杆组先于所述刚性推杆组抵靠接触所述托盘200。弹性推杆组具有一定的避让能力，使得弹性推杆组先接触夹紧托盘200时，刚性推杆组也能够容易推动托盘200，弹性推杆组不会造成干涉，同时避免摩擦阻力过大而划伤托盘200。
40.在释放所述托盘200的过程中，所述刚性推杆组先于所述弹性推杆组松开脱离所述托盘200。刚性推杆组和弹性推杆组先后依次脱离接触托盘200，动作逻辑简单且清楚，弹性推杆组接触托盘200时间长，有利于其定位时更稳定，避免了托盘200自身弹性瞬间反弹导致的芯片掉落。
41.请继续参阅图1，此外，在上述任一实施例的基础上，所述第一施动组件40包括第一施动铰链41、第一施动铰座42和刚性推杆43，所述第一施动铰链41的中部与所述动力组件30铰接，所述第一施动铰链41的一端与所述传动组件50铰接，另一端与所述第一施动铰座42铰接，所述刚性推杆43与所述第一施动铰链41固定连接。动力组件30输出的驱动力能够经由第一施动铰链41分别传递给刚性推杆43和传动组件50，使得刚性推杆43能够进行旋转而完成抵靠并推动托盘200定位，以及驱动第二施动组件60旋转抵靠并推动托盘200定位的目的。传力路径短，刚性推杆43的转动响应速度高。
42.较佳地，所述第一施动铰链41包括第一段和第二段，所述第一段与所述第二段呈角度连接。这样能够确保在夹紧定位所述托盘200的过程中，所述弹性推杆组先于所述刚性推杆组抵靠接触所述托盘200。在释放所述托盘200的过程中，所述弹性推杆组先于所述刚
性推杆组松开脱离所述托盘200。也即实现第一施动组件40和第二施动组件60的分步先后依次动作，对托盘200的定位可靠性更高。例如，本实施例中第一段与第二段呈90
°
直角连接，这样更有利于驱动刚性推杆43以更高的响应速度和更短的转动路径动作。
43.请继续参阅图1，在一些实施例中，所述传动组件50包括第一传动铰链51、第二传动铰链52、第三传动铰链53和传动铰座54，所述第一传动铰链51的一端与所述第一施动铰链41铰接，另一端与所述第二传动铰链52的一端以及所述第三传动铰链53的一端铰接，所述第三传动铰链53的另一端与所述传动铰座54铰接，所述第二传动铰链52的另一端与所述第二施动组件60铰接。如此，有利于将动力组件30输出的驱动力更平稳且精准的传输至第二施动组件60，以带动第二施动组件60动作完成对托盘200朝第二定位基准面21的定位操作。
44.例如，在一些实施例中所述第二施动组件60包括第二施动铰链61、第二施动铰座62和弹性推杆63，所述第二施动铰链61的一端与所述第二传动铰链52铰接，另一端与所述第二施动铰座62铰接，所述弹性推杆63与所述第二施动铰链61固定连接。第二施动铰座62对第二施动铰链61和弹性推杆63起到安装固定并提供转动支点的作用，使得当第二施动铰链61受到第二传动铰链52的推动和拉动时，可同步带动弹性推杆63旋转，以实现对托盘200的夹紧定位或释放。
45.为避免影响第一施动组件40推动托盘200移动的顺畅度，同时保证托盘200不被划伤，弹性推杆63应当具备一定的形变避让能力。例如，在一些实施例中，所述弹性推杆63包括弹簧631和推杆本体632，所述弹簧631的一端连接于所述第二施动铰链61上，所述推杆本体632连接于所述弹簧631的另一端上。因而弹簧631提供推杆本体632一定的弹性压力，使推杆可以更好的抵靠压紧托盘200，确保托盘200抵靠接触第二定位基准面21紧密。此外，弹簧631又提供推杆本体632一定的收缩避让行程，以在第一施动组件40推动托盘200移动时减小与托盘200的摩擦阻力和磨损。
46.在上述任一实施例的基础上，所述刚性推杆43和所述弹性推杆63用于接触所述托盘200的一端均设置有滚轮。滚轮与托盘200的侧面滚动配合，滚动摩擦阻力更小，保证托盘200移动顺滑的同时减轻磨损，提高托盘200、刚性推杆43和弹性推杆63的使用寿命。
47.综上之外，本技术还提供一种芯片生产设备，其包括如上任一实施例所述的自动定位机构100。
48.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
49.以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。