一种柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头的制作方法

技术特征：
1.一种柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，包括分光镜镜架、分光镜压圈、分光镜、共线适配器、透镜、太赫兹发射天线、发射端安装座、太赫兹探测天线、探测端安装座、消光板、聚焦透镜、聚焦透镜安装座、前盖板和后盖板；共线适配器为两端开口的方形筒体，共线适配器环向上依次设置的第一面板、第二面板、第三面板和第四面板四个面板上分别开设第一圆孔、第二圆孔、第三圆孔和第四圆孔，第一圆孔与第三圆孔相对，第二圆孔和第四圆孔相对；分光镜固定在分光镜镜架中心的分光镜固定孔中，分光镜镜架呈45
°
角固定在共线适配器空腔内并将其二等分；太赫兹发射天线和透镜固定在发射端安装座上，发射端安装座与第一圆孔对准安装在共线适配器的第一面板上；太赫兹探测天线和透镜固定在探测端安装座上，探测端安装座与第四圆孔对准安装在共线适配器的第四面板上；消光板与第二圆孔对准安装在共线适配器的第二面板上，消光板用于消除分光镜中产生的二次反射和多次反射；聚焦透镜固定在聚焦透镜安装座上，聚焦透镜安装座与第三圆孔对准安装在共线适配器的第三面板上；前盖板和后盖板分别安装在共线适配器前端开口和后端开口，共线适配器内形成密封腔体。2.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，分光镜恰好嵌入分光镜固定孔中，分光镜为圆形，分光镜在第一面板、第二面板、第三面板或第四面板上的正投影正好为与第一圆孔、第二圆孔、第三圆孔和第四圆孔圆心重合的圆，圆形投影半径大于等于第一圆孔、第二圆孔、第三圆孔和第四圆孔半径。3.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，分光镜采用楔形高阻硅片。4.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，所述一种柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，还包括定位钢珠、细牙调节螺栓和弹性件，分光镜镜架顶边和底边上分别开设两个螺纹孔，一细牙调节螺栓穿过共线适配器与分光镜镜架顶边螺纹孔连接，另一细牙调节螺栓穿过共线适配器与分光镜镜架底边螺纹孔连接，在后盖板上设置钢珠槽，固定在钢珠槽内的定位钢珠抵靠在分光镜镜架上侧，两细牙调节螺栓和定位钢珠在分光镜镜架上侧成三角状对分光镜镜架施加作用力，在分光镜镜架下侧两细牙调节螺栓和定位钢珠施力点附近分别对应设置至少一个弹性件，弹性件一端抵靠在分光镜镜架下侧，另一端固定在后盖板或第三面板的固定座上。5.根据权利要求4所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，分光镜镜架下侧设置3-6个弹性件，弹性件为压簧。6.根据权利要求4所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，两个螺纹孔处于分光镜镜架1的对角线上，两细牙调节螺栓和定位钢珠在分光镜镜架上的施加力点相连形成直角三角形。7.根据权利要求5或6所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，细牙调节螺纹按照1
°
为调节步进角度，位移进给量约为1μm；压簧为φ4-15轻载型不锈钢压簧，刚性模数为71000m/mm2，分光镜倾角调节精度与细牙调节螺纹支点到定位钢珠的距离相关，分别设计为84.4mm和60mm，计算得到分光镜的倾角调节精度分别为0.0007
°
和0.001
°
。8.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，发射端安装座包括同轴心设置的天线固定筒和透镜固定筒，太赫兹发射天线固定在天线固定筒
上，天线固定筒底部和透镜固定筒上部连接，透镜固定筒底部四周向外延展形成透镜固定部，透镜固定筒内壁底部开设透镜安装槽，透镜压片将透镜固定在透镜安装槽内，透镜固定筒底部与第一圆孔轴心对准，然后通过紧固螺钉将透镜固定部安装在共线适配器第一面板将其封堵。9.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，探测端安装座结构与发射端安装座结构相同，包括同轴心设置的天线固定筒和透镜固定筒，太赫兹探测天线固定在天线固定筒上，天线固定筒底部和透镜固定筒上部连接，透镜固定筒底部四周向外延展形成透镜固定部，透镜固定筒内壁底部开设透镜安装槽，透镜压片将透镜固定在透镜安装槽内，透镜固定筒底部与第四圆孔轴心对准，然后通过紧固螺钉将透镜固定部安装在共线适配器第四面板将其封堵。10.根据权利要求1所述的柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其特征在于，聚焦透镜安装座包括聚焦透镜固定筒和聚焦透镜固定部，聚焦透镜固定筒底部四周向外延展形成聚焦透镜固定部，在聚焦透镜固定筒内壁上开设聚焦透镜安装槽，透镜压片将聚焦透镜固定在透镜安装槽内，聚焦透镜固定筒与第三圆孔轴心对准，然后通过紧固螺钉将聚焦透镜固定部固定在共线适配器第三面板将其封堵。

技术总结
本发明公开了一种柔性二维可调的太赫兹系统光学集成镜头，其分光镜固定在分光镜镜架中心的分光镜固定孔中，分光镜呈45


技术研发人员：刘真良 朱新勇 王玉建 郭永玲 孟坤 刘永利
受保护的技术使用者：青岛青源峰达太赫兹科技有限公司
技术研发日：2022.05.24
技术公布日：2022/8/30