纳米突起构造体检查装置以及纳米突起构造体检查方法与流程

技术特征：
1.一种纳米突起构造体检查装置，其特征在于，具备：检查光照射部，向金属的表面亦即被检查面照射检查光；和色彩亮度计，相对于因所述被检查面引起的所述检查光的镜面反射方向倾斜配置拍摄元件的拍摄光轴，通过利用拍摄元件接受包括镜面反射光以及漫反射光的来自所述被检查面的所述检查光的反射光中的所述漫反射光来检查所述被检查面中的纳米级的突起构造体。2.根据权利要求1所述的纳米突起构造体检查装置，其特征在于，所述金属的材质为铜，所述检查光照射部所照射的所述检查光的波长范围包括可见光的波长范围，所述色彩亮度计至少输出可见光的波长范围的受光结果。3.根据权利要求1所述的纳米突起构造体检查装置，其特征在于，所述金属的材质为铝，所述检查光照射部所照射的所述检查光的波长范围包括近紫外光的波长范围，所述色彩亮度计至少输出近紫外光的波长范围的受光结果。4.根据权利要求1～3中任一项所述的纳米突起构造体检查装置，其特征在于，所述拍摄元件的所述拍摄光轴相对于因所述被检查面引起的所述检查光的镜面反射方向的倾斜度为50度以上。5.一种纳米突起构造体检查方法，其特征在于，包括：检查光照射步骤，通过检查光照射部向金属的表面亦即被检查面照射检查光；和检查步骤，通过利用色彩亮度计拍摄包括镜面反射光以及漫反射光的来自所述被检查面的所述检查光的反射光中的所述漫反射光来检查所述被检查面中的纳米级的突起构造体，所述色彩亮度计相对于因所述被检查面引起的所述检查光的镜面反射方向倾斜配置拍摄元件的拍摄光轴。6.根据权利要求5所述的纳米突起构造体检查方法，其特征在于，所述金属的材质为铜，在所述检查光照射步骤中照射的所述检查光的波长范围包括可见光的波长范围，在所述检查步骤中，至少基于可见光的波长范围的受光结果来检查所述突起构造体。7.根据权利要求5所述的纳米突起构造体检查方法，其特征在于，所述金属的材质为铝，在所述检查光照射步骤中照射的所述检查光的波长范围包括近紫外光的波长范围，在所述检查步骤中，至少基于近紫外光的波长范围的受光结果来检查所述突起构造体。8.根据权利要求5～7中任一项所述的纳米突起构造体检查方法，其特征在于，所述拍摄元件的所述拍摄光轴相对于因所述被检查面引起的所述检查光的镜面反射方向的倾斜度为50度以上。

技术总结
本发明涉及纳米突起构造体检查装置以及纳米突起构造体检查方法。这里公开的纳米突起构造体检查装置具备检查光照射部和色彩亮度计。检查光照射部向金属的表面亦即被检查面照射检查光。色彩亮度计的拍摄元件的拍摄光轴相对于因被检查面引起的检查光的镜面反射方向倾斜配置。色彩亮度计通过利用拍摄元件接受包括镜面反射光以及漫反射光的来自被检查面的检查光的反射光中的漫反射光来检查被检查面中的纳米级的突起构造体。中的纳米级的突起构造体。中的纳米级的突起构造体。


技术研发人员：佐藤友纪 土屋诏一 浅井正孝 浅野刚史 内村将大 立山望美
受保护的技术使用者：丰田自动车株式会社
技术研发日：2022.01.27
技术公布日：2022/8/29