掩模的制作方法

1.本发明涉及一种掩模。


背景技术：

2.通常，向用户提供图像的电子装置(诸如智能电话、数字相机、笔记本计算机、导航系统和智能电视)包括用于显示图像的显示装置。显示装置产生图像并且通过显示屏幕将产生的图像提供给用户。
3.显示装置包括产生图像的显示面板和向用户提供各种功能的功能元件。显示面板被划分为显示区域和围绕显示区域的非显示区域。显示面板包括设置在显示区域中以产生图像的像素。功能元件包括设置在非显示区域中的相机和传感器。
4.近来，为了将显示区域扩展到非显示区域，需要用于在显示区域中布置相机的技术开发。当相机设置在显示区域中时，像素不应设置在其中设置有相机的区域中。为此，需要开发用于在设置有相机的区域中不形成像素的掩模。


技术实现要素：

5.技术问题
6.本发明提供了一种掩模，所述掩模用于将其上安置有与相机布置区域叠置的阻挡部分的网格掩模更牢固地固定到掩模框架。
7.技术方案
8.根据本发明的实施例的掩模包括：掩模框架，第一开口部分限定在掩模框架中；第一掩模，设置在掩模框架上，与第一开口部分叠置的第二开口部分限定在第一掩模中；第二掩模，包括与第二开口部分叠置的具有网格形状的网格部分，并且设置在第一掩模上；以及固定部分，设置在第二掩模上，并且沿着第二掩模的边缘延伸以围绕网格部分。
9.固定部分包括沿第二掩模的边缘设置的多个固定条。
10.固定条包括：多个第一固定条，在第一方向上延伸，并且在与第一方向相交的第二方向上彼此间隔开；以及多个第二固定条，在第二方向上延伸，并且在第一方向上彼此间隔开。
11.固定部分具有600微米至2000微米的厚度。
12.网格部分包括限定网格形状的多条网格线，其中，多条网格线中的每条具有10微米至20微米的线宽。
13.彼此平行地延伸且彼此面对的两条网格线之间的间隙为0.5毫米至2毫米。
14.掩模还包括设置在网格部分的一部分上的阻挡部分。
15.阻挡部分具有圆形形状，并且阻挡部分的直径大于两条网格线之间的间隙。
16.阻挡部分连接到网格线。
17.有益效果
18.根据本发明的实施例，由于其上安置有阻挡部分的网格掩模的边缘通过固定部分
固定，因此网格掩模可以更牢固地固定到开口掩模和掩模框架。
附图说明
19.图1是根据本发明的实施例的掩模的分解透视图。
20.图2是将图1中所示的掩模的组件组合的掩模的透视图。
21.图3是当从上方观看时图2中所示的掩模的平面图。
22.图4是沿着图3中所示的线i-i'截取的剖视图。
23.图5是沿着图3中所示的线ii-ii'截取的剖视图。
24.图6是示出图5中所示的掩模中的与阻挡部分叠置的部分和与阻挡部分相邻的部分的放大图。
25.图7是使用图1中所示的掩模制造的显示面板的平面图。
26.图8是示例性地示出设置在图7中所示的显示区域中的像素的剖面构造的图。
27.图9是沿着图7中所示的线iii-iii'截取的剖视图。
28.图10是示例性地示出使用图7中所示的显示面板制造的显示装置的剖面的图。
29.图11至图15是示出根据本发明的各种实施例的固定部分的构造的视图。
30.图16是根据本发明的另一实施例的掩模的透视图。
31.图17是当从上方观看时图16中所示的掩模的平面图。
32.图18是沿着图17中所示的线iv-iv'截取的剖视图。
33.图19是示出根据本发明的另一实施例的固定部分的构造的视图。
34.图20是示出朝向图19中所示的固定部分喷射的沉积材料的视图。
具体实施方式
35.在本说明书中，当元件(或区域、层、部分等)被称为“在”另一元件“上”、“连接到”或“结合到”另一元件时，这意味着该元件可以直接放置在所述另一元件上/直接连接到所述另一元件/直接结合到所述另一元件，或者第三组件可以布置在它们之间。
36.同样的附图标记指同样的元件。另外，在附图中，为了有效的描述，夸大了组件的厚度、比例和尺寸。
[0037]“和/或”包括由相关组件定义的一个或更多个组合中的全部。
[0038]
将理解的是，这里使用术语“第一”和“第二”来描述各种组件，但是这些组件不应受这些术语限制。以上术语仅用于将一个组件与另一组件区分开。例如，在不脱离本发明的范围的情况下，第一组件可以被称为第二组件，反之亦然。除非另有说明，否则单数形式的术语可以包括复数形式。
[0039]
另外，诸如“在
……
下面”、“下侧”、“在
……
上”和“上侧”的术语用于描述附图中所示的构造的关系。这些术语被描述为基于附图中所示的方向的相对概念。
[0040]
除非另有定义，否则这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同的含义。另外，在通用词典中定义的术语应被解释为具有与相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且不应以理想化或过于形式化的含义解释，除非术语在这里被明确地如此定义。
[0041]
在本发明的各种实施例中，术语“包括”、“包含”或其变型说明存在性质、区域、固
定数量、步骤、工艺、元件和/或组件，但是不排除存在或添加其他性质、区域、固定数量、步骤、工艺、元件和/或组件。
[0042]
在下文中，将参照附图详细描述本发明的实施例。
[0043]
图1是根据本发明的实施例的掩模的分解透视图。
[0044]
参照图1，根据本发明的实施例的掩模msk可以包括掩模框架mf、第一掩模mk1、第二掩模mk2、多个阻挡部分blp和固定部分fp。
[0045]
掩模框架mf可以具有在第一方向dr1上延伸的侧表面和在与第一方向dr1交叉的第二方向dr2上延伸的侧表面。掩模框架mf的侧表面可以限定掩模框架mf的边缘。掩模框架mf可以包括金属。
[0046]
掩模框架mf可以具有框架形状。根据框架形状，具有矩形形状的第一开口部分op1可以限定在掩模框架mf中。第一开口部分op1可以具有在第一方向dr1上比在第二方向dr2上延伸得长的矩形形状。
[0047]
在下文中，与由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面交叉的方向被定义为第三方向dr3。第三方向dr3可以与由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面基本上垂直地相交。在本说明书中，当在平面上观看时，其可以指在第三方向dr3上观看的状态。
[0048]
第一掩模mk1可以设置在掩模框架mf上。第一掩模mk1可以具有矩形形状，所述矩形形状具有在第一方向dr1上延伸的长边和在第二方向dr2上延伸的短边。然而，第一掩模mk1的形状不限于此。第一掩模mk1的长边和短边是第一掩模mk1的侧表面，并且可以彼此连接以限定第一掩模mk1的边缘。第一掩模mk1可以包括金属。
[0049]
多个第二开口部分op2可以限定在第一掩模mk1中。当在平面上观看时，第二开口部分op2可以与第一开口部分op1叠置。其中限定有第二开口部分op2的第一掩模mk1可以被定义为开口掩模。第二开口部分op2中的每个可以与稍后将描述的显示面板对应。
[0050]
第二开口部分op2可以在第一方向dr1和第二方向dr2上布置。当第一方向dr1与行方向对应并且第二方向dr2与列方向对应时，第二开口部分op2可以布置为两行三列。
[0051]
例如，示出了布置为两行三列的六个第二开口部分op2，但是第二开口部分op2的数量不限于此。例如，至少一个第二开口部分op2可以限定在第一掩模mk1中。
[0052]
第二开口部分op2可以具有在第二方向dr2上比在第一方向dr1上延伸得长的矩形形状。然而，本发明不限于此，第二开口部分op2可以具有各种形状，诸如圆形和多边形。
[0053]
第二掩模mk2可以设置在第一掩模mk1上。第二掩模mk2可以具有矩形形状，所述矩形形状具有在第一方向dr1上延伸的长边和在第二方向dr2上延伸的短边。然而，第二掩模mk2的形状不限于此。第二掩模mk2的长边和短边是第二掩模mk2的侧表面，并且可以彼此连接以限定第二掩模mk2的边缘。第二掩模mk2可以包括金属。
[0054]
第二掩模mk2可以包括具有网格形状的多个网格部分msp。第二掩模mk2可以被定义为网格掩模。当在平面上观看时，网格部分msp可以分别与第二开口部分op2叠置。因此，网格部分msp可以在第一方向dr1和第二方向dr2上布置。
[0055]
例如，示出了布置为两行三列的六个网格部分msp，但是网格部分msp的数量不限于此。例如，第二掩模mk2可以包括与至少一个第二开口部分op2叠置的至少一个网格部分msp。
[0056]
网格部分msp可以具有与第二开口部分op2对应的形状。与第二开口部分op2一样，
网格部分msp可以具有在第二方向dr2上比在第一方向dr1上延伸得长的矩形形状。然而，本发明不限于此，取决于第二开口部分op2的形状，网格部分msp可以具有各种形状，诸如圆形或多边形。
[0057]
网格部分msp中的每个可以包括用于限定网格形状的多条网格线msl。网格线msl可以在第一方向dr1和第二方向dr2上延伸。在第一方向dr1上延伸的网格线msl可以在第二方向dr2上布置，并且在第二方向dr2上延伸的网格线msl可以在第一方向dr1上布置。
[0058]
网格形状可以由彼此交叉的网格线msl限定。彼此相邻并且彼此相交的网格线msl之间的空间可以被定义为网格孔msh。网格孔msh可以具有矩形形状。
[0059]
固定部分fp可以设置在第二掩模mk2上。固定部分fp可以包括具有棒(或杆)形状的多个固定条fb1和fb2。固定条fb1和fb2可以与第二掩模mk2的边缘相邻。固定条fb1和fb2可以包括金属。例如，固定条fb1和fb2可以包括殷钢或不锈钢。
[0060]
固定条fb1和fb2可以包括在第一方向dr1上延伸并且在第二方向dr2上彼此间隔开的多个第一固定条fb1以及在第二方向dr2上延伸并且在第一方向dr1上彼此间隔开的多个第二固定条fb2。
[0061]
阻挡部分blp可以设置在网格部分msp上。预定数量的阻挡部分blp可以设置在网格部分msp之中的对应的网格部分msp上。例如，两个阻挡部分blp可以设置在网格部分msp之中的对应的网格部分msp上。然而，设置在网格部分msp上的阻挡部分blp的数量不限于此。例如，至少一个阻挡部分blp可以设置在对应的网格部分msp上。阻挡部分blp可以包括金属。
[0062]
图2是将图1中所示的掩模的组件组合的掩模的透视图。图3是当从上方观看时图2中所示的掩模的平面图。
[0063]
参照图2和图3，当在平面上观看时，第一掩模mk1的边缘和第二掩模mk2的边缘可以设置为与掩模框架mf的边缘相邻。第一掩模mk1的边缘和第二掩模mk2的边缘可以不与掩模框架mf的边缘叠置。然而，这是通过示例的方式示出的，第一掩模mk1的边缘和第二掩模mk2的边缘可以与掩模框架mf的边缘叠置。
[0064]
当在平面上观看时，第二掩模mk2的边缘可以与第一掩模mk1的边缘叠置。然而，这是通过示例的方式示出的，第二掩模mk2的边缘可以不与第一掩模mk1的边缘叠置，而是可以与第一掩模mk1的边缘相邻。
[0065]
当在平面上观看时，固定部分fp可以沿着第二掩模mk2的边缘延伸以围绕网格部分msp。例如，当在平面上观看时，第一固定条fb1和第二固定条fb2可以沿着第二掩模mk2的边缘设置以围绕网格部分msp。当在平面上观看时，与网格部分msp叠置的第二开口部分op2也可以被第一固定条fb1和第二固定条fb2围绕。
[0066]
固定部分fp的外表面可以与第二掩模mk2的边缘叠置。例如，第一固定条fb1和第二固定条fb2的面向外的侧表面可以与第二掩模mk2的边缘叠置。
[0067]
固定部分fp可以通过激光焊接连接到并固定到第二掩模mk2、第一掩模mk1和掩模框架mf。例如，激光从固定部分fp上方朝向固定部分fp照射，并且固定部分fp、第二掩模mk2、第一掩模mk1和掩模框架mf可以通过根据激光的能量的热量熔化并彼此连接。因此，固定部分fp、第二掩模mk2、第一掩模mk1和掩模框架mf可以彼此连接并固定。
[0068]
在本发明的实施例中，第二掩模mk2不仅仅固定到第一掩模mk1。第二掩模mk2可以
固定到第一掩模mk1，并且固定部分fp可以在第二掩模mk2上另外固定第二掩模mk2。固定部分fp可以将第二掩模mk2更牢固地固定到第一掩模mk1和掩模框架mf。
[0069]
当具有薄片形状的第二掩模mk2固定到第一掩模mk1时，第二掩模mk2的固定状态可能不稳定。在本发明的实施例中，由于固定部分fp在第二掩模mk2上另外固定第二掩模mk2，因此第二掩模mk2可以更牢固地固定。
[0070]
第一固定条fb1和第二固定条fb2可以彼此相邻地设置以围绕网格部分msp以形成矩形框架形状。第一固定条fb1的端部和第二固定条fb2的端部可以彼此接触以形成矩形框架形状。
[0071]
阻挡部分blp之中的两个阻挡部分blp中的每个可以设置在网格部分msp之中的对应的网格部分msp的部分上。示例性地，当在平面上观看时，两个阻挡部分blp可以设置为与对应的网格部分msp的上侧和右侧上的顶点相邻。然而，两个阻挡部分blp的布置位置不限于此。
[0072]
例如，阻挡部分blp可以具有圆形形状。然而，本发明不限于此，阻挡部分blp可以具有各种形状，诸如椭圆形或多边形。阻挡部分blp可以通过焊接连接到网格部分msp并且固定到网格部分msp。例如，阻挡部分blp可以通过激光焊接连接到网格线msl并且固定到网格线msl。
[0073]
图4是沿着图3中所示的线i-i'截取的剖视图。
[0074]
参照图4，网格线msl中的每条的线宽lw可以是10μm至20μm。线宽lw可以被定义为网格线msl中的每条的在与网格线msl中的每条的延伸方向交叉的方向上测量的宽度。彼此平行地延伸且彼此面对的两条网格线msl之间的第一间隙gp1可以是0.5mm至2mm。
[0075]
阻挡部分blp可以设置在网格线msl上并且连接到网格线msl。阻挡部分blp的直径可以大于第一间隙gp1。当阻挡部分blp的直径小于第一间隙gp1时，阻挡部分blp会通过网格孔msh落下。由于阻挡部分blp的直径大于第一间隙gp1，因此阻挡部分blp可以稳定地安置在网格线msl上。网格部分msp可以是用于大致布置阻挡部分blp的结构。
[0076]
图5是沿着图3中所示的线ii-ii'截取的剖视图。
[0077]
图5示例性地示出了在制造显示面板中使用的母基底m_sub，以解释显示面板的制造步骤。
[0078]
参照图5，可以在固定部分fp上设置母基底m_sub。母基底m_sub可以包括多个单元基底u_sub。单元基底u_sub中的每个可以用于制造显示面板。可以通过在单元基底u_sub中的每个上形成像素并且切割单元基底u_sub来制造显示面板。
[0079]
固定部分fp可以支撑母基底m_sub的边缘。通过固定部分fp，母基底m_sub可以与第二掩模mk2向上间隔开第二间隙gp2。固定部分fp可以具有基于第三方向dr3的600μm至2000μm的厚度。也就是说，根据固定部分fp的厚度，第二间隙gp2可以被设定为600μm至2000μm。
[0080]
固定部分fp的在第三方向dr3上彼此相对的上表面和下表面可以具有由第一方向dr1和第二方向dr2限定的平面。第三方向dr3可以被定义为分别垂直于固定部分fp的上表面和下表面的方向。
[0081]
当在平面上观看时，单元基底u_sub可以分别与网格部分msp叠置。此外，当在平面上观看时，单元基底u_sub可以分别与第二开口部分op2叠置。当在平面上观看时，单元基底
u_sub、网格部分msp和第二开口部分op2设置在第一开口部分op1内以与第一开口部分op1叠置。
[0082]
可以在掩模msk下方设置多个坩埚cr。可以在每个坩埚cr上设置喷嘴nz。可以在坩埚cr中容纳沉积材料dpm。虽然附图中未示出，但是可以在坩埚cr中设置用于加热坩埚cr的热源。另外，可以在显示面板的制造工艺中使用的真空室中设置坩埚cr、掩模msk和母基底m_sub。
[0083]
可以对坩埚cr进行加热，并且沉积材料dpm可以蒸发并通过喷嘴nz向上喷射。蒸发的沉积材料dpm可以穿过第一开口部分op1、第二开口部分op2和网格部分msp以沉积在单元基底u_sub的下表面上。
[0084]
在第二开口部分op2中的每个的外围区域中，因为沉积材料dpm被第一掩模mk1阻挡，所以沉积材料dpm可以不提供到母基底m_sub。因此，沉积材料dpm可以不提供在母基底m_sub的在单元基底u_sub之间的部分上。
[0085]
图6是示出图5中所示的掩模中的与阻挡部分叠置的部分和与阻挡部分相邻的部分的放大图。
[0086]
示例性地，图6示出了与图4对应的剖面，并且沉积材料dpm的注入方向由图6中的虚线箭头示出。
[0087]
参照图6，沉积材料dpm可以通过网格孔msh提供在单元基底u_sub上。沉积材料dpm可以具有预定喷射角度并且可以向上前进。如上所述，网格部分msp可以与单元基底u_sub间隔开第二间隙gp2。
[0088]
在这种情况下，即使沉积材料dpm中的一些被网格线msl阻挡，具有预定喷射角度并且向上前进的沉积材料dpm也可以穿过网格孔msh并且正常沉积在单元基底u_sub上。
[0089]
当网格部分msp和单元基底u_sub彼此接触时，沉积材料dpm可以不沉积在单元基底u_sub的与网格线msl叠置的部分上。也就是说，网格线msl可以用作掩模。
[0090]
由于沉积材料dpm具有预定喷射角度并且向上前进，因此随着网格部分msp和单元基底u_sub彼此远离，单元基底u_sub的其上未沉积有沉积材料dpm的部分会减小。当网格部分msp和单元基底u_sub彼此间隔开特定间隙或更大时，沉积材料dpm可以遍及整个单元基底u_sub沉积。
[0091]
当网格线msl中的每条的线宽lw为10μm至20μm，网格线msl之间的第一间隙gp1为0.5mm至2mm，并且网格部分msp和单元基底u_sub之间的第二间隙gp2大于或等于600μm时，沉积材料dpm可以沉积在整个单元基底u_sub上。
[0092]
即使沉积材料dpm以预定喷射角度向上前进，沉积材料dpm也可以被阻挡部分blp阻挡，这取决于阻挡部分blp的尺寸。也就是说，阻挡部分blp可以用作阻挡沉积材料dpm的行进的掩模。因此，沉积材料dpm可以不提供在单元基底u_sub的与阻挡部分blp叠置的部分上。
[0093]
单元基底u_sub的其上因阻挡部分blp而未沉积有沉积材料dpm的部分可以被定义为用于放置相机的区域。单元基底u_sub的与阻挡部分blp叠置的部分将被定义为显示面板的第一区域，并且将在下面进行描述。
[0094]
图7是通过使用图1中所示的掩模制造的显示面板的平面图。
[0095]
参照图7，显示面板dp的平坦区域可以包括显示区域da和围绕显示区域da并且限
定显示面板dp的边界的非显示区域nda。显示面板dp可以包括设置在显示区域da中的多个像素。下面将参照图8详细地描述像素的结构。
[0096]
根据本发明的实施例的显示面板dp可以是发光显示面板，并且不受特别地限制。例如，显示面板dp可以是有机发光显示面板或量子点发光显示面板。有机发光显示面板的发光层可以包括有机发光材料。量子点发光显示面板的发光层可以包括量子点和量子棒。在下文中，显示面板dp被描述为有机发光显示面板。
[0097]
显示面板dp可以具有矩形形状，所述矩形形状具有在第二方向dr2上延伸的长边和在第一方向dr1上延伸的短边。然而，本发明不限于此，显示面板dp可以具有各种形状，诸如圆形形状或多边形形状。
[0098]
多个功能元件可以设置在显示面板dp上。功能元件可以包括扬声器spk和相机cam。扬声器spk可以设置在非显示区域nda中，并且相机cam可以设置在显示区域da中。相机cam可以设置在显示面板dp下方。
[0099]
图8是示例性地示出设置在图7中所示的显示区域中的像素的剖面构造的图。
[0100]
例如，示出了一个像素px，但是多个图8中所示的像素px可以设置在显示区域da中。
[0101]
参照图8，显示区域da可以包括发射区域pxa和围绕发射区域pxa的非发射区域npxa。实际上，可以在显示区域da中设置多个发射区域pxa。
[0102]
像素px可以包括发光元件oled和连接到发光元件oled的晶体管tr。发光元件oled可以包括第一电极ae、第二电极ce、空穴控制层hcl、电子控制层ecl和发光层eml。第一电极ae可以是阳极电极，并且第二电极ce可以是阴极电极。
[0103]
晶体管tr和发光元件oled可以设置在基底sub上。发光元件oled可以设置在发射区域pxa中，并且晶体管tr可以设置在非发射区域npxa中。缓冲层bfl设置在基底sub上，并且缓冲层bfl可以包括无机材料。
[0104]
晶体管tr的半导体层sm可以设置在缓冲层bfl上。半导体层sm可以包括由诸如非晶硅或多晶硅的无机材料制成的半导体或者有机半导体。此外，半导体层sm可以包括氧化物半导体。尽管图8中未示出，但是半导体层sm可以包括源区、漏区以及源区与漏区之间的沟道区。
[0105]
第一绝缘层ins1可以设置在缓冲层bfl上以覆盖半导体层sm。第一绝缘层ins1可以包括无机材料。晶体管tr的与半导体层sm叠置的栅电极ge可以设置在第一绝缘层ins1上。栅电极ge可以设置为与半导体层sm的沟道区叠置。
[0106]
第二绝缘层ins2可以设置在第一绝缘层ins1上以覆盖栅电极ge。第二绝缘层ins2可以包括有机材料和/或无机材料。
[0107]
晶体管tr的源电极se和漏电极de可以设置在第二绝缘层ins2上以彼此间隔开。源电极se可以通过限定在第一绝缘层ins1和第二绝缘层ins2中的第一接触孔ch1连接到半导体层sm的源区。漏电极de可以通过限定在第一绝缘层ins1和第二绝缘层ins2中的第二接触孔ch2连接到半导体层sm的漏区。
[0108]
第三绝缘层ins3可以设置在第二绝缘层ins2上以覆盖晶体管tr的源电极se和漏电极de。第三绝缘层ins3可以包括有机材料。连接电极cne可以设置在第三绝缘层ins3上。连接电极cne可以通过限定在第三绝缘层ins3中的第三接触孔ch3连接到漏电极de。
[0109]
第四绝缘层ins4可以设置在第三绝缘层ins3上以覆盖连接电极cne。第一电极ae可以设置在第四绝缘层ins4上。第一电极ae可以通过限定在第四绝缘层ins4中的第四接触孔ch4连接到连接电极cne。
[0110]
使第一电极ae的预定部分暴露的像素限定层pdl可以设置在第一电极ae和第四绝缘层ins4上。用于使第一电极ae的预定部分暴露的开口部分px_op可以限定在像素限定层pdl中。
[0111]
空穴控制层hcl可以设置在第一电极ae和像素限定层pdl上。空穴控制层hcl可以公共地设置在发射区域pxa和非发射区域npxa中。空穴控制层hcl可以包括空穴传输层，并且还可以包括空穴注入层。
[0112]
发光层eml可以设置在空穴控制层hcl上。发光层eml可以设置在与开口部分px_op对应的区域中。也就是说，发光层eml可以形成为在像素px中彼此分离。发光层eml可以包括有机材料和/或无机材料。发光层eml可以产生红光、绿光和蓝光中的任一种。然而，本发明不限于此，发光层eml可以通过组合红色、绿色和蓝色有机材料来产生白光。
[0113]
电子控制层ecl可以设置在发光层eml上。电子控制层ecl可以设置在空穴控制层hcl上以覆盖发光层eml。也就是说，电子控制层ecl可以公共地设置在发射区域pxa和非发射区域npxa中。电子控制层ecl可以包括电子传输层，并且还可以包括电子注入层。
[0114]
第二电极ce可以设置在电子控制层ecl上。第二电极ce可以遍及像素px公共地设置。薄膜密封层tfe可以设置在第二电极ce上。
[0115]
从缓冲层bfl到第四绝缘层ins4的层可以被定义为电路元件层dp-cl。从第一电极ae到第二电极ce的层可以被定义为显示元件层dp-oled。
[0116]
第一电压可以施加到第一电极ae，并且具有比第一电压的电平低的电平的第二电压可以施加到第二电极ce。注入到发光层eml中的空穴和电子复合以形成激子，并且当激子跃迁到基态时，发光元件oled可以发光。发光元件oled可以发光以显示图像。
[0117]
图9是沿着图7中所示的线iii-iii'截取的剖视图。
[0118]
根据以下描述的必要性，将一起描述图6。
[0119]
参照图6和图9，显示面板dp可以包括第一区域a1。第一区域a1可与阻挡部分blp叠置。相机cam可以设置在第一区域a1下方。如果显示图像的发光元件oled设置在第一区域a1中，则相机cam可能难以捕获外部图像。因此，发光元件oled可以不设置在第一区域a1中。例如，显示元件层dp-oled可以不形成在第一区域a1中。
[0120]
为了不将沉积材料dpm提供在第一区域a1中，可以使用第二掩模mk2。例如，当形成设置在发射区域pxa和非发射区域npxa两者中的第二电极ce、空穴控制层hcl和电子控制层ecl时，可以使用第二掩模mk2。
[0121]
当用于形成第二电极ce、空穴控制层hcl和电子控制层ecl的沉积材料沉积在基底sub上时，因为沉积材料被阻挡部分blp阻挡，所以沉积材料可以不提供在第一区域a1中。因此，发光元件oled可以不形成在第一区域a1中。相机cam可以通过使用穿过第一区域a1提供的外部光ol来捕获外部图像。
[0122]
尽管附图中未示出，但是第一电极ae和发光层eml可以不形成在第一区域a1中。然而，为了不在第一区域a1中形成第一电极ae和发光层eml，可以使用与第二掩模mk2不同的掩模。
[0123]
图10是示例性地示出使用图7中所示的显示面板制造的显示装置的剖面的图。
[0124]
参照图10，显示装置dd可以包括显示面板dp、输入检测单元isp、抗反射层rpl、窗win、覆盖层cvl以及第一粘合层al1至第三粘合层al3。显示面板dp、输入检测单元isp、抗反射层rpl和窗win设置在显示面板dp上，并且覆盖层cvl可以设置在显示面板dp下方。
[0125]
输入检测单元isp可以设置在显示面板dp上。输入检测单元isp可以包括用于检测外部输入的多个传感器单元(未示出)。传感器单元可以以电容方式感测外部输入。当制造显示面板dp时，可以在显示面板dp上直接制造输入检测单元isp。然而，本发明不限于此，输入检测单元isp可以被制造为与显示面板dp分离的面板，然后通过粘合层附着到显示面板dp。
[0126]
抗反射层rpl可以设置在输入检测单元isp上。抗反射层rpl可以被定义为外部光抗反射膜。抗反射层rpl可以降低从显示装置dd上方入射在显示面板dp上的外部光的反射率。例如，抗反射层rpl可以包括相位延迟器和/或偏振器。
[0127]
窗win可以设置在抗反射层rpl上。窗win可以保护显示面板dp、输入检测单元isp和抗反射层rpl免受外部刮擦和冲击。窗win可以具有光学透明性质。
[0128]
覆盖层cvl可以设置在显示面板dp下方。覆盖层cvl可以吸收施加到显示装置dd的下部的外部冲击以保护显示面板dp。覆盖层cvl可以包括具有预定弹力的泡沫片。开口部分op可以限定在覆盖层cvl中。相机cam可以设置在开口部分op中。
[0129]
第一粘合层al1可以设置在显示面板dp与覆盖层cvl之间。显示面板dp和覆盖层cvl可以通过第一粘合层al1彼此接合。第二粘合层al2可以设置在抗反射层rpl与输入检测单元isp之间。抗反射层rpl和输入检测单元isp可以通过第二粘合层al2彼此粘合。第三粘合层al3可以设置在窗win与抗反射层rpl之间。窗win和抗反射层rpl可以通过第三粘合层al3彼此粘合。
[0130]
图11至图15是示出根据本发明的各种实施例的固定部分的构造的视图。
[0131]
在下文中，将着重于与图1中所示的固定部分fp的构造不同的构造来描述图11至图15中所示的固定部分fp_1、fp_2、fp_3和fp_4的组件。图11至图15中所示的固定部分fp_1、fp_2、fp_3和fp_4可以像图1中所示的固定部分fp一样沿着第二掩模mk2的边缘设置在第二掩模mk2上。
[0132]
参照图11，固定部分fp_1可以包括彼此相邻设置的第一固定部分fp1和第二固定部分fp2。第一固定部分fp1可以具有“l”形状。第二固定部分fp2可以面对第一固定部分fp1并且具有其中字母“l”旋转180度的形状。
[0133]
参照图12，固定部分fp_2可以具有矩形框架形状。固定部分fp_2不像图1中所示的固定部分fp那样被划分为多个固定条fb1和fb2，而是可以具有一体的框架形状。
[0134]
参照图13，第一凹槽g1可以限定在固定部分fp_3的上表面上。第一凹槽g1可以限定在固定部分fp_3的上表面的预定部分中，并且可以沿着固定部分fp_3的延伸方向延伸。
[0135]
具体地，固定部分fp_3可以像图1中所示的固定部分fp_1一样包括多个第一固定条fb1_1和多个第二固定条fb2_1。第一固定条fb1_1可以在第一方向dr1上延伸，并且可以在第二方向dr2上彼此间隔开。第二固定条fb2_1可以在第二方向dr2上延伸，并且可以在第一方向dr1上彼此间隔开。
[0136]
第一凹槽g1限定在第一固定条fb1_1中的每个的上表面的预定部分中，并且限定
在第一固定条fb1_1中的每个中的第一凹槽g1可以在第一方向dr1上延伸。第一凹槽g1限定在第二固定条fb2_1中的每个的上表面的预定部分中，并且限定在第二固定条fb2_1中的每个中的第一凹槽g1可以在第二方向dr2上延伸。
[0137]
图14是示出其中图13中所示的固定部分fp_3通过焊接结合到第二掩模、第一掩模和掩模框架的状态的视图。
[0138]
作为示例，图14以剖面示出。
[0139]
参照图14，可以通过固定部分fp_3的第一凹槽g1执行激光焊接。在焊接工艺期间，突起pt可以形成在固定部分fp_3上。例如，固定部分fp_3的一部分可以熔化以形成突起pt。突起pt可以设置在第一凹槽g1中。
[0140]
当第一凹槽g1未形成在固定部分fp_3中并且突起pt由于焊接工艺而形成在固定部分fp_3的上表面上时，放置在固定部分fp_3的上表面上的母基底m_sub会被突起pt损坏。然而，在本发明的实施例中，由于突起pt设置在第一凹槽g1中，所以母基底m_sub不会被突起pt损坏。
[0141]
参照图15，第二凹槽g2限定在固定部分fp_4的上表面与固定部分fp_4的一侧之间，并且第二凹槽g2可以沿着固定部分fp_4的延伸方向延伸。固定部分fp_4可以包括多个第一固定条fb1_2和多个第二固定条fb2_2。第一固定条fb1_2和第二固定条fb2_2的布置位置可以与图13中所示的第一固定条fb1_1和第二固定条fb2_1的布置位置相同。
[0142]
第二凹槽g2可以限定在第一固定条fb1_2和第二固定条fb2_2中。第二凹槽g2限定在第一固定条fb1_2和第二固定条fb2_2中的每个的上表面与第一固定条fb1_2和第二固定条fb2_2中的每个的一侧之间，以沿着第一固定条fb1_2和第二固定条fb2_2中的每个的延伸方向延伸。
[0143]
图16是根据本发明的另一实施例的掩模的透视图。图17是当从上方观看时图16中所示的掩模的平面图。图18是沿着图17中所示的线iv-iv'截取的剖视图。
[0144]
除了第一掩模mk1和固定部分fp_5的组件之外，掩模msk_1的构造可以与图1中所示的掩模msk的构造相同。因此，在下文中，将主要以与图1中所示的掩模msk的构造不同的构造来描述掩模msk_1的构造，并且使用相同的附图标记来示出相同的构造。
[0145]
参照图16和图17，掩模msk_1可以包括多个第二掩模mk2'和分别设置在第二掩模mk2'上的多个第二固定部分fp_5。第二掩模mk2'中的每个可以包括网格部分msp。第二掩模mk2'的网格部分msp可以分别与第二开口部分op2叠置。阻挡部分blp可以设置在网格部分msp上。
[0146]
固定部分fp_5中的每个可以包括多个第一固定条fb1_3和多个第二固定条fb2_3。除了它们的尺寸不同之外，第一固定条fb1_3和第二固定条fb2_3的构造可以与图1中所示的第一固定条fb1和第二固定条fb2的构造基本上相同。
[0147]
参照图17和图18，第二掩模mk2'中的每个的边缘可以与第二开口部分op2之中的对应的第二开口部分op2相邻，以设置在对应的第二开口部分op2外部。当在平面上观看时，固定部分fp_5中的每个可以设置为围绕网格部分msp之中的对应的网格部分msp和第二开口部分op2之中的对应的第二开口部分op2。固定部分fp_5可以通过激光焊接固定到第二掩模mk2'和第一掩模mk1。
[0148]
参照图18，固定部分fp_5可以连接到第二掩模mk2'的与第二掩模mk2'的边缘相邻
的部分。第二掩模mk2'的与第二掩模mk2'的边缘相邻的部分可以连接到第一掩模mk1的与第二开口部分op2相邻的部分。第二掩模mk2'可以通过固定部分fp_5更牢固地固定到第一掩模mk1。
[0149]
图19是示出根据本发明的另一实施例的固定部分的构造的视图。
[0150]
图19示例性地示出了与图18对应的剖面。除了剖面形状之外，图19中所示的固定部分fp_6具有与图18中所示的固定部分fp_5的构造相同的构造。因此，在下文中，将主要描述固定部分fp_6的剖面形状。
[0151]
参照图19，固定部分fp_6的与第二开口部分op2相邻的一侧可以包括第一倾斜表面slp1和第二倾斜表面slp2。固定部分fp_6的与固定部分fp_6的一侧相对的另一侧可以具有与固定部分fp_6的一侧对称的形状。
[0152]
第一倾斜表面slp1可以从固定部分fp_6的与第二开口部分op2相邻的内边缘i_eg朝向固定部分fp_6的设置为高于内边缘i_eg的上表面us延伸。第二倾斜表面slp2可以从固定部分fp_6的内边缘i_eg朝向固定部分fp_6的设置为低于内边缘i_eg的下表面ls延伸。当在平面上观看时，固定部分fp_6的内边缘i_eg可以比固定部分fp_6的上表面us和固定部分fp_6的下表面ls靠近第二开口部分op2。
[0153]
第一倾斜表面slp1和第二倾斜表面slp2可以相对于第三方向dr3形成大于0度且小于90度的角度。优选地，第一倾斜表面slp1和第二倾斜表面slp2可以相对于第三方向dr3形成30度至60度的角度。
[0154]
图20是示出朝向图19中所示的固定部分喷射的沉积材料的视图。
[0155]
参照图20，与在具有矩形剖面的固定部分(由虚线示出)中相比，其中设置有沉积材料dpm的区域可以在具有第一倾斜表面slp1和第二倾斜表面slp2的固定部分fp_6中进一步扩展。在这种情况下，沉积材料dpm可以设置在更宽的区域中。
[0156]
尽管参照实施例进行了描述，但是本领域技术人员将理解的是，在不脱离所附权利要求中描述的本发明的精神和范围的范围内，可以对本发明进行各种修改和改变。另外，本发明中公开的实施例不旨在限制本发明的技术构思，并且在所附权利要求和等同物的范围内的所有技术构思应当被解释为包括在本发明的范围内。
[0157]
工业实用性
[0158]
当在制造显示面板中使用的掩模更牢固地固定时，显示面板的产量增大，因此本发明具有高工业实用性。