薄膜厚度测量方法、装置、设备和计算机程序产品

1.本技术涉及红外测量技术领域，特别是涉及一种薄膜厚度测量方法、装置、设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品。


背景技术：

2.薄膜也即薄膜材料，是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层，薄膜的物理厚度测量技术在电子、光电和塑料薄膜等技术领域具有重要意义。
3.薄膜厚度测量方法包括机械接触测量法和光学测量法，由于机械接触测量法的测量误差较大，通常采用光学测量法进行测量。然而，光学测量法(例如椭圆偏振光谱技术)容易因为薄膜的折射率不同，对测量结果产生较大的影响。因此，传统的薄膜厚度测量方法存在测量可靠性差的问题。


技术实现要素：

4.基于此，有必要提供一种薄膜厚度测量方法、装置、设备、计算机可读存储介质和计算机程序产品，以解决薄膜厚度测量可靠性差的问题。
5.第一方面，本技术提供一种薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，且所述待测薄膜夹设于第一红外窗口片和第二红外窗口片之间，所述方法包括：
6.控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。
7.上述薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，并将待测薄膜夹设于第一红外窗口片与第二红外窗口片之间，使得第一红外窗口片与第二红外窗口片之间的距离与待测薄膜的厚度一致。在进行测量时，首先控制红外光源透过第一红外窗口片，向待测薄膜的小孔射入红外光，之后该红外光通过第二红窗口片射出，并对射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。最终结合实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。上述方案，结合傅里叶变换红外光谱分析，实现待测薄膜的厚度测量，红外光从待测薄膜的小孔入射，避免薄膜的折射率对测量产生影响，具有测量可靠性强的优点。
8.在一些实施例中，所述对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：获取不同波长的红外光入射所述待测薄膜的小孔后，从所述第二红外窗口片射出的红外光信号；根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
9.在一些实施例中，所述根据各所述红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱的步骤，包括：分别对各所述红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各所述实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
10.在一些实施例中，所述根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度的步骤之前，还包括：根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各所述理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
11.在一些实施例中，所述预设透过率计算模型为：其中，k＝2π/λ，λ为波长，d为预估薄膜厚度，n为红外窗口片折射率，t为理论透过率。
12.在一些实施例中，所述根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度的步骤，包括：判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致；若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱不一致，则调整所述预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱，并返回所述判断预设理论红外光谱与所述实际红外光谱是否一致的步骤；若预设理论红外光谱与所述实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为所述待测薄膜的厚度。
13.第二方面，本技术还提供一种薄膜厚度测量装置，包括：
14.红外光输出控制模块，用于控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；光谱分析模块，用于对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；厚度拟合模块，用于根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。
15.第三方面，本技术还提供一种薄膜厚度测量设备，包括第一红外窗口片、第二红外窗口片、红外光源、红外光探测器、存储器和处理器，所述红外光源和所述红外光探测器分别连接所述处理器，所述存储器连接所述处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现以下步骤：
16.控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。
17.第四方面，本技术还提供了一种计算机可读存储介质。所述计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
18.控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。
19.第五方面，本技术还提供了一种计算机程序产品。所述计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
20.控制红外光源输出依次经过所述第一红外窗口片、所述小孔和所述第二红外窗口片的红外光；对从所述第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据所述实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到所述待测薄膜的厚度。
附图说明
21.图1为本技术一些实施例中薄膜厚度测量方法流程示意图；
22.图2为本技术一些实施例中待测薄膜设置示意图；
23.图3为本技术一些实施例中红外光谱示意图；
24.图4为本技术一些实施例中薄膜厚度测量方法流程示意图；
25.图5为本技术一些实施例中薄膜厚度测量方法流程示意图；
26.图6为本技术一些实施例中薄膜厚度测量方法流程示意图；
27.图7为本技术一些实施例中拟合流程示意图；
28.图8为本技术一些实施例中薄膜厚度测量装置结构示意图；
29.图9为本技术一些实施例中薄膜厚度测量装置结构示意图；
30.图10为本技术一些实施例中薄膜厚度测量设备结构示意图。
具体实施方式
31.为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
32.请参阅图1，本技术提供一种薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，且待测薄膜夹设于第一红外窗口片和第二红外窗口片之间，该方法包括步骤102、步骤104和步骤106。
33.步骤102，控制红外光源输出依次经过第一红外窗口片、小孔和第二红外窗口片的红外光。
34.具体地，红外光源即为用来生成红外光的器件，红外窗口片即为能够透过红外光的光学元件，是一种光学平板，它不会改变光学放大倍率，在光路中仅影响光程。请结合参阅图2，为了便于测量，该实施例的方案，需要将待测薄膜200夹设于第一红外窗口片202和第二红外窗口片204之间，用第一红外窗口片202与第二红外窗口片204之间的距离，即可表征待测薄膜200的厚度。且在待测薄膜200上进行开孔，以使得红外光源发生的红外光，可经过其中一个红外窗口片入射待测薄膜的小孔201，之后再从另一个红外窗口片射出。
35.应当指出的是，红外光源的具体类型并不是唯一的，只要能够实现不同波长的红外光输出类型的红外光源均可。可以理解，在一个较为详细的实施例中，为了便于测量，第一红外窗口片和第二红外窗口片采用相同类型的窗口片，以保证两者的折射率一致。
36.步骤104，对从第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
37.具体地，傅里叶变换红外光谱(fourier transform infrared spectroscopy，ftir)是一种通过测量干涉图和对干涉图进行傅里叶变换的方法来测定红外光谱的技术。实际红外光谱即为在当前薄膜厚度下，利用上述测量结构进行测量时，不同波长的红外光经过第一红外窗口片、待测薄膜的小孔以及第二红外窗口片之后，得到的红外光的透过率与波长之间的对应关系曲线图，可结合参阅图3。宽频谱的红外光通过光学准直系统后，入射到待测薄膜开孔位置，对透射出来的红外光进行傅里叶变换红外光谱测试，即可获得红外透射光谱，也即得到实际红外光谱。
38.步骤106，根据实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。
39.具体地，预设理论红外光谱即为在一定的薄膜厚度的情况下，根据理论公式进行分析所得到的红外光谱。与实际红外光谱一致，其表征在一定的薄膜厚度下，不同波长的红外光照射时，通过理论计算得到的透过率与波长的对应关系。将预设理论红外光谱与实际红外光谱进行拟合时，若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，也即两者重合，那么此时预设理论红外光谱对应的薄膜厚度将会与实际红外光谱对应的薄膜厚度一致，此时可将预设理论红外光谱对应的薄膜厚度作为实际红外光谱的薄膜厚度，也即待测薄膜的厚度。
40.也即本技术所提供的薄膜厚度测量方法，实质为通过测量待测薄膜实际厚度下的实际红外光谱，以及经过理论计算得到一个预设理论红外光谱，通过逐渐调整预设理论红外光谱中对应的厚度值，使预设理论红外光谱逐渐逼近实际红外光谱，直至两者一致的过程。当两者重合时，直接将预设理论红外光谱对应的厚度值作为待测薄膜厚度即可。
41.上述薄膜厚度测量方法，待测薄膜开设有小孔，并将待测薄膜夹设于第一红外窗口片与第二红外窗口片之间，使得第一红外窗口片与第二红外窗口片之间的距离与待测薄膜的厚度一致。在进行测量时，首先控制红外光源透过第一红外窗口片，向待测薄膜的小孔射入红外光，之后该红外光通过第二红窗口片射出，并对射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。最终结合实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。上述方案，结合傅里叶变换红外光谱分析，实现待测薄膜的厚度测量，红外光从待测薄膜的小孔入射，避免薄膜的折射率对测量产生影响，具有测量可靠性强的优点。
42.请参阅图4，在一些实施例中，步骤104包括步骤402和步骤404。
43.步骤402，获取不同波长的红外光入射待测薄膜的小孔后，从第二红外窗口片射出的红外光信号；步骤404，根据各红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
44.具体地，该实施例的方案中，红外光源具体为一个宽光谱的光源，其产生的红外光的波长可根据需求进行改变。在红外光源出，所产生的红外光被分束器(类似半透半反镜)分为两束，一束经透射到达动镜，另一束经反射到达定镜。两束光分别经定镜和动镜反射再回到分束器，动镜以一恒定速度作直线运动，因而经分束器分束后的两束光形成光程差，产生干涉。干涉光在分束器会合后通过第一红外窗口片、待测薄膜以及第二红外窗口片，之后含有待测薄膜相关信息的干涉光信号(也即上述红外光信号)被接收，通过傅里叶变换对干涉光信号进行处理，最终可得到相应的红外光谱，也即实际红外光谱。上述方案，通过傅里叶变换红外光谱进行检测，可精确得到当前待测薄膜厚度下，红外光通过待测薄膜的小孔后的红外光对应的实际红外光谱，具有较强的检测可靠性。
45.上述实施例的方案，在进行待测薄膜的厚度测量时，充分利用了多个波长处的红外光的透过率，避开了待测薄膜的折射率对薄膜厚度测量的影响，通过理论计算与拟合，能够快速、精确得到薄膜的物理厚度，具有较高的重复性。且该测量方法无需进行反复的数学迭代，因而结果更加稳定，更加适用于电子和光电行业塑料薄膜厚度的快速检测。
46.请参阅图5，在一些实施例中，步骤404包括步骤502和步骤504。
47.步骤502，分别对各红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；步
骤504，根据各实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
48.具体地，为了便于得到实际红外光谱，需要得到不同波长红外光对应的透过率。因此，该实施例的方案中，分别控制红外光源向待测薄膜的小孔发射不同波长的红外光，并分别在不同波长的红外光下，采集从第二红外窗口片输出的红外光信号，进行傅里叶变换，对每一个波长的红外光均得到一个对应的实际透过率。最终将红外光的波长和对应的实际透过率在同一坐标系中建立对应关系，即可得到实际红外光谱。
49.应当指出的是，红外光信号的获取方式并不是唯一的，在一个实施例中，第二红外窗口片远离第一红外窗口片的一侧，设置有红外光探测器，红外光经第一红外窗口片、待测薄膜的小孔和第二红外窗口片之后，被红外光探测器接收，从而得到相应的红外信号。
50.请参阅图6，在一些实施例中，步骤106之前，该方法还包括步骤602和步骤604。
51.步骤602，根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；步骤604，根据各理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
52.具体地，与上述实际红外光谱一致，预设理论红外光谱同样表征不同波长与对应透过率之间的对应关系。所不同的是，预设理论红外光谱中的理论透过率通过当前测量方法对应系统中，各个器件参数和预设透过率计算模型进行计算得到。在理论计算过程中，只需预估薄膜厚度(将其认为一个已知量)，结合预设透过率计算模型，即可计算得到不同波长对应的透过率。
53.应当指出的是，预估薄膜厚度的大小并不是唯一的，其可结合实际待测薄膜的种类进行预估，然后由用户输入。在另一个实施例中，也可以是为每一种待测薄膜预设一个预估薄膜厚度得到一个数据库，在实际测量过程中，只需根据待测薄膜的厚度在数据库中进行匹配即可。
54.可以理解，结合波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型得到透过率的方式并不是唯一的，在一个较为详细的实施例中，预设透过率计算模型为：其中，k＝2π/λ，λ为波长，d为预估薄膜厚度，n为红外窗口片折射率，t为理论透过率。
55.具体地，i为单位负数，exp指自然常数e为底的指数函数。该实施例的方案，第一红外窗口片和第二红外窗口片为相同类型的窗口片，波长也即红外光的波长，在测量系统一定的情况下，红外窗口片折射率是固定值，根据所选用的红外窗口片不同而有所需求。在预估薄膜厚度一定的情况下，针对每一个波长的红外光，均可结合本实施例的预设透过率计算模型计算得到一个对应的理论透过率，结合多个波长对应的理论透过率，即可得到预设理论红外光谱。
56.预设理论红外光谱具体可通过物理光学中的传输矩阵计算方法获得，具体为：光在平面层状结构中的传输过程中，存在一个正向传播的本征模和一个反向传播的本征模，这两个本征模在层状物质的表面发生反射和透射时，其相对强度的变化可以由一个2阶动态矩阵来关联；光通过某一层材料时，两个本征模相对强度的变化可以由一个2阶传播矩阵来关联；光通过整个多层结构材料的透过率和反射率，可以由这些动态矩阵和传播矩阵的乘积来关联；这些矩阵中的元素由菲涅尔公式计算获得。经过该种方式，最终得到本技术薄
膜厚度测量反方对应系统下，对应的透过率计算模型。
57.应当指出的是，在一个实施例中，为了提高测量精确度，在进行预设理论红外光谱计算以及实际红外光谱的测量过程中，红外光的波长选择将完全一致，也即实际测量时选用了哪些波长的红外光，在进行理论计算时，同样采用相同波长的红外光进行理论透过率的计算。
58.可以理解中，在其它实施例中，还可以是预设理论红外光谱计算以及实际红外光谱的测量过程中，红外光的波长选择不完全相同，只要保证两种操作中，均能得到准确的红外光谱即可。
59.请参阅图7，在一些实施例中，步骤106包括步骤702、步骤704和步骤706。
60.步骤702，判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致。步骤704，若预设理论红外光谱与实际红外光谱不一致，则调整预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱。并返回判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的操作。步骤706，若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为待测薄膜的厚度。
61.具体地，根据预设理论红外光谱和实际红外光谱进行拟合的过程，实质为调整预估薄膜厚度，改变预设理论红外光谱，使得预设理论红外光谱逐渐逼近实际红外光谱，最终使得两者一致的过程。预设理论红外光谱的计算过程中，红外光的波长以及红外窗口片折射率均是一定的，随着预估薄膜厚度的变化，预设理论红外光谱也会随着发生变化，根据这一特性，当预设理论红外光谱与实际红外光谱重合时，表明预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，也即预设理论红外光谱中的预估薄膜厚度与实际红外光谱中所选用的薄膜厚度一致。
62.可以理解，判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的方式并不是唯一的，在一个实施例中，可以是分别检测各个红外波长下，对应的透过率是否一致。
63.应该理解的是，虽然如上的各实施例所涉及的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，如上的各实施例所涉及的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
64.基于同样的发明构思，本技术实施例还提供了一种用于实现上述所涉及的薄膜厚度测量方法的薄膜厚度测量装置。该装置所提供的解决问题的实现方案与上述方法中所记载的实现方案相似，故下面所提供的一个或多个薄膜厚度测量装置实施例中的具体限定可以参见上文中对于薄膜厚度测量方法的限定，在此不再赘述。
65.请参阅图8，薄膜厚度测量装置包括：红外光输出控制模块802、光谱分析模块804和厚度拟合模块806。
66.红外光输出控制模块802用于控制红外光源输出依次经过第一红外窗口片、小孔和第二红外窗口片的红外光；光谱分析模块804用于对从第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；厚度拟合模块806用于根据实际红外光谱
和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。
67.在一些实施例中，光谱分析模块804还用于获取不同波长的红外光入射待测薄膜的小孔后，从第二红外窗口片射出的红外光信号；根据各红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
68.在一些实施例中，光谱分析模块804还用于分别对各红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
69.在一些实施例中，请参阅图9，厚度拟合模块806之前，该装置还包括预设理论红外光谱计算模块902。预设理论红外光谱计算模块902用于根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
70.在一些实施例中，厚度拟合模块806还用于判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致。若预设理论红外光谱与实际红外光谱不一致，则调整预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱。并返回判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的操作。若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为待测薄膜的厚度。
71.上述薄膜厚度测量装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于计算机设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于计算机设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
72.请结合参阅图10，本技术还提供一种薄膜厚度测量设备，包括第一红外窗口片202、第二红外窗口片204、红外光源205、红外光探测器206、存储器208和处理器207，红外光源205和红外光探测器206分别连接处理器207，存储器208连接处理器207，存储器208中存储有计算机程序，该处理器207执行计算机程序时实现以下步骤：
73.控制红外光源205输出依次经过第一红外窗口片202、小孔和第二红外窗口片204的红外光；对从第二红外窗口片204射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。
74.在一些实施例中，处理器207执行计算机程序时还实现以下步骤：获取不同波长的红外光入射待测薄膜的小孔后，从第二红外窗口片204射出的红外光信号；根据各红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
75.在一些实施例中，处理器207执行计算机程序时还实现以下步骤：分别对各红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
76.在一些实施例中，处理器207执行计算机程序时还实现以下步骤：根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
77.在一些实施例中，处理器207执行计算机程序时还实现以下步骤：判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致。若预设理论红外光谱与实际红外光谱不一致，则调整预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱。并返回判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的操作。若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外
光谱对应的预估薄膜厚度作为待测薄膜的厚度。
78.在一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
79.控制红外光源输出依次经过第一红外窗口片、小孔和第二红外窗口片的红外光；对从第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。
80.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：获取不同波长的红外光入射待测薄膜的小孔后，从第二红外窗口片射出的红外光信号；根据各红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
81.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：分别对各红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
82.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
83.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致。若预设理论红外光谱与实际红外光谱不一致，则调整预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱。并返回判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的操作。若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为待测薄膜的厚度。
84.在一个实施例中，提供了一种计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
85.控制红外光源输出依次经过第一红外窗口片、小孔和第二红外窗口片的红外光；对从第二红外窗口片射出的红外光进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱；根据实际红外光谱和预设理论红外光谱进行拟合，得到待测薄膜的厚度。
86.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：获取不同波长的红外光入射待测薄膜的小孔后，从第二红外窗口片射出的红外光信号；根据各红外光信号进行傅里叶变换红外光谱分析，得到实际红外光谱。
87.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：分别对各红外光信号分别进行傅里叶变换，得到对应的实际透过率；根据各实际透过率和对应红外光的波长，得到实际红外光谱。
88.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：根据不同红外光的波长、红外窗口片折射率、预估薄膜厚度和预设透过率计算模型，得到不同红外光对应的理论透过率；根据各理论透过率和对应的波长，得到预设理论红外光谱。
89.在一个实施例中，计算机程序被处理器执行时还实现以下步骤：判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致。若预设理论红外光谱与实际红外光谱不一致，则调整预估薄膜厚度，得到调整后的预设理论红外光谱。并返回判断预设理论红外光谱与实际红外光谱是否一致的操作。若预设理论红外光谱与实际红外光谱一致，则将当前预设理论红外光谱对应的预估薄膜厚度作为待测薄膜的厚度。
90.本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本技术所提供的各实施例中所使用的对存储器、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(read-only memory，rom)、磁带、软盘、闪存、光存储器、高密度嵌入式非易失性存储器、阻变存储器(reram)、磁变存储器(magnetoresistive random access memory，mram)、铁电存储器(ferroelectric random access memory，fram)、相变存储器(phase change memory，pcm)、石墨烯存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(random access memory，ram)或外部高速缓冲存储器等。作为说明而非局限，ram可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(static random access memory，sram)或动态随机存取存储器(dynamic random access memory，dram)等。本技术所提供的各实施例中所涉及的数据库可包括关系型数据库和非关系型数据库中至少一种。非关系型数据库可包括基于区块链的分布式数据库等，不限于此。本技术所提供的各实施例中所涉及的处理器可为通用处理器、中央处理器、图形处理器、数字信号处理器、可编程逻辑器、基于量子计算的数据处理逻辑器等，不限于此。
91.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
92.以上所述实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本技术专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术的保护范围应以所附权利要求为准。