搬送系统的制作方法

1.本发明的一个方面涉及搬送系统。


背景技术：

2.作为与搬送系统相关的技术，已知专利文献1中记载的表面安装装置。专利文献1所记载的表面安装装置具备头部单元(搬送装置)、和与头部单元连结的电缆拖链(cableveyor)(注册商标、电缆部)。在专利文献1所记载的表面安装装置中，在电缆拖链与引导电缆拖链的引导部件之间设有橡胶等防振材料。
3.现有技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本专利第4986668号公报


技术实现要素：

6.在上述技术中，谋求通过防振材料来抑制伴随电缆部的移动而产生的振动。但是，在上述技术中，由于防振材料因与电缆部接触而磨损，所以存在防振材料容易劣化、系统的振动抑制性能的耐久性低的问题。
7.因此，本发明的一个方面的课题在于，提供一种能够抑制伴随电缆部的移动而产生的振动、并能够提高振动抑制性能的耐久性的搬送系统。
8.本发明的一个方面的搬送系统具备：搬送物品的搬送装置；电缆部，该电缆部的一端与搬送装置连接，另一端固定于地面侧，并相应于搬送装置的移动而移动；和载置部，该载置部设置为能够载置电缆部，载置部具有基座、和设于基座且减振性比基座高的第一减振部件，就第一减振部件而言，不在该第一减振部件上支承电缆部。
9.在该搬送系统中，通过第一减振部件能够抑制伴随电缆部的移动而产生的振动。另外，由于不会因第一减振部件与电缆部的接触而发生磨损、且电缆部的载荷不会作用于第一减振部件，所以第一减振部件不易劣化。因此，能够提高振动抑制性能的耐久性。
10.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，就载置于载置部的电缆部而言，其一部分与载置部接触，当从上方观察时，第一减振部件设于不与电缆部的有关接触面重叠的位置。在该情况下，能够具体实现第一减振部件不支承电缆部的结构。
11.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，载置于载置部的电缆部以其宽度方向的两侧部与载置部接触，当从上方观察时，第一减振部件配置在电缆部的该两侧部之间。在该情况下，能够具体实现当从上方观察时第一减振部件不与同电缆部的接触面重叠的结构。另外，能够活用两侧部之间的空间，从而能够节省空间。
12.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，电缆部具有：与搬送装置连接的电力电缆及信号电缆中的至少某一个；和电缆收容部，该电缆收容部与搬送装置连接，将电力电缆及信号电缆中的至少某一个收容在内部，并引导电力电缆及信号电缆中的至少某一个以使该电力电缆及该信号电缆中的至少某一个跟随搬送装置的移动。在该情况下，能够具
体构成电缆部。另外，能够使电力电缆及信号电缆中的至少某一个在受保护的状态下跟随搬送装置的移动。
13.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，搬送装置以沿第一方向移动的方式构成，基座包括限制部，该限制部限制载置于该基座的电缆部向与第一方向交叉的第二方向移动。在该情况下，通过限制部能够抑制电缆部向第二方向偏离。
14.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，载置部具有设于基座且由与第一减振部件不同的材料形成的第二减振部件，就第二减振部件而言，在该第二减振部件上支承电缆部。能够进一步抑制伴随电缆部的移动而产生的振动。
15.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，当从上方观察时，第二减振部件设于与电缆部同载置部接触的接触面重叠的位置。在该情况下，能够具体实现第二减振部件支承电缆部的结构。
16.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，载置部具有设于第二减振部件上且由比第二减振部件硬的材料形成的保护部件。由此，能够保护第二减振部件。
17.在本发明的一个方面的搬送系统中，也可以是，载置部具有设于保护部件上且由摩擦系数比保护部件小的材料形成的平滑部件。由此，能够抑制保护部件因与电缆部的接触而磨损。
18.本发明的一个方面的搬送系统也可以具备：具有多个收容物品的置物架的仓储装置；和支承仓储装置的架台，载置部安装于架台。在该情况下，伴随电缆部的移动而产生的振动容易经由架台传递至仓储装置及物品。由于物品的振动抑制很重要，所以上述抑制伴随电缆部的移动而产生的振动的效果特别有效。
19.发明效果
20.根据本发明的一个方面，能够提供一种能够抑制伴随电缆部的移动而产生的振动、并能够提高振动抑制性能的耐久性的搬送系统。
附图说明
21.图1是表示实施方式的搬送系统的主视图。
22.图2是表示实施方式的堆垛起重机的立体图。
23.图3是表示实施方式的电缆部的概要的主视图。
24.图4是表示实施方式的电缆部、固定导件及导辊(guide roller)的立体图。
25.图5是表示实施方式的固定导件及导辊的侧视图。
26.图6是表示实施方式的固定导件的侧视图。
27.图7是表示实施方式的固定导件的立体图。
28.图8是放大表示实施方式的固定导件的一部分的侧剖视图。
29.图9是表示实施方式的导辊的立体图。
30.图10是沿着图9的x-x线的剖视图。
31.图11是表示实施例及比较例的噪声试验结果的图。
具体实施方式
32.以下，参照附图对实施方式进行详细说明。此外，对相同或相当的要素标注相同的
附图标记并省略重复说明。
33.如图1所示，一个实施方式的搬送系统1具备多个仓储装置(stocker)2。关于仓储装置2，堆垛起重机7在仓储装置主体3的内部行驶，并在设于仓储装置主体3的内部的多个置物架s与出入库口(未图示)之间搬送物品。在仓储装置2内，例如保管由堆垛起重机7搬送来的物品。物品例如是收容由半导体制造装置或液晶制造装置等处理的晶圆的foup(front-opening unified pod：前开式晶圆传送盒)、以及收容在半导体制造装置或液晶制造装置等中使用的标线片(reticle)的标线片盒(reticle pod)等容器。
34.在搬送系统1中，两个(多个)仓储装置2a、2b沿堆垛起重机7的行驶方向排列。在搬送系统1中，在各个仓储装置2的内部分别配备有两台堆垛起重机7(7a、7b)。仓储装置2具备仓储装置主体3、架部(rack)4及堆垛起重机7a、7b。仓储装置2由架台8支承(参照图5)。以下，为了方便而将堆垛起重机7的行驶方向作为x方向(第一方向)、将铅垂方向作为z方向、并将与x方向及z方向正交的水平方向作为y方向(第二方向)进行说明。
35.仓储装置主体3例如形成为中空的长方体状。在仓储装置主体3内，沿着x方向铺设有供堆垛起重机7行驶的行驶轨道31、和以与行驶轨道31在z方向上相对的方式配置的辅助轨道32。堆垛起重机7沿着行驶轨道31及辅助轨道32行驶(移动)。堆垛起重机7是在置物架s与出入库口之间搬送物品、并相对于置物架s进行物品的移载的搬送装置。架部4在仓储装置主体3内沿着x方向设置。架部4以隔着行驶轨道31彼此相对的方式成对配置。在架部4设有多个收容物品的置物架s。
36.如图2及图3所示，堆垛起重机7具备行驶部71、柱杆(mast)72、移载部75及辅助行驶部90。行驶部71具有行驶用马达78、升降用马达82及壳体85。行驶部71沿着行驶轨道31行驶。行驶部71包括沿着行驶轨道31的上表面滚动的驱动轮。行驶用马达78是行驶用驱动轮76的驱动源。升降用马达82是升降台73的驱动源。壳体85收容行驶用马达78及升降用马达82。此外，在图2中示出了将壳体85拆下后的状态。柱杆72沿z方向竖立设置在行驶部71的上部。移载部75在其与置物架s之间移载物品，并且在其与出入库口之间移载物品。辅助行驶部90沿着辅助轨道32行驶。辅助行驶部90包括在将辅助轨道32夹入的状态下滚动的一对驱动轮。
37.如图3及图4所示，搬送系统1具备电缆部10。电缆部10的一端10a与堆垛起重机7连接，另一端固定在地面侧，并相应于堆垛起重机7的移动而移动。电缆部10呈长条形状。电缆部10包括：从堆垛起重机7向x方向的一侧延伸的上层部10x；从上层部10x以向下方翻折成u字形的方式延伸的u字部10y；和从u字部10y向x方向的另一侧延伸的下层部10z。在堆垛起重机7向x方向的一侧或另一侧移动的情况下，电缆部10与此相伴地以一端10a及u字部10y向一侧或另一侧进行行程移动(移动)的方式移动。
38.电缆部10具有电力电缆11及电缆拖链15。电力电缆11与堆垛起重机7连接，并与仓储装置2内的电源部(未图示)连接。由此，堆垛起重机7被从电源部经由电力电缆11供电。作为电力电缆11并不特别限定，能够使用各种形状或规格的电缆。
39.电缆拖链15将电力电缆11收容在内部以保护电力电缆11。与此同时，电缆拖链15引导该电力电缆11以使电力电缆11跟随堆垛起重机7的移动。电缆拖链15构成电缆收容部。电缆拖链15具有可动端及固定端。电缆拖链15的可动端与堆垛起重机7的行驶部71连接。电缆拖链15的固定端安装于仓储装置2的架台8(参照图5)而固定。电缆拖链15构成为仅在绕
沿着y方向的轴的方向上弯曲。作为电缆拖链15并不特别限定，能够使用各种形状或规格的零部件。
40.如图4及图5所示，搬送系统1具备引导电缆部10的电缆导件20。电缆导件20具有固定导件21及导辊41。固定导件21构成以能够载置电缆部10的方式设置的载置部。固定导件21与电缆部10中的下层部10z的电缆拖链15接触(抵接)。固定导件21在支承下层部10z的同时对其进行引导，以使下层部10z不会偏离。固定导件21设为从与电缆拖链15的固定端接近的位置向x方向的一侧延伸。此外，在图5中省略电缆部10的图示(图7也一样)。
41.固定导件21具有基座22、第一减振部件24、第二减振部件25、保护部件26及平滑部件27。基座22是以z方向作为厚度方向且沿x方向延伸的板状部件。基座22的y方向的宽度与电缆拖链15的y方向的宽度对应。基座22经由固定导件安装用撑条28而悬臂支承于对仓储装置2进行支承的架台8的梁部件8a。
42.梁部件8a是在仓储装置2的下方沿x方向延伸的部件。固定导件安装用撑条28是在y方向上较长且呈弯曲板状的部件。固定导件安装用撑条28载置基座22，并通过螺丝n1与该基座22固定。固定导件安装用撑条28的前端侧构成向上方弯折成直角的形状，并接近后述的限制壁23的外表面。固定导件安装用撑条28的基端侧通过螺丝n2而固定在梁部件8a的上表面。由此，固定导件21被安装在架台8上。基座22包括限制壁(限制部)23。
43.限制壁23是从基座22的y方向的两端向上方突出的板状部件。限制壁23设为与基座22的y方向的两端相连。换言之，限制壁23设为从基座22的y方向的两端向上方弯折成直角。限制壁23限制载置于基座22上的电缆拖链15向y方向移动。
44.如图5、图6、图7及图8所示，第一减振部件24是设于基座22且减振性比基座22高的部件。第一减振部件24呈在z方向上具有规定厚度的矩形片状。第一减振部件24通过粘接而固定在基座22上的y方向的中央部分。第一减振部件24沿着x方向断续地并列设置。作为第一减振部件24，例如能够使用沥青、丁基橡胶、铅等通常具有减振效果的材料。作为第一减振部件24的材料并不特别限定，能够将各种材料用于第一减振部件24，只要是能够实现其功能的材料即可。“减振”是指使正在振动的物体的振幅减小或使振动衰减。例如，第一减振部件24随着固定导件21的振动而反复伸长，从而将振动能量转换成热能以使振动衰减。
45.第二减振部件25是设于基座22且由与第一减振部件24不同的材料形成的部件。第二减振部件25呈比第一减振部件24厚的矩形片状。第二减振部件25通过粘接而固定在基座22的上表面的y方向的两端部分。第二减振部件25沿着x方向连续地配置。作为第二减振部件25，例如能够使用橡胶及聚氨酯等树脂类材料。作为第二减振部件25的材料并不特别限定，能够将各种材料用于第二减振部件25，只要是能够实现其功能的材料即可。
46.保护部件26是设于第二减振部件25上且由比第二减振部件25硬的材料形成的部件。保护部件26呈比第二减振部件25薄的矩形片状。保护部件26以层叠于第二减振部件25的上表面的方式通过粘接而固定在该第二减振部件25的上表面。保护部件26沿着x方向连续地配置。作为保护部件26，例如能够使用硬质橡胶及尼龙等。作为保护部件26的材料并不特别限定，能够将各种材料用于保护部件26，只要是能够实现其功能的材料即可。
47.平滑部件27是设于保护部件26上且由摩擦系数比保护部件26小的材料形成的部件。平滑部件27呈比保护部件26薄的矩形片状。平滑部件27以层叠于保护部件26的上表面的方式通过粘接而固定在该保护部件26的上表面。平滑部件27沿着x方向连续地配置。作为
平滑部件27，例如能够使用new light(注册商标)、聚乙烯、氟、特氟龙(teflon、注册商标)及聚氯乙烯等。作为平滑部件27的材料并不特别限定，能够将各种材料用于平滑部件27，只要是能够实现其功能的材料即可。
48.在本实施方式中，在固定导件21上载置电缆部10的情况下，电缆部10的一部分与固定导件21接触。具体而言，电缆拖链15的下表面的y方向(宽度方向)的两侧部与平滑部件27的上表面接触。电缆拖链15的两侧部构成与固定导件21接触的接触面r。
49.就第一减振部件24而言，不在该第一减振部件24上支承电缆部10。也就是说，当从上方观察时，第一减振部件24设于不与电缆拖链15的两侧部重叠的位置。当从上方观察时，第一减振部件24配置在电缆拖链15的两侧部之间。第一减振部件24的上表面与平滑部件27的上表面相比并未位于上方，在第一减振部件24与电缆拖链15之间形成间隙。
50.就第二减振部件25而言，在该第二减振部件25上支承电缆部10。就保护部件26而言，在该保护部件26上支承电缆部10。就平滑部件27而言，在该平滑部件27上支承电缆部10。当从上方观察时，第二减振部件25、保护部件26及平滑部件27设于与电缆拖链15的两侧部重叠的位置。
51.如图4、图5、图9及图10所示，导辊41与电缆部10中的上层部10x的电缆拖链15接触。导辊41将上层部10x以能够沿x方向滑动的方式进行支承，并且引导上层部10x在x方向上的移动。导辊41在与固定导件21相比靠x方向的另一侧的位置以沿着x方向隔开规定间隔地排列的方式配置。
52.导辊41包括辊筒(roller)42、辊筒安装用撑条43、架台安装用撑条44及索环(grommet)45。辊筒42以沿y方向延伸的旋转轴42a为中心旋转自如地设置。辊筒安装用撑条43是以y方向作为厚度方向的板状部件。在辊筒安装用撑条43的上部，通过螺丝等固定有辊筒42的旋转轴42a的基端侧。
53.架台安装用撑条44是以y方向作为厚度方向的板状部件。在架台安装用撑条44的上部，形成有当从y方向观察时呈u字形的缺口44。在缺口44内穿插辊筒42。在架台安装用撑条44的从上部到中央部的区域的后侧，隔开规定间隙地重叠有辊筒安装用撑条43。在该状态下，该辊筒安装用撑条43通过插入其四个角部的螺丝n3而固定于架台安装用撑条44。架台安装用撑条44的下部通过螺丝n4固定在梁部件8a的前表面。由此，导辊41被安装在架台8上。
54.索环45是隔着轴环45a设于螺丝n3的轴部周围并以y方向作为轴向的筒状部件。索环45由橡胶形成。索环45具有其轴向的前端部45f及后端部45r扩径的结构。前端部45f以夹在辊筒安装用撑条43与架台安装用撑条44之间的方式配置。后端部45r以与辊筒安装用撑条43的后表面抵接的方式配置。通过索环45介于其中，辊筒安装用撑条43与架台安装用撑条44被隔开，能够抑制来自导辊41的振动等传递至架台8。轴环45a是配置在索环45与螺丝n3之间的筒状部件。轴环45a防止因螺丝n3的紧固而索环45在y方向上被过度压坏。在y方向上的螺丝n3的头部与索环45的后端部45r之间设有垫圈w。
55.在导辊41中，电缆部10中的上层部10x的电缆拖链15的下表面与辊筒42接触。当电缆拖链15随着堆垛起重机7在x方向上的移动而在x方向上移动时，辊筒42旋转，引导电缆拖链15在x方向上的该移动。
56.在如以上那样构成的搬送系统1中，在堆垛起重机7向x方向的一侧移动的情况下，
电缆部10以u字部10y向x方向的一侧进行行程移动、且下层部10z增加的方式移动。此时，与下层部10z增加相应地，电缆拖链15以碰撞的方式与固定导件21接触，从而存在产生振动的隐忧。关于这点，在搬送系统1中，通过第一减振部件24能够抑制伴随电缆部10的移动而产生的振动。另外，由于不会因第一减振部件24与电缆部10的接触而发生磨损、且电缆部10的载荷不会作用于第一减振部件24，所以第一减振部件24不易劣化。因此，能够提高搬送系统1的振动抑制性能的耐久性。
57.在搬送系统1中，就载置于固定导件21的电缆部10而言，其电缆拖链15的一部分与固定导件21接触，当从上方观察时，第一减振部件24设于不与电缆部10的该接触面r重叠的位置。在该情况下，能够具体实现第一减振部件24不支承电缆部10的结构。
58.在搬送系统1中，载置于固定导件21上的电缆部10以其电缆拖链15的两侧部与固定导件21接触，当从上方观察时，第一减振部件24配置在电缆部10的该两侧部之间。在该情况下，能够具体实现当从上方观察时第一减振部件24不与电缆部10的接触面r重叠的结构。另外，能够活用两侧部之间的空间，从而能够节省空间。
59.在搬送系统1中，电缆部10具有与堆垛起重机7连接的电力电缆11及电缆拖链15。电缆拖链15将电力电缆11收容在内部，并且引导该电力电缆11以使电力电缆11跟随堆垛起重机7的移动。在该情况下，能够具体构成电缆部10。另外，能够在电力电缆11受保护的状态下使该电力电缆11跟随堆垛起重机7的移动。
60.在搬送系统1中，堆垛起重机7以沿x方向移动的方式构成。基座22具有限制载置于此的电缆部10向y方向移动的限制壁23。在该情况下，能够通过限制壁23抑制电缆部10向y方向偏离。
61.在搬送系统1中，固定导件21具有设于基座22且由与第一减振部件24不同的材料形成的第二减振部件25。就第二减振部件25而言，在该第二减振部件25上支承电缆部10。由此，能够进一步抑制伴随电缆部10的移动而产生的振动。
62.在搬送系统1中，当从上方观察时，第二减振部件25设于与电缆部10同固定导件21接触的接触面r重叠的位置。在该情况下，能够具体实现第二减振部件25支承电缆部10的结构。
63.在搬送系统1中，固定导件21具有设于第二减振部件25上且由比第二减振部件25硬的材料形成的保护部件26。由此，能够保护第二减振部件25。
64.在搬送系统1中，固定导件21具有设于保护部件26上且由摩擦系数比保护部件26小的材料形成的平滑部件27。由此，能够抑制保护部件26因与电缆部10的接触而磨损。
65.搬送系统1具备：具有多个收容物品的置物架s的仓储装置2；和支承仓储装置的架台8。固定导件21安装于架台8。在该情况下，伴随电缆部10的移动而产生的振动容易经由架台8传递至仓储装置2及物品。由于物品的振动抑制很重要，所以上述抑制伴随电缆部10的移动而产生的振动的效果特别有效。
66.图11是表示实施例及比较例的噪声试验结果的图。实施例与上述搬送系统1对应。在实施例中，使用了沥青作为第一减振部件24的材料，使用了苯乙烯类热塑性弹性体(tps)作为第二减振部件25的材料，使用了丙烯酸酯橡胶(acm)作为保护部件26的材料，并使用了new light作为平滑部件27的材料。在比较例中，未设置第一减振部件24、保护部件26和平滑部件27，并使用了聚氨酯作为第二减振部件25，除此以外均与实施例相同。噪声值是以比
较例的噪声值(db)为基准的情况下的相对值。从噪声试验结果能够确认：在实施例中能够相对于比较例实现约7％的噪声值的降低。
67.以上，对实施方式进行了说明，但本发明的一个形态并不限定于上述实施方式。
68.在上述实施方式中，第一减振部件24的位置并不特别限定，只要是不支承电缆部10的位置即可。例如，第一减振部件24也可以设于基座22的下表面，还可以设于基座22的限制壁23。在上述实施方式中，第一减振部件24的设置数量并不特别限定，可以是一个也可以是多个。在上述实施方式中，第一减振部件24也可以沿着x方向连续地配置。上述实施方式也可以代替电力电缆11或在其基础上具备与堆垛起重机7连接的信号电缆。在该情况下，电缆拖链15将信号电缆收容在内部，并引导该信号电缆以使信号电缆跟随堆垛起重机7的移动。
69.对于上述实施方式及变形例中的各结构而言，并不限定于上述的材料及形状，能够适用各种各样的材料及形状。上述实施方式或变形例中的各结构能够任意适用于其他实施方式或变形例中的各结构。上述实施方式或变形例中的各结构的一部分在不脱离本发明的一个形态的要旨的范围内能够适当省略。
70.附图标记说明
71.1：搬送系统，2：仓储装置，7、7a、7b：堆垛起重机(搬送装置)，8：架台，10：电缆部，11：电力电缆，15：电缆拖链(电缆收容部)，21：固定导件(载置部)，22：基座，23：限制壁(限制部)，24：第一减振部件，25：第二减振部件，26：保护部件，27：平滑部件，r：接触面，s：置物架。