一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统的制作方法

1.本发明涉及多线切割设备，特别涉及适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。


背景技术：

2.多线切割机是一种切割加工设备，通过金属丝线的高速往复运动，将半导体等硬脆性材料一次同时切割为数百片薄片。碳化硅属于硬脆性材料的一种。当切割加工碳化硅时，多线切割机需要使用砂浆去控制切割加工工序的温度。
3.砂浆液的温度对碳化硅的成型和成品率的控制尤为重要，因此有的多线切割机会提供一种砂浆适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。现有的循环冷却装置的管路路程长，磨粒分布不均匀。


技术实现要素：

4.本发明要解决的技术问题是，该循环冷却系统的管路路程长，磨粒分布不均匀，为此提供一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统。
5.本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
6.一种适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，包括砂桶，换热器、水箱装置以及喷嘴装置，所述砂桶上设有砂泵ⅰ和砂泵ⅱ，所述砂泵ⅰ的输入端与所述砂桶连通、输出端通过砂管ⅰ与所述换热器连通，所述砂泵ⅱ的输入端通过砂管ⅱ与所述换热器连通、输出端通过喷管组件与所述喷嘴装置连通，所述水箱装置包括机架、设置在所述机架上的水箱、设置在所述水箱上的水泵ⅰ和水泵ⅱ以及设置在所述水泵ⅱ上方并与机架固定连接的水凝箱，所述水泵ⅰ的输入端与所述水箱连通、输出端通过水管ⅰ与所述换热器连通，所述水泵ⅱ的输入端通过水管ⅱ与所述换热器连通、输出端通过水管ⅲ与所述水凝箱连通，且所述水凝箱通过水管ⅳ与所述水箱连通。
7.进一步，所述砂桶一端开设有砂浆进料口，所述砂桶还设有搅拌电机，所述砂桶内设有所述搅拌电机带动搅拌砂浆的搅拌器。
8.进一步，所述换热器包括壳体，所述壳体内形成换热腔，并且所述壳体上开设砂浆进液孔、砂浆出液孔、冷却水进液孔和冷却水出液孔，所述砂浆进液孔与所述砂管ⅰ连通，所述砂浆出液孔与所述砂管ⅱ连通，所述冷却水进液孔与所述水管ⅰ连通，所述冷却水出液孔与所述水管ⅱ连通。
9.进一步，所述喷管组件包括喷管ⅰ、质量流量监测装置、喷管ⅱ、喷管ⅲ，所述喷管ⅰ的一端与所述砂泵ⅱ的输出端连通、另一端与所述质量流量监测装置的输入端连通，所述喷管ⅱ的一端与所述质量流量监测装置的输出端连通、另一端与所述喷管ⅲ连通，所述喷管ⅲ一端与所述喷嘴装置连通。
10.进一步，所述喷嘴装置为两个，所述喷管ⅲ为c型喷管，所述喷管ⅲ的中部与所述喷管ⅱ连通，所述喷管ⅲ分别与两个所述喷嘴装置连通。
11.进一步，所述砂桶的底壁上设有行走轮。
12.进一步，所述砂桶的侧壁上设有拉手。
13.本发明具有如下优点：
14.①
在砂泵ⅰ和砂泵ⅱ的驱动作用下，砂浆通过砂管ⅰ和砂管ⅱ在砂桶与换热器之间循环流动，循环冷却系统的管路路程短，磨粒分布均匀。
15.②
在搅拌电机的驱动作用下，搅拌器能够将流入砂桶内的砂浆与通过砂管ⅱ流入砂桶的经过换热后的砂浆充分混合，以提升砂浆的冷却效果。
16.③
砂浆依次通过喷管ⅰ、质量流量监测装置、喷管ⅱ、喷管ⅲ，以流动至喷嘴装置中。
附图说明
17.图1为一实施例的适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统的结构示意图；
18.图2为图1的适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统的水箱装置的结构示意图；
19.图3为图1所示的适用于碳化硅多线切割砂浆的的喷嘴组件的结构示意图；
20.图4为图1所示适用于碳化硅多线切割砂浆的的换热器的结构示意图。
21.图中：10-砂桶，11-砂泵ⅰ，12-砂泵ⅱ，13-砂管ⅰ，14-砂管ⅱ，15-喷嘴组件，151-喷管ⅰ，152-质量流量监测装置，153-喷管ⅱ，154-喷管ⅲ，16-砂浆进料口，17-搅拌电机，18-行走轮，19-拉手，20-换热器，21-壳体，211-砂浆出液孔、212-砂浆进液孔，213-冷却水进液孔，214-冷却水出液孔，30-水箱装置，31-机架，32-水箱，33-水泵ⅰ，34-水泵ⅱ，35-水凝箱，36-水管ⅰ，37-水管ⅱ，38-水管ⅲ，39-水管ⅳ，40-喷嘴装置。
具体实施方式
22.以下结合附图及实施例对本发明作进一步说明。
23.如图1至图2所示，本实施例提供了一种砂浆适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统，包括砂桶10，换热器20、水箱装置30以及喷嘴装置40，砂桶10上设有砂泵ⅰ11和砂泵ⅱ12，砂泵ⅰ11的输入端与砂桶10连通、输出端通过砂管ⅰ13与换热器20连通，砂泵ⅱ12的输入端通过砂管ⅱ14与换热器20连通、输出端通过喷管组件15与喷嘴装置40连通，水箱装置30包括机架31、设置在机架31上的水箱32、设置在水箱32上的水泵ⅰ33和水泵ⅱ34以及设置在水泵ⅱ34上方并与机架31固定连接的水凝箱35，水泵ⅰ33的输入端与水箱32连通、输出端通过水管ⅰ36与换热器20连通，水泵ⅱ34的输入端通过水管ⅱ37与换热器20连通、输出端通过水管ⅲ38与水凝箱35连通，且水凝箱35通过水管ⅳ39与水箱32连通。
24.本实施例中，在砂泵ⅰ11和砂泵ⅱ12的驱动作用下，砂浆通过砂管ⅰ13和砂管ⅱ14在砂桶10与换热器20之间循环流动，循环冷却系统的管路路程短，磨粒分布均匀。
25.如图1所示，砂桶10一端开设有砂浆进料口16，砂桶10还设有搅拌电机17，砂桶10内设有搅拌电机17带动搅拌砂浆的搅拌器。
26.本实施例中，在搅拌电机17的驱动作用下，搅拌器能够将流入砂桶10内的砂浆充分搅拌混合，以提升砂浆的冷却效果。
27.如图4所示，换热器20包括壳体21，壳体21内形成换热腔，并且壳体21上开设砂浆
进液孔212、砂浆出液孔211、冷却水进液孔213和冷却水出液孔214，砂浆进液孔212与砂管ⅰ13连通，砂浆出液孔211与砂管ⅱ14连通，冷却水进液孔213与水管ⅰ36连通，冷却水出液孔214与水管ⅱ37连通。
28.本实施例中，砂浆通过砂浆进液孔212进入换热器20内，经与冷却水换热后，由砂浆出液孔211流出换热器20并通过砂泵ⅱ12的运行，将换热后的砂浆输送至喷嘴装置40中；冷却水通过冷却水进液孔213进入换热器20内，与砂浆换热后由冷却水出液孔214流出，通过水泵ⅱ34的运行，使得水管ⅱ37将换热后的冷却水流入水凝箱35，通过水凝箱35的冷却，在通过水管ⅳ39流进水箱32内。
29.如图3所示，喷管组件包括喷管ⅰ151、质量流量监测装置152、喷管ⅱ153、喷管ⅲ154，喷管ⅰ151的一端与砂泵ⅱ12的输出端连通、另一端与质量流量监测装置152的输入端连通，喷管ⅱ153的一端与质量流量监测装置152的输出端连通、另一端与喷管ⅲ154连通，喷管ⅲ154一端与喷嘴装置40连通。其中，质量流量监测装置152用于获取砂浆的质量和流量，操作人员可根据获取的砂浆的质量和流量来调控砂泵ⅰ11和砂泵ⅱ12的开启或关闭，以保证砂浆的温度在满足需求。
30.本实施例中，砂浆依次通过喷管ⅰ151、质量流量监测装置152、喷管ⅱ153、喷管ⅲ154，以流动至喷嘴装置40中。
31.喷嘴装置40为两个，喷管ⅲ154为c型喷管，喷管ⅲ154的中部与喷管ⅱ153连通，喷管ⅲ153分别与两个喷嘴装置40连通。
32.本实施例中，通过c型喷管与两个喷嘴装置40的配合，砂浆能够由c型喷管同时进入两个喷嘴装置40，再由两个喷嘴装置40喷出，以增加喷淋的位置与角度，提升砂浆的冷却效果。
33.如图1所示，砂桶10的底壁上设有行走轮18。
34.本实施例中，行走轮18用于带动砂桶10运动，以调整砂桶10的位置，使用方便灵活。
35.砂桶10的侧壁上设有拉手19。
36.本实施例中，拉手19用于提供握持位置，使用者通过握持拉手19，推动砂桶10运动。
37.该实施例的适用于碳化硅多线切割砂浆的循环冷却系统的工作原理，如下：
38.当多线切割机切削加工时，启动砂泵ⅰ11、砂泵ⅱ12、水泵ⅰ33以及水泵ⅱ34，通过砂泵ⅰ11将存储于砂桶10内的砂浆通过砂管ⅰ13进入换热器20内，水泵ⅰ33将水箱32内的冷却水通过水管ⅰ36进入换热器20，使得砂浆与冷却水进行换热，然后砂泵ⅱ12通过砂管ⅱ14将换热后的砂浆抽出并通过喷管组件输送至喷嘴装置40，同时水泵ⅱ34通过水管ⅱ37将换热后的冷却水抽取并输送至水凝箱35中冷却，冷却后的冷却水通过水管ⅱ37进入水箱32中，如此实现循环冷却。
39.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
40.以上实施例仅表达了本技术的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在
不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。因此，本技术专利的保护范围应以所附权利要求为准。