一种晶圆切割用的精准切割进给系统及切割方法与流程

1.本发明属于监测装置技术领域，具体涉及一种晶圆切割用的精准切割进给系统及切割方法。


背景技术：

2.基座上贴上晶圆组成了晶圆盘，晶圆盘的规格由晶圆的分布和基座的尺寸决定，晶圆盘在加工过程中必然会存在不合格的晶圆盘，需要对晶圆盘进行筛选和归类。
3.传统采用人工对晶圆盘进行检测，效率低下且存在误差。
4.因此，亟需开发一种新的晶圆切割用的精准切割进给系统及切割方法，以解决上述问题。


技术实现要素：

5.本发明的目的是提供一种晶圆切割用的精准切割进给系统及切割方法。
6.为了解决上述技术问题，本发明提供了一种晶圆切割用的精准切割进给系统，其包括：控制模块、检测平台、与控制模块电性相连的光学投影模块、图像采集模块、推出机构、第一输送机构、筛选板、第二输送机构和筛选机构；其中所述检测平台上设置检测工位，所述光学投影模块、图像采集模块位于检测工位的上方，所述推出机构位于检测平台的一侧，所述第一输送机构、筛选板、第二输送机构位于检测平台的另一侧；所述筛选板位于第一输送机构与第二输送机构之间的下方，所述筛选板上开设有筛选槽，且所述筛选槽与第一输送机构、第二输送机构平行设置；所述筛选机构设置在第一输送机构、筛选板、第二输送机构的上方；所述控制模块驱动光学投影模块朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影，以使所述图像采集模块采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，即所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第一规格或第二规格时，所述控制模块驱动推出机构将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构，所述筛选机构对第一输送机构上晶圆盘进行筛选，以使第一规格、第二规格的晶圆盘分别从所述第一输送机构的第一出料位置、第二出料位置滑落；所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第三规格时，所述控制模块驱动推出机构将检测工位上的晶圆盘推至第二输送机构，沿所述第二输送机构运动的晶圆盘侧翻滑落至筛选槽内，直至抵入所述筛选机构中；所述筛选机构朝向筛选槽内晶圆盘吹出热风，以使晶圆盘上晶圆从基座脱落；以及当第二规格的晶圆盘从所述筛选机构通过时，所述筛选机构对第三规格的晶圆盘进行标记，且所述筛选机构打开输送通道以使第三规格的晶圆盘沿筛选槽继续移动。
7.进一步，所述光学投影模块包括：与控制模块电性相连的投影仪；所述投影仪对准检测工位上的晶圆盘，所述控制模块驱动投影仪朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影。
8.进一步，所述图像采集模块包括：与控制模块电性相连的若干摄像头；各所述摄像头分别采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，以发送至所述控制模块。
9.进一步，所述推出机构包括：与控制模块电性相连的线性推出气缸；所述控制模块驱动线性推出气缸将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构或第二输送机构。
10.进一步，所述第一输送机构包括：第一输送带；所述第一输送带的第一出料位置、第二出料位置分别设置第一出料板、第二出料板，即所述第一出料板引导第一规格的晶圆盘从第一出料位置滑出；所述第二出料板引导第二规格的晶圆盘从第二出料位置滑出。
11.进一步，所述第二输送机构包括：第二输送带；所述第二输送带接收并输送第三规格的晶圆盘。
12.进一步，所述筛选机构包括：筛选块、限位块、吹风机和筛选组件；所述筛选块的一端位于第二输送机构的一侧，所述筛选块的另一端设置限位块且位于第一输送机构的上方；所述筛选块的底部对应第一输送机构、筛选槽处分别设置朝下的第一通槽、第二通槽；所述吹风机安装在筛选块上，所述吹风机朝向第二通槽设置；所述筛选组件活动设置在筛选块内且连通第一通槽与第二通槽；第一规格的晶圆盘沿所述第一输送机构的输送方向移动，直至抵住所述限位块，即所述限位块引导第一规格的晶圆盘朝向第一出料位置移动；第二规格的晶圆盘沿所述第一输送机构的输送方向移动，当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽内通过时，以抵推所述筛选组件对第二通槽内的第三规格的晶圆盘标记并打开第二通槽，即第三规格的晶圆盘从所述第二通槽通过并沿筛选槽继续移动。
13.进一步，所述筛选组件包括：外套筒、活动弹簧、内套筒、推板、z形连杆和挡板；所述第一通槽与第二通槽之间开设有活动孔，所述外套筒通过限位弹簧活动设置在活动孔内；所述内套筒通过活动弹簧设置在外套筒内，所述推板固定在内套筒的端部；所述z形连杆的一端连接推板，所述z形连杆的另一端连接挡板；所述推板的内侧面设置标记面；所述筛选块内设置有活动腔，所述挡板活动设置在第二通槽与活动腔内；第三规格的晶圆盘沿所述筛选槽滑动，直至第三规格的晶圆盘抵住所述第二通槽内的挡板，且当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽内通过时，通过斜面配合抵推所述外套筒，以带动所述推板、z形连杆及挡板动作，即所述推板通过标记面对第二通槽内的第三规格的晶圆盘标记，所述z形连杆将挡板推入活动腔内，以在所述第二通槽内z形连杆的下方打开输送通道，第三规格的晶圆盘沿所述筛选槽从输送通道中穿过。
14.进一步，所述挡板上开设有限位槽；所述活动腔内设置有储液筒，所述储液筒开设有风道，所述风道的一侧连接气泵，所述风道的另一道连通第二通槽；所述风道内设置有蝶阀，所述蝶阀与第一触发杆活动连接，所述第一触发杆的底部位于活动腔内；所述风道与储液筒之间开设有安装腔，所述安装腔内活动设置活动板，所活动板通过套簧活动连接安装腔的顶部，所述安装腔的顶部活动设置有浮板；所述活动板的底部连接第二触发杆，所述第二触发杆的底部位于活动腔内，所述第二触发杆内开设有工形气道；第三规格的晶圆盘抵住所述挡板，且当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽内通过时，所述挡板被推入活动腔内，直至所述挡板抵推第二触发杆抬起，即所述工形气道被打开，所述风道向储液筒内鼓入气体以搅动墨液；当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽内通过时，所述挡板被推入活动腔内，直至所述挡板抵推第一触发杆抬起，即所述蝶阀被打开，所述风道向第二通槽内吹气，进而吹扫所述第一输送机构上的晶圆盘。
15.另一方面，本发明还提供一种采用如上述的精准切割进给系统的切割方法，其包括：在检测平台上设置检测工位，将光学投影模块、图像采集模块设置在检测工位的上方，
以使推出机构位于检测平台的一侧，且使第一输送机构、筛选板、第二输送机构位于检测平台的另一侧；筛选板位于第一输送机构与第二输送机构之间的下方，筛选板上开设有筛选槽，且筛选槽与第一输送机构、第二输送机构平行设置；筛选机构设置在第一输送机构、筛选板、第二输送机构的上方；控制模块驱动光学投影模块朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影，以使图像采集模块采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，即控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第一规格或第二规格时，控制模块驱动推出机构将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构，筛选机构对第一输送机构上晶圆盘进行筛选，以使第一规格、第二规格的晶圆盘分别从第一输送机构的第一出料位置、第二出料位置滑落；控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第三规格时，控制模块驱动推出机构将检测工位上的晶圆盘推至第二输送机构，沿第二输送机构运动的晶圆盘侧翻滑落至筛选槽内，直至抵入筛选机构中；筛选机构朝向筛选槽内晶圆盘吹出热风，以使晶圆盘上晶圆从基座脱落；以及当第二规格的晶圆盘从筛选机构通过时，筛选机构对第三规格的晶圆盘进行标记，且筛选机构打开输送通道以使第三规格的晶圆盘沿筛选槽继续移动。
16.本发明的有益效果是，本发明通过控制模块、光学投影模块、图像采集模块相配合实现自动检测晶圆盘的规格，推出机构将合格、不合格的晶圆盘分别推入第一输送机构、第二输送机构，并配合筛选机构将晶圆盘归类，同时能够将不合格的晶圆盘进行回收、标记。
17.本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。
18.为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
19.为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1是本发明的晶圆切割用的精准切割进给系统的整装图；图2是本发明的光学投影模块的结构图；图3是本发明的推出机构的结构图；图4是本发明的第一输送机构、筛选板、第二输送机构的装配图；图5是本发明的筛选机构的结构图；图6是本发明的筛选组件的结构图；图7是本发明的筛选机构的局部结构图；图8是本发明的图7的局部放大图；图9是本发明的筛选机构的吹气时的状态图。
21.图中：1、检测平台；2、光学投影模块；21、投影仪；22、滑动块；23、滑动轨道；3、推出机构；31、线性推出气缸；32、推出块；
4、第一输送机构；41、第一输送带；42、第一出料板；43、第二出料板；44、弧形引导块；5、筛选板；51、筛选槽；6、第二输送机构；61、第二输送带；7、筛选机构；71、筛选块；711、第一通槽；712、第二通槽；713、活动腔；72、限位块；73、筛选组件；731、外套筒；732、活动弹簧；733、内套筒；734、推板；7341、标记面；735、挡板；7351、限位槽；74、储液筒；741、风道；742、安装腔；743、海绵层；75、蝶阀；751、第一触发杆；76、活动板；77、套簧；78、浮板；79、第二触发杆；791、工形气道。
具体实施方式
22.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
23.实施例1在本实施例中，如图1至图9所示，本实施例提供了一种晶圆切割用的精准切割进给系统，其包括：控制模块、检测平台1、与控制模块电性相连的光学投影模块2、图像采集模块、推出机构3、第一输送机构4、筛选板5、第二输送机构6和筛选机构7；其中所述检测平台1上设置检测工位，所述光学投影模块2、图像采集模块位于检测工位的上方，所述推出机构3位于检测平台1的一侧，所述第一输送机构4、筛选板5、第二输送机构6位于检测平台1的另一侧；所述筛选板5位于第一输送机构4与第二输送机构6之间的下方，所述筛选板5上开设有筛选槽51，且所述筛选槽51与第一输送机构4、第二输送机构6平行设置；所述筛选机构7设置在第一输送机构4、筛选板5、第二输送机构6的上方；所述控制模块驱动光学投影模块2朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影，以使所述图像采集模块采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，即所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第一规格或第二规格时，所述控制模块驱动推出机构3将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构4，所述筛选机构7对第一输送机构4上晶圆盘进行筛选，以使第一规格、第二规格的晶圆盘分别从所述第一输送机构4的第一出料位置、第二出料位置滑落；所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第三规格时，所述控制模块驱动推出机构3将检测工位上的晶圆盘推至第二输送机构6，沿所述第二输送机构6运动的晶圆盘侧翻滑落至筛选槽51内，直至抵入所述筛选机构7中；所述筛选机构7朝向筛选槽51内晶圆盘吹出热风，以使晶圆盘上晶圆从基座脱落；以及当第二规格的晶圆盘从所述筛选机构7通过时，所述筛选机构7对第三规格的晶圆盘进行标记，且所述筛选机构7打开输送通道以使第三规格的晶圆盘沿筛选槽51继续移动。
24.在本实施例中，第一规格的晶圆盘、第二规格的晶圆盘指的是合格的晶圆盘，第三规格的晶圆盘指的是不合格的晶圆盘。
25.在本实施例中，本实施例通过控制模块、光学投影模块2、图像采集模块相配合实现自动检测晶圆盘的规格，推出机构3将合格、不合格的晶圆盘分别推入第一输送机构4、第二输送机构6，并配合筛选机构7将晶圆盘归类，同时能够将不合格的晶圆盘进行回收、标
记。
26.在本实施例中，所述光学投影模块2包括：与控制模块电性相连的投影仪21；所述投影仪21对准检测工位上的晶圆盘，所述控制模块驱动投影仪21朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影。
27.在本实施例中，投影仪21通过滑动块22安装在滑动轨道23上，滑动轨道23吊装在检测平台1的上方，滑动块22在滑动轨道23上移动，以带动投影仪21对准检测工位，能够提高投影仪21投影的精准度。
28.在本实施例中，所述图像采集模块包括：与控制模块电性相连的若干摄像头；各所述摄像头分别采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，以发送至所述控制模块。
29.在本实施例中，各摄像头全方位分布在检测工位的上方，能够360
°
全方位采集叠影图像信息，进而控制模块能够精准判断晶圆盘的规格。
30.在本实施例中，所述推出机构3包括：与控制模块电性相连的线性推出气缸31；所述控制模块驱动线性推出气缸31将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构4或第二输送机构6。
31.在本实施例中，控制模块能够调节线性推出气缸31的行程，从而驱动线性推出气缸31精准将第一规格的晶圆盘或第二规格的晶圆盘推至第一输送机构4，将第三规格的晶圆盘推至第二输送机构6。
32.在本实施例中，线性推出气缸31的活动部连接推出块32，线性推出气缸31推动推出块32带动晶圆盘移动，能够增大与晶圆盘的接触面积，能够稳定、精准输送。
33.在本实施例中，所述第一输送机构4包括：第一输送带41；所述第一输送带41的第一出料位置、第二出料位置分别设置第一出料板42、第二出料板43，即所述第一出料板42引导第一规格的晶圆盘从第一出料位置滑出；所述第二出料板43引导第二规格的晶圆盘从第二出料位置滑出。
34.在本实施例中，在第一输送带41的末端设置弧形引导块44，第二规格的晶圆盘在弧形引导块44的弧面引导下朝向第二出料位置移动，进而从第二出料板43滑出。
35.在本实施例中，所述第二输送机构6包括：第二输送带61；所述第二输送带61接收并输送第三规格的晶圆盘。
36.在本实施例中，线性推出气缸31会把第三规格的晶圆盘推至第二输送带61的边沿，第二输送带61与筛选板5存在高度差，因此第三规格的晶圆盘会朝向筛选板5倾斜，同时第二输送带61对晶圆盘有一个推动作用，直到晶圆盘运动到筛选槽51处时，会沿着筛选槽51逐渐偏转，翻转90
°
后完全进入筛选槽51，筛选槽51的槽底设置有5
°
至10
°
的坡度，第三晶圆盘会沿着筛选槽51滚动。
37.在本实施例中，所述筛选机构7包括：筛选块71、限位块72、吹风机和筛选组件73；所述筛选块71的一端位于第二输送机构6的一侧，所述筛选块71的另一端设置限位块72且位于第一输送机构4的上方；所述筛选块71的底部对应第一输送机构4、筛选槽51处分别设置朝下的第一通槽711、第二通槽712；所述吹风机安装在筛选块71上，所述吹风机朝向第二通槽712设置；所述筛选组件73活动设置在筛选块71内且连通第一通槽711与第二通槽712；第一规格的晶圆盘沿所述第一输送机构4的输送方向移动，直至抵住所述限位块72，即所述限位块72引导第一规格的晶圆盘朝向第一出料位置移动；第二规格的晶圆盘沿所述第一输
送机构4的输送方向移动，当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽711内通过时，以抵推所述筛选组件73对第二通槽712内的第三规格的晶圆盘标记并打开第二通槽712，即第三规格的晶圆盘从所述第二通槽712通过并沿筛选槽51继续移动。
38.在本实施例中，第一规格的晶圆盘沿着第一输送机构4移动时，会抵住限位块72，同时限位块72上设置有朝向第二出料板43的斜面，第一规格的晶圆盘与限位块72发生斜面配合，从而使得第一规格的晶圆盘朝向第二出料板43移动，由于第二规格的晶圆盘直径较小，第二规格的晶圆盘会直接从第一通槽711中穿过。
39.在本实施例中，第三规格的晶圆盘会在第二通槽712处被筛选组件73挡住，吹风机对着第三规格的晶圆盘吹热风，能够回收第三规格的晶圆盘上晶圆。
40.在本实施例中，所述筛选组件73包括：外套筒731、活动弹簧732、内套筒733、推板734、z形连杆和挡板735；所述第一通槽711与第二通槽712之间开设有活动孔，所述外套筒731通过限位弹簧活动设置在活动孔内；所述内套筒733通过活动弹簧732设置在外套筒731内，所述推板734固定在内套筒733的端部；所述z形连杆的一端连接推板734，所述z形连杆的另一端连接挡板735；所述推板734的内侧面设置标记面7341；所述筛选块71内设置有活动腔713，所述挡板735活动设置在第二通槽712与活动腔713内；第三规格的晶圆盘沿所述筛选槽51滑动，直至第三规格的晶圆盘抵住所述第二通槽712内的挡板735，且当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽711内通过时，通过斜面配合抵推所述外套筒731，以带动所述推板734、z形连杆及挡板735动作，即所述推板734通过标记面7341对第二通槽712内的第三规格的晶圆盘标记，所述z形连杆将挡板735推入活动腔713内，以在所述第二通槽712内z形连杆的下方打开输送通道，第三规格的晶圆盘沿所述筛选槽51从输送通道中穿过。
41.在本实施例中，所述挡板735上开设有限位槽7351；所述活动腔713内设置有储液筒74，所述储液筒74开设有风道741，所述风道741的一侧连接气泵，所述风道741的另一道连通第二通槽712；所述风道741内设置有蝶阀75，所述蝶阀75与第一触发杆751活动连接，所述第一触发杆751的底部位于活动腔713内；所述风道741与储液筒74之间开设有安装腔742，所述安装腔742内活动设置活动板76，所活动板76通过套簧77活动连接安装腔742的顶部，所述安装腔742的顶部活动设置有浮板78；所述活动板76的底部连接第二触发杆79，所述第二触发杆79的底部位于活动腔713内，所述第二触发杆79内开设有工形气道791；第三规格的晶圆盘抵住所述挡板735，且当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽711内通过时，所述挡板735被推入活动腔713内，直至所述挡板735抵推第二触发杆79抬起，即所述工形气道791被打开，所述风道741向储液筒74内鼓入气体以搅动墨液；当第二规格的晶圆盘从所述第一通槽711内通过时，所述挡板735被推入活动腔713内，直至所述挡板735抵推第一触发杆751抬起，即所述蝶阀75被打开，所述风道741向第二通槽712内吹气，进而吹扫所述第一输送机构4上的晶圆盘。
42.在本实施例中，若是第三规格晶圆盘抵在第二通槽712内时，第二规格的晶圆盘从第一通槽711内通过，同时外套筒731上设置斜面，第二规格的晶圆盘与外套筒731发生斜面配合，外套筒731被抵压朝向第二通槽712移动，此时外套筒731带动活动弹簧732、内套筒733、推板734、z形连杆和挡板735一起运动，此时挡板735缩入活动腔713内，第二通槽712被打开，第三规格的晶圆盘在第二通槽712内移动，推板734逐渐与第二通槽712内的晶圆盘接触，因此推板734的标记面7341能够对第三规格的晶圆盘进行标记，挡板735的端部也设置
有斜面，此时推板734抵着第三规格的晶圆盘，外套筒731通过活动弹簧732与内套筒733进行相对运动，此时挡板735的端部刚好能够抬起第二触发杆79，活动板76挤压套簧77抬起，原本工形气道791是被安装腔742堵住的，此时工形气道791被打开，风道741中的气体经安装腔742、工形气道791鼓入储液筒74中，能够带动储液筒74中的墨液进行翻涌，防止墨液沉积，安装腔742的顶部设置有浮板78，浮板78作用在于防止储液筒74中的墨液回流至风道741中去，同时第二触发杆79与活动腔713时采用密封连接。
43.在本实施例中，若是第二通槽712内没有第三规格的晶圆盘抵着，第二规格的晶圆盘从第一通槽711内通过，此时外套筒731带动活动弹簧732、内套筒733、推板734、z形连杆和挡板735一起运动，外套筒731、活动弹簧732与内套筒733不发生相对运动，此时挡板735的端部刚好能够抬起第一触发杆751，第一触发杆751推动蝶阀75转动，以将蝶阀75打开，此时风道741与第二通槽712连通，并且推板734的标记面7341抵着储液筒74的海绵层743，储液筒74内墨液通过海绵层743注入标记面7341，能够使推板734的标记面7341持续工作，并且风道741中的风能够对着第一输送机构4上的晶圆盘吹，起到清洁晶圆盘表面的作用。
44.实施例2在实施例1的基础上，本实施例提供一种采用如实施例1所提供的精准切割进给系统的切割方法，其包括：检测平台1上设置检测工位，所述光学投影模块2、图像采集模块位于检测工位的上方，所述推出机构3位于检测平台1的一侧，所述第一输送机构4、筛选板5、第二输送机构6位于检测平台1的另一侧；所述筛选板5位于第一输送机构4与第二输送机构6之间的下方，所述筛选板5上开设有筛选槽51，且所述筛选槽51与第一输送机构4、第二输送机构6平行设置；所述筛选机构7设置在第一输送机构4、筛选板5、第二输送机构6的上方；所述控制模块驱动光学投影模块2朝向检测工位上放置的晶圆盘发出标准晶圆投影，以使所述图像采集模块采集晶圆盘与标准晶圆投影的叠影图像信息，即所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第一规格或第二规格时，所述控制模块驱动推出机构3将检测工位上的晶圆盘推至第一输送机构4，所述筛选机构7对第一输送机构4上晶圆盘进行筛选，以使第一规格、第二规格的晶圆盘分别从所述第一输送机构4的第一出料位置、第二出料位置滑落；所述控制模块根据该叠影图像信息判断晶圆盘为第三规格时，所述控制模块驱动推出机构3将检测工位上的晶圆盘推至第二输送机构6，沿所述第二输送机构6运动的晶圆盘侧翻滑落至筛选槽51内，直至抵入所述筛选机构7中；所述筛选机构7朝向筛选槽51内晶圆盘吹出热风，以使晶圆盘上晶圆从基座脱落；以及当第二规格的晶圆盘从所述筛选机构7通过时，所述筛选机构7对第三规格的晶圆盘进行标记，且所述筛选机构7打开输送通道以使第三规格的晶圆盘沿筛选槽51继续移动。
45.综上所述，本发明通过控制模块、光学投影模块、图像采集模块相配合实现自动检测晶圆盘的规格，推出机构将合格、不合格的晶圆盘分别推入第一输送机构、第二输送机构，并配合筛选机构将晶圆盘归类，同时能够将不合格的晶圆盘进行回收、标记。
46.本技术中选用的各个器件（未说明具体结构的部件）均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
47.在本发明实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机
械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
48.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
49.在本技术所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的系统、装置和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
50.所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
51.另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。
52.以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。