1.本实用新型涉及集成电路工艺装置技术领域，具体是一种用于精密仪器的分体式防漏盘。
背景技术：
2.现在，晶圆厂内机台的附属设备上方通常设有承漏盘，以防止液体滴入所述附属设备内。其中，有些机台的附属设备需要做定期的维护。设备工程师在做维护的时候，只有把承漏盘取下，才能进行维护工作。由于附属设备顶部有电缆或管子进出，这些电缆或管子穿经所述承漏盘的通孔，使得承漏盘安装到附属设备后就不能取下来。如果需要把安装在附属设备顶部的承漏盘取下来，必须得通知厂商把承漏盘沿通孔处切开，方可取下承漏盘。当维护工作完成后，再通过焊条将承漏盘补焊恢复。然而，在切割承漏盘的过程中，容易造成承漏盘破损。切开和补焊的过程也会使得维护费用增加，同时也降低了设备的维护效率，且焊接过程也会一定程度的污染洁净室，影响设备的正常运转。
技术实现要素：
3.实用新型的目的在于提供一种用于精密仪器的分体式防漏盘，以解决上述背景技术中存在的问题。
4.本实用新型的技术方案是这样实现的：
5.一种用于精密仪器的分体式防漏盘，包括上承漏盘和下承漏盘，所述上承漏盘包括支撑板和沿口a，所述沿口a焊接在支撑板顶部四周，所述支撑板开设有矩形通孔和集液口a，所述矩形通孔四周焊接有挡板，所述下承漏盘包括左承漏盘和右承漏盘，所述左承漏盘与右承漏盘通过螺栓固定连接。
6.进一步地，所述左承漏盘包括左底板、沿口b和左支腿，所述沿口b焊接在左底板顶部四周，所述沿口b一侧开设有向内凹陷的左凹口，所述左支腿焊接在左底板底部的外侧两个角处，所述左底板开设有集液孔b。
7.进一步地，所述右承漏盘包括右底板、沿口c和右支腿，所述沿口c焊接在右底板顶部四周，所述沿口c一侧开设有向内凹陷的右凹口，所述右支腿焊接在右底板底部的外侧两个角处，所述右底板开设有集液孔c。
8.进一步地，所述左承漏盘与右承漏盘的连接方式为左承漏盘的左凹口与右承漏盘的右凹口对齐后栓接固定。
9.进一步地，所述支撑板由聚丙烯板制成矩形结构，厚度5~10cm。
10.进一步地，所述沿口a由聚丙烯矩形条制成。
11.进一步地，所述挡板为聚丙烯材质的矩形条。
12.进一步地，所述左底板、右底板由不锈钢板制成矩形结构。
13.进一步地，所述左支腿、右支腿由角钢制成。
14.进一步地，所述沿口b、沿口c由不锈钢板制成。
15.本实用新型的有益效果为：
16.本实用新型通过上下分体式结构，将上承漏盘通孔开设较大，足够人员维修空间，通过将下承漏盘的左、右承漏盘拆卸后便可对附属设备进行维修，无需切割、补焊承漏盘，提高了设备维修效率，且防漏盘整体结构简单，制作、安装成本低。
附图说明
17.图1为本实用新型的结构示意图。
18.图2为本实用新型下承漏盘的结构示意图。
19.图中1-上承漏盘，101-支撑板，102-沿口a，103-矩形通孔，104-挡板，105-集液口a，2-下承漏盘，201-左承漏盘，2011-左底板， 2012-沿口b，2013-左凹口，2014-左支腿，2015-集液口b，202-右承漏盘，2021-右底板，2022-沿口c，2023-右凹口，2024-右支腿，2025-集液口c，3-螺栓。
具体实施方式
20.下面将结合实施例对本实用新型技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述地实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
21.如图1-2所示，一种用于精密仪器的分体式防漏盘，包括上承漏盘1和下承漏盘2，所述上承漏盘1包括支撑板101和沿口a102，所述沿口a102焊接在支撑板101顶部四周，所述支撑板101开设有矩形通孔103和集液口a105，所述矩形通孔103四周焊接有挡板104，所述下承漏盘2包括左承漏盘201和右承漏盘202，所述左承漏盘201与右承漏盘202通过螺栓3固定连接。
22.所述左承漏盘201包括左底板2011、沿口b2012和左支腿2014，所述沿口b2012焊接在左底板2011顶部四周，所述沿口b2012一侧开设有向内凹陷的左凹口2013，所述左支腿2014焊接在左底板2011底部的外侧两个角处，所述左底板2011开设有集液孔b2015。
23.所述右承漏盘202包括右底板2021、沿口c2022和右支腿2024，所述沿口c2022焊接在右底板2021顶部四周，所述沿口c2022一侧开设有向内凹陷的右凹口2023，所述右支腿2024焊接在右底板2021底部的外侧两个角处，所述右底板2021开设有集液孔c2015。
24.所述左承漏盘201与右承漏盘202的连接方式为左承漏盘201的左凹口2013与右承漏盘202的右凹口2023对齐后栓接固定。
25.所述支撑板101由聚丙烯板制成矩形结构，厚度5~10cm。
26.所述沿口a102由聚丙烯矩形条制成。
27.所述挡板104为聚丙烯材质的矩形条。
28.所述左底板2011、右底板2021由不锈钢板制成矩形结构。
29.所述左支腿2014、右支腿2024由角钢制成。
30.所述沿口b2012、沿口c2022由不锈钢板制成。
31.以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型
的保护范围之内。
技术特征：
1.一种用于精密仪器的分体式防漏盘，包括上承漏盘和下承漏盘，其特征在于，所述上承漏盘包括支撑板和沿口a，所述沿口a焊接在支撑板顶部四周，所述支撑板开设有矩形通孔和集液口a，所述矩形通孔四周焊接有挡板，所述下承漏盘包括左承漏盘和右承漏盘，所述左承漏盘与右承漏盘通过螺栓固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述左承漏盘包括左底板、沿口b和左支腿，所述沿口b焊接在左底板顶部四周，所述沿口b一侧开设有向内凹陷的左凹口，所述左支腿焊接在左底板底部的外侧两个角处，所述左底板开设有集液孔b，所述左底板由不锈钢板制成矩形结构，所述左支腿由角钢制成，所述沿口b由不锈钢板制成。3.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述右承漏盘包括右底板、沿口c和右支腿，所述沿口c焊接在右底板顶部四周，所述沿口c一侧开设有向内凹陷的右凹口，所述右支腿焊接在右底板底部的外侧两个角处，所述右底板开设有集液孔c，所述右底板由不锈钢板制成矩形结构，所述右支腿由角钢制成，所述沿口c由不锈钢板制成。4.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述左承漏盘与右承漏盘的连接方式为左承漏盘的左凹口与右承漏盘的右凹口对齐后栓接固定。5.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述支撑板由聚丙烯板制成矩形结构，厚度5~10cm。6.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述沿口a由聚丙烯矩形条制成。7.根据权利要求1所述的一种用于精密仪器的分体式防漏盘，其特征在于，所述挡板为聚丙烯材质的矩形条。
技术总结
本实用新型提供一种用于精密仪器的分体式防漏盘，包括上承漏盘和下承漏盘，所述上承漏盘包括支撑板和沿口A，所述沿口A焊接在支撑板顶部四周，所述支撑板开设有矩形通孔和集液口A，所述矩形通孔四周焊接有挡板，所述下承漏盘包括左承漏盘和右承漏盘，所述左承漏盘与右承漏盘通过螺栓固定连接。本实用新型通过上下分体式结构，将上承漏盘通孔开设较大，足够人员维修空间，通过将下承漏盘的左、右承漏盘拆卸后便可对附属设备进行维修，无需切割、补焊承漏盘，提高了设备维修效率，且防漏盘整体结构简单，制作、安装成本低。安装成本低。安装成本低。
技术研发人员：马跃 孙乐 高景作
受保护的技术使用者：大连地拓重工有限公司
技术研发日：2022.03.25
技术公布日：2022/8/2
再多了解一些
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