一种酸槽排风量可调型抽风装置的制作方法

1.本实用新型涉及一种抽风装置，具体涉及一种酸槽排风量可调型抽风装置。


背景技术：

2.一般来说，晶圆清洗可以分为湿法清洗和干法清洗。干法清洗使用气相化学物，一般通过提供激发能量促进化学反应进行经验清洗，其中能量可以以热、等离子或是辐射等形态提供。而常用的湿法清洗则使用液态化学品，例如溶剂、酸、接口活性剂及水，以喷洒、刷洗、氧化、刻蚀等方法溶剂污染物。在使用各种化学品以后通常还需要经过超高纯水的润湿清洗。
3.在半导体晶圆清洗过程中由于经常会用到有机药液，而有机药液易燃易爆，因此，在清洗中要及时将酸气吸收并排放，需要一种抽风装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种酸槽排风量可调型抽风装置，以便于对半导体晶圆清洗过程中产生的酸气进行排放。
5.为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种酸槽排风量可调型抽风装置，包括：箱体，内部设置有气腔；进气管，用于连通气腔与酸槽；抽风管，一端连接气腔，另一端连接负压源；抽风管开关机构，位于气腔内，用于封堵或开启抽风管。
6.进一步的，所述抽风管开关机构包括：舱门，用于封堵抽风管；直线驱动器，其固定端安装在气腔内侧，活动端连接所述舱门；关闭抽风时，所述直线驱动器将舱门顶至抽风管的内孔处。
7.进一步的，所述进气管的数量至少为两个；各所述进气管上均设置有阀门。
8.进一步的，所述阀门为手动阀门。
9.进一步的，所述阀门还包括：控制模块，以及与该控制模块电性连接的气体传感器；所述阀门为由控制模块控制的电动阀门；所述控制模块适于根据气体传感器获取的酸槽气体浓度，控制阀门开闭。
10.进一步的，所述气腔的底部设置有废液排放口。
11.进一步的，所述废液排放口呈漏斗状。
12.进一步的，所述气腔内位于进气管的内口处设置有冷凝器。
13.进一步的，所述冷凝器包括：梨形冷凝部；介质输送管，用于将梨形冷凝部与换热装置连通。
14.进一步的，所述箱体的下方边缘两侧固定有支撑架。
15.本实用新型的有益效果是，本实用新型的酸槽排风量可调型抽风装置的箱体内部设置有气腔，具有连通酸槽的进气管，以及与负压源连通的抽风管，抽风管开关机构可以开启抽风管，通过外接的负压源通过抽风管对酸槽中产生的酸气进行抽吸。
16.本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书
中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
17.为使本实用新型的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
18.为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
19.图1是本实用新型的一种酸槽排风量可调型抽风装置的立体图；
20.图2和图3是本实用新型的一种酸槽排风量可调型抽风装置的内部剖面图。
21.图中：
22.箱体1、进气管2、阀门21、抽风管3、抽风管开关机构4、舱门41、直线驱动器42、支撑架5、冷凝器6
具体实施方式
23.实施例
24.如图1和2所示，本实施例提供了一种酸槽排风量可调型抽风装置，包括：箱体1，内部设置有气腔；进气管2，用于连通气腔与酸槽；抽风管3，一端连接气腔，另一端连接负压源；抽风管开关机构4，位于气腔内，用于封堵或开启抽风管3。
25.在本实施例中，抽风管3可以外接负压源，负压源可以是抽风机，也可以是酸气回收、处理系统；抽风管开关机构4可以控制抽风管3的开闭；外接的负压源通过抽风管3对酸槽中产生的酸气进行抽吸，便于酸槽中酸气排放。
26.在本实施例中，所述抽风管开关机构4可以包括：舱门41，用于封堵抽风管3；直线驱动器42，其固定端安装在气腔内侧，活动端连接所述舱门41；关闭抽风时，所述直线驱动器42将舱门41顶至抽风管3的内孔处。
27.在本实施方式中，所述直线驱动器42可以但不限于是气缸，用于驱动舱门41控制抽风管3的开闭。
28.如图1所示，在本实施例中，所述进气管2的数量至少为两个；各所述进气管2上均设置有阀门21。
29.在本实施方式中，通过至少两个进气管，能够满足对空间弥漫的酸气进行多口吸气，避免酸气堆积。
30.优选的，所述阀门21为手动阀门，可通过手动调节管口大小来控制通过进气管2的风量。
31.更优选的，酸槽排风量可调型抽风装置还包括：控制模块，以及与该控制模块电性连接的气体传感器；所述阀门为由控制模块控制的电动阀门。
32.在本实施方式中，所述控制模块，可以但不限于是选择mcs-51单片机、plc；所述气体传感器可以但不限于是qb2000n气体检测变送器，所述电动阀门可选mj-23电动阀门；所
述控制模块适于根据气体传感器获取的酸槽气体浓度，控制阀门21开闭，比如，当酸性气体浓度不超过20％时，电动阀门仅打开一个进气管2，当酸性气体浓度在20％-40％时，同时打开两个进气管2，以此实现对抽风量的自动控制；也可以通过电动阀门控制进气管2的开口大小来控制抽风量的大小，具体的浓度范围需根据实际情况进行调整。
33.本实施例所采用的控制模块、电动阀门均为通用配件，本领域技术人员有能力根据本实施例所描述的技术方案实现本实施例；本实施例未对具体的控制方法做出创造性改进。
34.在本实施例中，所述气腔的底部设置有废液排放口11。
35.具体的，所述废液排放口11可以是漏斗状，便于箱体1内的废液的排放。
36.优选的，抽风管3的管口外侧可略向上倾斜，以便于抽风管3管道内的积液排出。
37.如图1、图2和图3所示，在本实施例中，所述气腔内位于进气管2的内口处设置有冷凝器6，以便于水蒸气的凝结聚集。
38.具体的，所述冷凝器6包括：梨形冷凝部61；介质输送管62，用于将梨形冷凝部61与换热装置连通。
39.在本实施方式中，介质输送管62可以输送循环的冷凝介质，可以对梨形冷凝部61降温，便于酸气中的水分在梨形冷凝部61外壁冷凝；且梨形冷凝部61的造型便于冷凝水滴落，以便于收集。
40.在本实施例中，所述箱体1的下方边缘两侧固定有支撑架5，用于支撑箱体1以及便于废液的排放。
41.综上所述，本酸槽排风量可调型抽风装置通过至少两个进气管，能够满足对空间弥漫的酸气进行多口吸气，避免酸气堆积；并且通过抽风管开关机构4可以控制整个装置的开始和停止，避免停止抽风后酸气回流；借助进气管2上的阀门21可以根据酸性气体的浓度调节装置抽风的速度，最后排出，防止酸气跟后续可能出现的有机溶液接触，避免不稳定的有机溶液发生爆炸；冷凝器6便于进气管内水蒸气凝结聚集，最后形成液滴排放。
42.以上述依据本实用新型的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。