多气体质量流量控制器和方法与流程

技术特征：
1.一种用于控制质量流量控制器的方法，所述方法包括：提供通过所述质量流量控制器的流量传感器的工艺气体；获得所述流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数；获得所述流量传感器用的经气体调整的非线性数据；使用所述经气体调整的灵敏度系数和所述经气体调整的非线性数据来产生所述流量传感器用的经气体调整的特性数据；使用来自所述流量传感器的流量传感器信号，从所述经气体调整的特性数据获得流量值；以及使用所述流量值连同设置点信号一起来控制所述质量流量控制器的阀。2.根据权利要求1所述的方法，其中，获得所述流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数包括：检索所述流量传感器用的灵敏度系数，所述灵敏度系数表示当所述流量传感器与特性气体一起被使用时所述流量传感器的理想信号；从所述质量流量控制器的存储器检索所述工艺气体用的转换因子；以及用所述转换因子调整所述灵敏度系数，以获得所述经气体调整的灵敏度系数。3.根据权利要求1所述的方法，其中，获得所述流量传感器用的经气体调整的非线性数据包括：检索与特性气体相关联的所述流量传感器用的非线性数据；从所述质量流量控制器的存储器检索所述工艺气体用的非线性因子；以及用所述工艺气体用的非线性因子调整所述流量传感器用的非线性数据，以获得所述经气体调整的非线性数据，其中，所述非线性数据是与所述特性气体相关地先前产生的。4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述经气体调整的灵敏度系数通过以下操作产生：获得特性气体用的灵敏度系数，并且将所述特性气体用的灵敏度系数除以所述工艺气体用的转换因子。5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述经气体调整的特性数据由{(f
i
,s
i
/cf nlf*z
i
)|i＝1、2、
…
、n}来表示，其中cf是所述工艺气体用的转换因子，nlf是气体特有的非线性因子，s
i
＝sc*f
i
，其中f
i
是流量值，并且sc是所述流量传感器和特性气体用的灵敏度系数，并且z
i
是等于s
i
减去y
i
的非线性值，其中，y
i
是所述特性气体用的特性数据的信号值，所述特性数据由{(f
i
,y
i
)|i＝1、2、
…
、n}来表示。6.一种质量流量控制器，包括：气体用的主流动路径；阀，用于控制通过所述主流动路径的所述气体的流率；流量传感器，其耦接到所述主流动路径以提供指示所述气体的质量流率的流量传感器信号；灵敏度调整模块，其被配置为用工艺气体用的转换因子调整灵敏度系数，以产生所述流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数，所述灵敏度系数表示当所述流量传感器与特性气体一起被使用时所述流量传感器的理想信号；
非线性调整模块，其被配置为用所述工艺气体用的非线性因子调整与特性气体相关联的所述流量传感器用的非线性数据，以产生经气体调整的非线性数据，所述非线性数据是与所述特性气体相关地先前产生的；特性化模块，其被配置为：使用所述经气体调整的灵敏度系数和所述经气体调整的非线性数据来产生所述流量传感器用的经气体调整的特性数据；以及使用来自所述流量传感器的流量传感器信号，从所述经气体调整的特性数据获得流量值；以及控制器，其被配置为使用所述流量值连同设置点信号一起来控制所述质量流量控制器的所述阀。7.根据权利要求6所述的质量流量控制器，包括非易失性存储器，所述非易失性存储器包括所述灵敏度系数、所述非线性数据、所述转换因子和所述非线性因子。8.根据权利要求6所述的质量流量控制器，包括接口组件，所述接口组件被配置为经由网络连接来接收所述转换因子和所述非线性因子。

技术总结
公开了质量流量控制器和用于控制质量流量控制器的方法。一种方法包括：提供通过质量流量控制器的流量传感器的工艺气体，获得流量传感器用的经气体调整的灵敏度系数，以及获得流量传感器用的经气体调整的非线性数据。该方法还包括：使用经气体调整的灵敏度系数和经气体调整的非线性数据来产生流量传感器用的经气体调整的特性数据。使用来自流量传感器的流量传感器信号，从经气体调整的特性数据获得流量值，以及使用流量值连同设置点信号一起来控制质量流量控制器的阀。制质量流量控制器的阀。制质量流量控制器的阀。


技术研发人员：阿列克谢
受保护的技术使用者：日立金属株式会社
技术研发日：2020.12.02
技术公布日：2022/8/2