一种用于检测玻璃基板表面异物的装置的制作方法

1.本发明涉及液晶显示面板模块技术领域。更具体地，涉及一种用于检测平板玻璃基板表面异物的装置。


背景技术：

2.随着电子产品高端发展，对其初端的tft-lcd玻璃基板整体品质要求更加严格。用于平板显示器的玻璃基板，是一种对表面洁净度要求极高的产品，对玻璃基板进行切割、研磨清洗，以及玻璃基板在传输线上输送时，会受到不同程度的次生污染，玻璃基板包括正面和背面两个表面，目前的生产过程中仅对玻璃基板的正面，即工作面进行颗粒检测，而玻璃基板的背面通常不进行颗粒检测，并且由于玻璃基板的背面与传输线接触，对玻璃基板正面进行颗粒检测的装置也不适用于玻璃基板背面的检测。


技术实现要素：

3.本发明的目的在于提供一种用于检测玻璃基板表面异物的装置，该装置能够对玻璃基板背面进行颗粒检测。
4.根据本发明的一个方面，提供了一种用于检测玻璃基板表面异物的装置，包括：
5.支架，所述支架沿垂直于玻璃基板输送方向设置，且位于玻璃基板的下方；
6.导轨，所述导轨设置为多个，均沿玻璃基板输送方向设置于所述支架上；
7.滑动部，所述滑动部设置为多个，所述多个滑动部沿垂直于玻璃基板输送方向并排设置，每个所述滑动部均包括档杆和固定连接于所述档杆两端的滑块，所述滑块与所述滑轨滑动配合连接，以使所述档杆能够沿玻璃基板输送方向滑动，所述档杆的顶面与玻璃基板的表面之间具有间隙；以及
8.检测单元，所述检测单元用于检测所述档杆的位移。
9.优选地，多个所述滑动部的所述档杆的两端靠近设置，位于玻璃基板两侧的所述档杆的两端分别位于玻璃基板的外侧。
10.优选地，所述支架设置为矩形框，多个所述导轨固定结合于所述矩形框上。
11.优选地，用于输送玻璃基板的传输机构包括多排并列设置的滚轮，在其中一排滚轮的两侧分别设置所述导轨，以使一个滚轮对应于一所述档杆。
12.优选地，所述检测单元包括检测电路、多个固定结合于所述导轨表面的电阻片，以及多个一端与所述滑块连接、另一端与所述电阻片接触的滑片，所述检测电路通过检测所述电阻片与滑片的电阻值变化，以检测所述档杆的位移。
13.优选地，所述检测单元包括检测电路，以及多个分别位于所述滑块两侧的光源和受光器，当所述滑块移动时，所述受光器能够接收所述光源发出的光发生变化，所述检测电路通过检测所述受光器的光变化信号，以检测所述档杆的位移。
14.优选地，所述检测单元还与用于输送玻璃基板的传输机构的控制单元连接，当所述检测单元检测到所述档杆移动时，所述控制单元能够根据检测单元发送的信号停止传输
机构的运行。
15.优选地，所述支架包括多个与用于输送玻璃基板的传输装置的架体连接的横杆，以及多个与所述横杆连接的竖杆，所述横杆沿玻璃基板输送方向设置，所述导轨设置于所述竖杆的顶端。
16.优选地，所述档杆的顶面与玻璃基板的表面之间的间隙范围为150～300微米。
17.优选地，所述档杆由硬质金属材料制成，所述档杆的横截面形状设置为矩形。
18.本发明的有益效果如下：
19.本发明用于检测玻璃基板表面异物的装置通过档杆阻挡玻璃基板背面附着的异物，能够清除附着力较小的异物，对于附着力较大的异物，由异物推动档杆移动，检测单元通过检测该档杆移动，可检测到玻璃基板表面附着有异物。本发明装置中可滑动的档杆不但能够清除附着力较小的异物，还能够检测到无法被清除掉异物的玻璃基板。
附图说明
20.下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。
21.图1示出本发明装置的俯视图。
22.图2示出本发明装置的侧视图。
23.图3示出本发明装置的局部结构示意图。
24.图4示出本发明装置的一种检测单元的结构示意图。
25.图5示出本发明装置的局部侧视图。
具体实施方式
26.为了更清楚地说明本发明，下面结合优选实施例和附图对本发明做进一步的说明。附图中相似的部件以相同的附图标记进行表示。本领域技术人员应当理解，下面所具体描述的内容是说明性的而非限制性的，不应以此限制本发明的保护范围。
27.在tft-lcd的生产过程中，仅对玻璃基板的工作面即玻璃基板的正面进行异物检测，但玻璃基板的背面也可能会附着有异物，该异物在曝光机机台上也会对特性数据造成影响，玻璃基板背面的异物不仅能造成产品的品质异常，也会造成设备的损坏。目前的检测装置通常都是通过光学成像、识别的方式进行异物检测，该种检测装置的结构较复杂，不适用于对玻璃基板的背面进行异物检测。目前并没有针对玻璃基板背面异物检测的专用设备，但玻璃基板背面附着的异物会造成平板状的玻璃基板凸起，这种凸起程度比较平缓的异物若无法检出，会对产品的品质造成一定影响。
28.针对上述问题，如图1和图2所示，本发明实施例提供了一种用于检测玻璃基板背面异物的装置，包括支架10、导轨20、滑动部30以及检测单元。支架10沿垂直于玻璃基板的输送方向设置，且支架10位于玻璃基板100的下方，导轨20设置为多个，均设置于支架10上，且导轨20沿玻璃基板100的输送方向设置，即多个导轨20均平行于玻璃基板100的输送方向固定于支架10上。导轨20和滑动部30设置在支架10上，均位于玻璃基板100的下方，检测单元可以设置在支架上，用于检测滑动部30的位移。
29.滑动部30设置为多个，多个滑动部30沿垂直于玻璃基板100的输送方向并排设置，每个滑动部30均包括档杆31和固定连接于档杆31两端的滑块32，每个滑块32对应于一个导
轨20，通过滑块32与导轨20的滑动配合，使得档杆31能够沿玻璃基板100的输送方向滑动，即每个滑动部30能够单独位移滑动。滑动部30位于玻璃基板100的下方，档杆31的顶面与玻璃基板100的背面之间具有间隙，即档杆31不与玻璃基板100的表面接触，档杆31不会划伤玻璃基板100。检测单元用于检测档杆31的移动，从而通过档杆31的移动来检测玻璃基板100背面的异物。
30.由于多个滑动部30沿垂直于玻璃基板100的输送方向设置，从而多个档杆31沿玻璃基板100的长度方向设置。在图1所示的方向中，玻璃基板100的输送方向为竖直方向，多个档杆31沿水平方向设置，多个档杆31贯穿玻璃基板100的长度方向，且每个档杆31能够单独沿竖直方向进行位移滑动。
31.玻璃基板100在传输线上移动时，玻璃基板100的底侧表面与传输线表面接触，由于本发明的装置位于玻璃基板100的下方，玻璃基板100的底侧表面，玻璃基板100的背面与档杆31的顶面之间具有一定的间隙，当附着于玻璃基板100背面的异物的高度大于该间隙时，所述异物可被档杆31所阻挡。若所述异物与玻璃基板100之间的附着力较小，则该异物可被档杆31从玻璃基板100的背面刮除，若异物与玻璃基板100之间的附着较为牢固，档杆31无法将该异物从玻璃基板100的背面刮除掉，则该异物会推动档杆31沿玻璃基板100的输送方向移动，此时，用于检测档杆31位移的检测单元检测到档杆31移动后，可向外发送报警信号，以使操作人员检查处理该块玻璃基板100。也就是说，本发明实施例所公开的装置的档杆不但能够清除附着力较小的异物，还能够检测到异物的附着力较大无法被清除掉的玻璃基板。
32.具体地，玻璃基板100水平的置于传输线上，所述传输线设有传送装置，该传送装置用于承载玻璃基板100，并使得玻璃基板100保持水平状态移动。档杆31平行于玻璃基板100的背面位于其下方，档杆31与玻璃基板100背面之间保持一定的间隙，玻璃基板100持续移动，从而档杆31扫过玻璃基板100的全部背面。由于导轨20的延伸方向为平行于玻璃基板100的移动方向，档杆31两端的滑块32与导轨20滑动配合，从而导轨20能够沿玻璃基板100的移动方向滑动，也就是说，当玻璃基板100背面的异物与档杆31接触后，若该异物与玻璃基板100之间的附着力大于推动档杆31移动所需的作用力，则随着玻璃基板100的运动，档杆31能够被推动位移。
33.由于本发明中的档杆31设置为多个，通过多个档杆31共同覆盖玻璃基板100的断面，由于单个档杆31的长度较短，其重量也较轻，能够被异物所推动。即单个异物仅会推动单独一档杆31，而不会对其余档杆产生推动作用，避免出现异物既没有被档杆31刮除掉，也未推动档杆31移动的问题，提高了档杆31对异物检测的准确性。
34.在一个实施方式中，相邻档杆31的端部相互靠近，相邻的两个档杆31端部之间的设置较小的间隙，避免玻璃基板100的断面上有较大的空隙没有被档杆31所覆盖，从而避免档杆31无法清除或检测到该间隙上具有异物，即避免出现异物从相邻档杆31之间的间隙处通过的现象，尽量减小异物从间隙处通过的概率。位于玻璃基板100两侧的档杆31的端部分别位于玻璃基板100的外侧，以使档杆31也能覆盖玻璃基板100的边缘位置，从而使多个档杆31能够覆盖玻璃基板100的全断面，使得位于玻璃基板100边缘处的异物也能够被刮除或检测到。
35.如图1和图3所示，本实施方式中的支架10的形状为矩形框，包括沿玻璃基板100输
送方向的短边侧，和垂直于该输送方向的长边侧，多个导轨20分别设置于支架10上且平行于该短边侧。
36.具体的，用于输送玻璃基板100的传输线包括多排并列设置的滚轮，通过滚轮的旋转，玻璃基板100能够在传输线上移动，每一排间隔设置多个滚轮，本发明实施例的支架10靠近其中一排滚轮设置，在该排的每个滚轮两侧设置导轨20，档杆31两侧的滑块32分别与该滚轮两侧的导轨20滑动配合，以使每个档杆31对应于一个滚轮。即导轨20和滑块32，以及档杆31的设置位置应避免干扰滚轮的正常旋转，避免玻璃基板100的输送。
37.在一个实施方式中，如图2所示，检测单元包括检测电路，多个固定结合于导轨20表面的电阻片41，以及多个一端与滑块32连接、另一端与电阻片41接触的滑片42。检测电路分别与多个电阻片41和滑片42电性连接，当档杆31带动滑块32移动，滑块32可带动滑片42移动，从而使得检测电路检测到电阻值产生变化，从而检测电路可检测到该处的档杆31的移动，进而向外界发送该档杆31处的玻璃基板100背面附着有异物的信号。可以理解的是，档杆31是通过其两侧的滑块32沿导轨20滑动，电阻片41可设置于其中任一导轨20上，也就是说，每个档杆31对应的两个导轨20其中之一设有电阻片41，或者电阻片41也可以设置于支架10上，并且滑片42的一端也可以与档杆31连接，只要电阻片41为固定不动状态，滑片42可随档杆31移动即可。检测电路可以通过电压或电流的变化检测电阻值的变化，本领域技术人员可根据实际情况进行选择，本发明对此不做特别限定。
38.进一步地，检测单元还可包括报警装置，例如发声或发光装置，当检测单元检测到档杆31移动时，检测单元向报警装置发送启动指令，报警装置向外界发声和发光，以提示操作人员对玻璃基板100进行处理。报警装置也可以设置为多个，分别与多个档杆31一一对应，档杆31移动后，与其对应的报警装置启动，从而便于操作人员定位玻璃基板100表面的异物位置。在操作人员对玻璃基板100进行处理后，例如将触发报警的玻璃基板100从传输线上取走后，对检测单元进行复位操作，以使报警装置停止，并且使档杆31返回初始位置。
39.在一个实施方式中，如图4所示，检测单元包括检测电路，以及多个分别位于滑块32两侧的光源51和受光器52，检测电路分别与多个受光器52电性连接，受光器52能够接收光源51发出的光。多个光源51和受光器52位于每一档杆31一侧滑块32的两侧，由于滑块32位于光源51与受光器52之间的光路上，当档杆31带动滑块32移动时，滑块32会对所述光进行遮挡，从而改变受光器52接收的光，检测电路能够通过受光器52接收光信号的变化，检测到档杆31的移动。
40.在一些实施方式中，所述检测单元还与用于输送玻璃基板的传输机构的控制单元连接，当所述检测单元检测到所述档杆移动时，所述控制单元能够根据检测单元发送的信号停止传输机构的运行，以使玻璃基板100停止移动，便于操作人员找到该块玻璃基板100。检测单元能够向所述控制单元发送产生移动的档杆31的信息，控制单元在其终端显示器上进行定位显示，便于操作人员对该玻璃基板100进行处理。
41.如图5所示，在一些实施方式中，支架10包括多个竖杆11和横杆12，横杆12与玻璃基板100的传输装置的架体连接，竖杆11的一端连接于横杆12的杆体上，导轨20连接于竖杆11的另一端。通过将多个竖杆11和横杆12拼接成框型的支架10，便于将支架10布置在玻璃基板100的下方，并可与传输装置固定连接。此种结构的支架10也便于对导轨20进行调平，使得导轨20平行于玻璃基板100的输送方向。由于档杆31的顶面与玻璃基板100的背面之间
的间隙较小，必须严格保证导轨20与玻璃基板100输送方向平行，在将档杆31通过滑块32安装于导轨20后，避免出现档杆31的移动方向不平行于玻璃基板100的输送方向的问题，避免发生档杆31与玻璃基板100接触的现象。
42.在一些实施方式中，档杆31的顶面与玻璃基板100的背面之间的间隙范围为150～300微米。可以理解的是，当异物小于该间隙数值时，通常不会对玻璃基板100的品质造成影响，例如粒径小于150微米的异物。本领域技术人员可通过调节档杆31与玻璃基板100之间的距离，控制允许存在的异物颗粒大小。
43.多个档杆31与玻璃基板100背面之间的间隙可以相同，也可以不同，例如可以使玻璃基板100中心处的档杆31更靠近玻璃基板100的背面，也就是说，玻璃基板100中心处的档杆31与玻璃基板100背面的间隙小于玻璃基板100边缘处的档杆31与玻璃基板100背面的间隙。由于玻璃基板100中心处的显示权重更大一些，通过设置不同的间隙数值，在不影响显示质量的前提下，能够降低装置的安装难度。具体地，玻璃基板100中心处的档杆31与玻璃基板100背面的间隙为200微米，玻璃基板100边缘处的档杆31与玻璃基板100背面的间隙为300微米，从而降低档杆31的安装难度，或者，多个档杆31与玻璃基板100背面的间隙均为200微米，但玻璃基板100中心处的档杆31的安装误差为50微米，玻璃基板100边缘处的档杆31的安装误差为100微米，通过规定不同的安装误差来降低档杆31的安装难度，提高装置的安装调试效率。
44.档杆31由较轻的硬质金属材料制成，例如不锈钢或铝合金，本领域技术人员可根据实际需要选定档杆31的材料和长度，以确定档杆31的重量，从而对应异物与玻璃基板100之间的附着力，即档杆31越重，越能刮除附着力越大的异物。档杆31的横截面形状设置为矩形，其顶面与玻璃基板100背面之间设有间隙，档杆31朝向来料方向的边缘设置为较锋利，便于将异物从玻璃基板100的表面刮除，或者防止异物越过档杆31而挤进档杆31与玻璃基板100之间的间隙内，防止发生漏检的问题。
45.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
46.还需要说明的是，在本发明的描述中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
47.显然，本发明的上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定，对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可
以做出其它不同形式的变化或变动，这里无法对所有的实施方式予以穷举，凡是属于本发明的技术方案所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之列。