一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备的制作方法

1.本实用新型涉及单晶锑生产技术领域，特别涉及一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备。


背景技术：

2.锑(antimony)，金属元素，元素符号sb，原子序数51，银白色有光泽硬而脆的金属，有鳞片状晶体结构。在潮湿空气中逐渐失去光泽，强热则燃烧成白色锑的氧化物。易溶于王水，溶于浓硫酸。相对密度6.68，熔点630℃，沸点1635℃，原子半径为电负性2.2，铅酸电池中所用的铅锑合金板。锑与铅和锡制成合金可用来提升焊接材料、子弹及轴承的性能。锑化合物是用途广泛的含氯及含溴阻燃剂的重要添加剂，锑在新兴的微电子技术中也有着它的广泛用途，如amd显卡制造，单晶锑的常用工业制法是先焙烧，再用碳在高温下还原，在此过程中需要用到单晶炉。
3.现有的单晶炉设备，调节阀的通径偏大，达不到炉压控制的精度要求，无法保持炉内的压力值控制，只能满足轻掺锑产品的生产需求，但对于重掺锑产品则不适用，而且管道无压力差，容易造成管道堵塞，引起返气，影响产品的质量。


技术实现要素：

4.本实用新型针对以上问题，提出一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备来解决上述问题。
5.本实用新型是这样实现的，一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备，包括与单晶炉设备连通的连接管，所述连接管的顶端通过法兰盘连通有小通径调节阀，所述小通径调节阀的顶端通过法兰盘连通有排气管，所述排气管的内部设置有防反气装置，用于防止气体反流；
6.所述防反气装置包括安装于排气管内部的安装筒，所述安装筒的内部活动连接有阀芯，所述阀芯的截面为倒梯形结构，所述阀芯的外壁左右两侧均贯穿开设有导气槽，所述安装筒的内壁左右两侧均开设有与两个导气槽相对应的输气槽；
7.所述安装筒的外壁设置有安装结构，用于将防反气装置安装至排气管的内部。
8.为了便于将防反气装置安装至排气管的内部，作为本实用新型的一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备优选的，所述安装结构包括分别开设于安装筒外壁左右两侧的安装槽，两个所述安装槽的内壁均固定连接有弹簧，两个所述弹簧相背的一端均固定连接有卡块，所述排气管的内壁左右两侧分别开设有与两个卡块相对应的卡槽。
9.为了缩小调节阀的通径，提高对炉压控制的精确度，作为本实用新型的一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备优选的，所述小通径调节阀包括两个锥筒，两个所述锥筒的小口端通过法兰盘连通，两个所述锥筒的大口端分别与连接管和排气管通过法兰盘连通。
10.为了提高装置的密封性能，作为本实用新型的一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备优选的，所述安装筒的外壁开设有外环槽，所述外环槽的内部套接有密封圈，所述密封
圈的外壁与排气管的内壁弹性接触。
11.为了避免两个卡块从两个安装槽的内部脱离，作为本实用新型的一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备优选的，两个所述卡块的外壁均固定连接有限位盘，两个所述限位盘的直径均大于两个安装槽开口处的直径。
12.为了避免安装筒在排气管的内部晃动，作为本实用新型的一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备优选的，两个所述卡块的尺寸分别与两个卡槽的内部尺寸相匹配。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
14.该种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备，通过小通径调节阀的设置，便于工作人员控制炉压，提高对炉压控制的精确度，而且小通径调节阀可以形成压力差，使得排气流速加快，减少了管道堵塞，通过防反气装置的设置，可以防止炉气反流，具体为炉气进入安装筒的内部，利用气压克服阀芯的重力，推动阀芯向上移动，使得阀芯的外壁底端与安装筒的内壁分离，炉气依次通过两个输气槽和两个导气槽进入阀芯的内部，再从阀芯的顶部排出，当发生反气情况时，反气会推动阀芯向下移动，使得阀芯的外壁底端与安装筒的内壁紧密接触，对安装筒进行封堵，有效防止了炉气回流，避免影响产品的质量。
附图说明
15.图1为本实用新型整体立体结构图；
16.图2为本实用新型排气管正剖结构图；
17.图3为本实用新型a部放大图。
18.图中，1、连接管；2、小通径调节阀；3、排气管；4、防反气装置；5、安装筒；6、阀芯；7、导气槽；8、输气槽；9、安装结构；10、安装槽；11、弹簧；12、卡块；13、卡槽；14、锥筒；15、外环槽；16、密封圈；17、限位盘。
具体实施方式
19.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
20.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
21.请参阅图1-3，一种用于生产重掺单晶锑的单晶炉设备，包括与单晶炉设备连通的连接管1，连接管1的顶端通过法兰盘连通有小通径调节阀2，小通径调节阀2的顶端通过法兰盘连通有排气管3，排气管3的内部设置有防反气装置4，用于防止气体反流；
22.防反气装置4包括安装于排气管3内部的安装筒5，安装筒5的内部活动连接有阀芯6，阀芯6的截面为倒梯形结构，阀芯6的外壁左右两侧均贯穿开设有导气槽7，安装筒5的内壁左右两侧均开设有与两个导气槽7相对应的输气槽8；
23.安装筒5的外壁设置有安装结构9，用于将防反气装置4安装至排气管3的内部。
24.本实施例中：通过小通径调节阀2的设置，便于工作人员控制炉压，提高对炉压控制的精确度，而且小通径调节阀2可以形成压力差，使得排气流速加快，减少了管道堵塞；
25.通过防反气装置4的设置，可以防止炉气反流，具体为炉气进入安装筒5的内部，利用气压克服阀芯6的重力，推动阀芯6向上移动，使得阀芯6的外壁底端与安装筒5的内壁分离，炉气依次通过两个输气槽8和两个导气槽7进入阀芯6的内部，再从阀芯6的顶部排出，当发生反气情况时，反气会推动阀芯6向下移动，使得阀芯6的外壁底端与安装筒5的内壁紧密接触，对安装筒5进行封堵，有效防止了炉气回流，避免影响产品的质量。
26.作为本实用新型的一种技术优化方案，安装结构9包括分别开设于安装筒5外壁左右两侧的安装槽10，两个安装槽10的内壁均固定连接有弹簧11，两个弹簧11相背的一端均固定连接有卡块12，排气管3的内壁左右两侧分别开设有与两个卡块12相对应的卡槽13。
27.本实施例中：将安装筒5从排气管3的上端口插入，当两个卡块12移动到两个卡槽13处时，通过两个弹簧11的弹力作用，将两个卡块12分别推至两个卡槽13的内部，对安装筒5进行限位，从而将防反气装置4安装至排气管3的内部。
28.作为本实用新型的一种技术优化方案，小通径调节阀2包括两个锥筒14，两个锥筒14的小口端通过法兰盘连通，两个锥筒14的大口端分别与连接管1和排气管3通过法兰盘连通。
29.本实施例中：通过两个锥筒14的设置，缩小了调节阀的通径，提高对炉压控制的精确度。
30.作为本实用新型的一种技术优化方案，安装筒5的外壁开设有外环槽15，外环槽15的内部套接有密封圈16，密封圈16的外壁与排气管3的内壁弹性接触。
31.本实施例中：通过密封圈16的设置，提高了装置的密封性能，避免炉气从安装筒5与排气管3之间的间隙通过，外环槽15用于固定密封圈16。
32.作为本实用新型的一种技术优化方案，两个卡块12的外壁均固定连接有限位盘17，两个限位盘17的直径均大于两个安装槽10开口处的直径。
33.本实施例中：通过两个限位盘17的设置，对两个卡块12进行限位，可以避免两个卡块12从两个安装槽10的内部脱离。
34.作为本实用新型的一种技术优化方案，两个卡块12的尺寸分别与两个卡槽13的内部尺寸相匹配。
35.本实施例中：通过两个卡块12的尺寸分别与两个卡槽13的内部尺寸相匹配，使得两个卡块12的外壁分别与两个卡槽13的内壁紧密接触，避免安装筒5在排气管3的内部发生晃动。
36.本实用新型的工作原理及使用流程：单晶锑生产过程中，通过小通径调节阀2的设置，便于工作人员控制炉压，提高对炉压控制的精确度，而且小通径调节阀2可以形成压力差，使得排气流速加快，减少了管道堵塞，通过防反气装置4的设置，可以防止炉气反流，具体为炉气进入安装筒5的内部，利用气压克服阀芯6的重力，推动阀芯6向上移动，使得阀芯6的外壁底端与安装筒5的内壁分离，炉气依次通过两个输气槽8和两个导气槽7进入阀芯6的内部，再从阀芯6的顶部排出，当发生反气情况时，反气会推动阀芯6向下移动，使得阀芯6的外壁底端与安装筒5的内壁紧密接触，对安装筒5进行封堵，有效防止了炉气回流，避免影响
产品的质量，通过安装结构9的设置，便于将防反气装置4安装至排气管3的内部，操作简单，省时省力，有利于装置的使用。
37.以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。