高密封性高度可调电极装置用位移测距传动管

1.本实用新型涉及气相沉积技术领域，具体是高密封性高度可调电极装置用位移测距传动管。


背景技术：

2.本部分的陈述仅仅是提供了与本实用新型相关的背景技术信息，不必然构成在先技术。
3.无论是peald还是pecvd设备中，均需要在一定真空条件下完成薄膜沉积，电极间的间距成膜的质量至关重要，电极间距是影响成膜质量的重要工艺参数之一,因此若电极的高度的精密连续可调，对提高薄膜性能至关重要，有利于提高薄膜的性能。发明人在申请号为cn201921576634.6的之前申请的实用新型专利中，采用的是在整个装置上方设置位移传感器的方式进行测距，采用传感器固定架进行支撑固定。但是在实际使用时，由于传感器固定架为薄板件，容易受到震动而增大测距误差，而且安装时要保持位移传感器的垂直安装，安装后需要测量垂直度，很繁琐。因此需要对电极高度调节机构进行高精度测距改进。
4.发明人现在想采用更加合理的测距装置，将测距装置设置在稳定性更好的传动管上采用激光测距的方式进行测距，但是需要保证激光测距仪所发出激光光线的反射会回收、从而获取距离信号，以及激光测距仪上发射光线的激光瞄头的安全性，以及零点位置的复位限位。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供高密封性高度可调电极装置用位移测距传动管，它能够稳定的反射激光测距仪上激光瞄头所发出的激光光线，而且能保证激光瞄头不与传动管上的竖向限位导向条孔接触而发生挤压损坏，保证激光瞄头的安全性，同时在传动管上设有电极上下调整时零点位置的复位限位。
6.本实用新型为实现上述目的，通过以下技术方案实现：
7.高密封性高度可调电极装置用位移测距传动管，所述位移测距传动管顶部为外螺纹管段，所述位移测距传动管底部为电极连接管段；所述电极连接管段靠近外螺纹管段一侧设有竖向限位导向条孔；所述竖向限位导向条孔顶部平面为反射镜面；所述竖向限位导向条孔顶部设置顶部限位凸起，所述顶部限位凸起与竖向限位导向条孔最顶端之间留有第一留置空隙。
8.所述竖向限位导向条孔底部设置底部限位凸起，所述底部限位凸起与竖向限位导向条孔最低端之间留有第二留置空隙。
9.所述位移测距传动管内部中空。
10.对比现有技术，本实用新型的有益效果在于：
11.在竖向限位导向条孔顶部平面设置反射镜面，能够稳定的反射激光测距仪上激光瞄头所发出的激光光线。
12.而且竖向限位导向条孔顶部设置顶部限位凸起，后文所述的导向插销与顶部限位凸起接触时作为电极的最低点，即原点，即顶部限位凸起作为电极上下调整时零点位置的复位限位，且顶部限位凸起限制导向插销，使导向插销不会移动至顶部凸起以上的位置。更进一步的，所述顶部限位凸起与竖向限位导向条孔最顶端之间留有第一留置空隙。第一留置空隙的设置就避免了导向插销顶面到达最上方时不会与反射镜面接触，避免损伤反射镜面。
13.竖向限位导向条孔底部设置底部限位凸起，导向插销与底部限位凸起接触时表明电极已经调节至最高点，且底部限位凸起限制导向插销，使导向插销不会移动至底部限位凸起以下的位置，所述底部限位凸起与竖向限位导向条孔最低端之间留有第二留置空隙，从而避免激光测距仪的激光瞄头与竖向限位导向条孔最底端接触，从而避免竖向限位导向条孔最底端压坏激光测距仪的激光瞄头，实现了激光瞄头不与传动管上的竖向限位导向条孔接触而发生挤压损坏，保证激光瞄头安全性的目的。
附图说明
14.附图1是本实用新型结构示意图。
15.附图2是本实用新型使用状态爆炸图及其局部放大图。
16.附图3是本实用新型使用状态图及其局部放大图。
17.附图中所示标号：
18.1、位移测距传动管；2、外螺纹管段；3、电极连接管段；4、竖向限位导向条孔；5、反射镜面；6、顶部限位凸起；7、第一留置空隙；8、底部限位凸起；9、第二留置空隙；10、步进电机；11、驱动齿轮；12、内从动轮；13、销孔；14、导向插销；15、激光测距仪；16、激光瞄头；17、透光孔；18、测距仪本体；19、穿线孔；20、外护壳。
具体实施方式
19.下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。应理解，这些实施例仅用于说明本实用新型而不用于限制本实用新型的范围。此外应理解，在阅读了本实用新型讲授的内容之后，本领域技术人员可以对本实用新型作各种改动或修改，这些等价形式同样落于本技术所限定的范围。
20.结合位移测距传动管1在整个装置上的使用原理进行综合具体实施方式描述如下：
21.薄膜沉积技术用电极高度精密可调装置，主体结构包括步进电机10、驱动齿轮11、内从动轮12、传动管和激光测距仪15；步进电机10带动驱动齿轮11转动，所述驱动齿轮11与内从动轮12啮合传动，所述位移测距传动管1顶部为外螺纹管段2，所述内从动轮12设有与外螺纹管段2螺纹传动的内螺纹，所述位移测距传动管1底部为电极连接管段3；所述内从动轮12外包括有外护壳20，所述外护壳20上设有销孔13，所述电极连接管段3靠近外螺纹管段2一侧设有竖向限位导向条孔4；所述销孔13与竖向限位导向条孔4相对应，且插有导向插销14；导向插销14与销孔13位置固定。
22.导向插销14的插入端设有激光测距仪15的激光瞄头16；竖向限位导向条孔4顶部平面设置与激光瞄头16相对应的反射镜面5。激光测距仪15的激光瞄头16射出的激光光线
经过反射镜面5反射回来后接收，从而测量竖向限位导向条孔4顶部平面与激光测距仪15上激光瞄头16之间的距离，通过此距离反应调节的高度。
23.竖向限位导向条孔4顶部设置顶部限位凸起6，导向插销14与顶部限位凸起6接触时作为电极的最低点，即原点，即顶部限位凸起6作为电极上下调整时零点位置的复位限位，且顶部限位凸起6限制导向插销14，使导向插销14不会移动至顶部凸起以上的位置。更进一步的，所述顶部限位凸起6与竖向限位导向条孔4最顶端之间留有第一留置空隙7。第一留置空隙7的设置就避免了导向插销14顶面到达最上方时不会与反射镜面5接触，避免损伤反射镜面5。
24.竖向限位导向条孔4底部设置底部限位凸起8，导向插销14与底部限位凸起8接触时表明电极已经调节至最高点，且底部限位凸起8限制导向插销14，使导向插销14不会移动至底部限位凸起8以下的位置，所述底部限位凸起8与竖向限位导向条孔4最低端之间留有第二留置空隙9，从而避免激光测距仪15的激光瞄头16与竖向限位导向条孔4最底端接触，从而避免竖向限位导向条孔4最底端压坏激光测距仪15的激光瞄头16，实现了激光瞄头16不与传动管上的竖向限位导向条孔4接触而发生挤压损坏，保证激光瞄头16安全性的目的。
25.具体的：导向插销14上设有透光孔17，所述激光测距仪15的激光瞄头16位于导向插销14底部，且所述激光瞄头16与透光孔17相适应，激光瞄头16射出的激光光线穿过透光孔17射向反射镜面5再反射回来接收，从而测量竖向限位导向条孔4顶部平面与激光测距仪15上激光瞄头1611之间的距离，通过此距离反应调节的高度。所述激光测距仪1510的测距仪本体18位于外护壳20外侧。所述导向插销149上还设有穿线孔19，所述激光瞄头16与测距仪本体18之间的数据线通过穿线孔19穿出。