一种TFT工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法及涂层与流程

技术特征：
1.一种tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，包括以下步骤：
⑴
粉末制备：
①
取复合陶瓷粉体原料，混合形成浆料；
②
在
①
形成的浆料中加入粘结剂，混合形成造粒浆料；
③
将
②
形成的造粒浆料在喷雾造粒机中喷雾造粒形成基本为球形的复合陶瓷喷雾粒子；
⑵
前处理：对挡板元件基体前处理；
⑶
等离子喷涂：等离子喷涂复合陶瓷喷雾粒子形成复合陶瓷层。2.根据权1所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述等离子喷涂中，在等离子喷涂复合陶瓷喷雾粒子形成复合陶瓷层前，还包括等离子喷涂梯度材料粉末形成梯度涂层。3.根据权1-2任一所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述复合陶瓷粉体含量为tio2:8～12wt％；0≤ceo2<1，余量为al2o3。4.根据权1-3任一所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述等离子喷涂梯度材料为nicraly。5.根据权4所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述nicraly中，ni 67wt％；cr 22wt％；al 0～10wt％；y 0～1wt％，其中，al、y均>0。6.根据权1-5任一所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述喷雾造粒中，烘干室温度维持在250～300℃左右，喷雾造粒机进风温度为250～300℃，出风温度为100～120℃，雾化器频率25hz；和/或所述喷砂采用的是不锈钢砂丸，尺寸为400～600μm，喷丸压力为3～5kg。7.根据权1-6任一所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述梯度涂层制备中的等离子喷涂工艺参数为喷涂电流：300～400a；喷涂距离90～110mm；氢气流量：140～180plmm/h；喷枪移速：300～500mm/s。8.根据权1-7任一所述的tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，其特征在于，所述复合陶瓷层制备中的等离子喷涂工艺参数为喷涂电流：450～550a；喷涂距离90～110mm；氢气流量：160～200l/h；喷枪移速：300～500mm/s；和/或；所述等离子喷涂其采用的惰性保护气体为氩气，气体流量为2000l/h；所述的等离子喷涂采用的是外送粉大气等离子器；和/或所述
⑶
中，等离子喷涂前，挡板元件基体预热至120℃左右。9.一种tft工艺用耐腐蚀挡板的表面涂层，其特征在于，该tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层包括经等离子喷涂复合陶瓷喷雾粒子形成的复合陶瓷层。10.根据权9所述的tft工艺用耐腐蚀挡板的表面涂层，其特征在于，所述tft工艺用耐腐蚀挡板表面涂层还包括经等离子喷涂梯度材料粉末形成的梯度涂层。

技术总结
本申请公开了一种一种TFT工艺用耐腐蚀挡板表面涂层的制备方法，包括以下步骤：


技术研发人员：唐思成 罗雪春 胡家铭 万其凯 钟庆远 黎清贤
受保护的技术使用者：成都拓维高科光电科技有限公司
技术研发日：2022.01.28
技术公布日：2022/7/21